GB/T 38447—2020
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
2020-03-06 发布
2020-07-01 实施
目 次
前言
1范围..........................................1
2规范性引用文件.....................................1
3术语和定义.......................................1
4试验方法........................................1
4.1总则.......................................1
4-2试验设备.....................................1
4.3试验环境.....................................2
4.4样品要求.....................................2
4.5试验条件.....................................3
4.6试验步骤.....................................3
4.7试验报告.....................................4
附SA ＜资料性附录）集成激振和检测结构静电器件的试验示例 ................5
附SB＜资料性附录）外部驱动和集成应变结构（检测位移）器件的试验示例 ...........8
附录C （资料性附录）基于帕里斯（Paris）定律和韦伯（Weibull）分布的脆性材料疲劳寿命理论表达式...............................10
附录D （资料性附录）分析示例..............................13
参考文献.........................................15
前 言
本标准按照GB/T 1.1-2009给岀的规则起草.
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口