内容简介
GB/T 38341-2019微机电系统(MEMS)技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
Micro-electromechanical system technology— The reliability test methods of MEMS in integrated environments
2019-12-31 发布
2020-04-01 实施
目 次
前言.........................................1
1范围.........................................1
2规范性引用文件....................................1
3术语和定义......................................1
4试验方法.......................................1
4.1 預处理....................................1
4.2温度、湿度试验.................................2
4.3机械试验....................................9
4.4綱合试验...................................12
5失效结果处理....................................15
参考文献.......................................16
本标准按照GB/T 1.1-2009给岀的规则起草.
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口.
前言.........................................1
1范围.........................................1
2规范性引用文件....................................1
3术语和定义......................................1
4试验方法.......................................1
4.1 預处理....................................1
4.2温度、湿度试验.................................2
4.3机械试验....................................9
4.4綱合试验...................................12
5失效结果处理....................................15
参考文献.......................................16
本标准按照GB/T 1.1-2009给岀的规则起草.
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口.
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