GB/T 38446—2020
微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
Micro-electromechanical system technology— Test methods for tensile property measurement of strip thin films
2020-03-06 发布
2020-10-01 实施
目 次
前言......1
1范围....1
2规范性引用文件...................1
3术语和定义....................................1
4试验方法.....................................2
5数据处理.....................................4
附录A （资料性附录）釆用MEMS工艺的样品制备..................5
附^B＜资料性附录）对准偏差和几何结构对性能测试的影响 ..............7
附录C （资料性附录）纳米压痕仪的测试结果误差及补偿 ...............9
参考文献.....................................10
前 言
本标准按照GB/T 1.1-2009给岀的规则起草.
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口。