GB/T 34899-2017
微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
Micro-electromechanical system technology— Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
2018-05-01 实施
2017-11-01发布
前言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。
本标准主要起草单位∶中北大学、中机生产力促进中心。