ICS 25.120.40; ICS 25.080.99 J 59
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 13699.1—2019
电解磨料线切割机床第1部分：精度检验
Electrochemical abrasive wire sawing machines-
Part 1: Testing of accuracy
2020-04-01实施
2019-08-02发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 13699.1—2019
目 次
前言. 1 范围. 2规范性引用文件.. 3主要零部件和坐标轴的命名. 4使用说明. 4.1计量单位
U
4.2 参照GB/T17421.1—1998. 4.3 检验次序， 4.4 检验的实施， 4.5 测量仪器.. 4.6最小公差 4.7定位精度检验并参照GB/T17421.2- 2016 4.8加工检验 5几何精度检验 5.1基本线性运动. 5.2 线辊. 6定位精度检验， 7加工检验. 参考文献
5
图 1 机床及其坐标轴..
表 1 机床主要零部件名称 JB/T 13699.1—2019
前言
JB/T13699《电解磨料线切割机床》分为两个部分：
第1部分：精度检验；第2部分：技术条件。
-
本部分为JB/T13699的第1部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国特种加工机床标准化技术委员会（SAC/TC161）归口。 本部分起草单位：南京航空航天大学、苏州电加工机床研究所有限公司。 本部分主要起草人：汪炜、鲍官培、赵建社、云乃彰、于志三、王应。 本部分为首次发布。
II JB/T 13699.1—2019
电解磨料线切割机床第1部分：精度检验
1范围
JB/T13699的本部分规定了电解磨料线切割机床的主要零部件和坐标轴的命名、使用说明、几何精度检验、定位精度检验以及加工检验。
本部分适用于（但不限于）加工硅、锗等半导体材料的电解磨料线切割机床（以下简称机床）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1958—2017产品几何量技术规范（GPS）几何公差检测与验证 GB/T17421.1一1998机床检验通则第1部分：在无负荷或精加工条件下机床的几何精度 GB/T17421.2一2016机床检验通则 第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定 GB/T30860一2014太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 GB/T30869—2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
3主要零部件和坐标轴的命名
机床及其坐标轴如图1所示，机床主要零部件名称见表1。
+Z
+Y
+X
10
12
图1机床及其坐标轴 JB/T 13699.12019
表1 机床主要零部件名称中文名称横梁丝杠头架(Z轴)
英文名称 beam lead screw head (Z-axis) guide sleeve guide pole workpiece holder front bearing box wire electrode wire guide rear bearing box
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
导套导柱工件安装板前轴承箱线电极线辊后轴承箱床身底座
bed base
使用说明
4
4.1 计量单位
在本部分中，所有线性尺寸、偏差及相应的公差均以毫米为单位；角度以度为单位，角度偏差及相应的公差用比率表示，但在某些情况下可以微弧度或角秒为单位，下列表达式是等效的：
0.010/1 000=10×10~10 μrad~2"
4.2 2参照GB/T 17421.1—1998
使用本部分时应参照GB/T17421.1一1998执行，特别是机床检验前的安装和其他运动件的预热、 计量方法的说明以及检验设备的推荐精度。
本部分第5章～第7章中的“检验方法”应符合GB/T17421.1一1998的规定，并附有GB/T 17421.1一1998中相关条文的清单。 4.3检验次序
本部分给出的检验项目的顺序并不限定检验的实际次序。为了简化仪器或量具的安装，检验可按任意次序进行。 4.4检验的实施
检验机床时并不完全对本部分规定的全部项目进行检验。当检验项目用于验收目的时，用户应在取得供应商（制造厂）同意的情况下，选择其关心的机床相关部件和性能指标的检验项目。但在订购机床时，合同应明确指定这些检验项目。合同仅仅规定引用本部分来验收检验，但未说明如何实施检验以及在相应费用上未达成一致时，不能视为对任何缔约方有约束力。 4.5 5测量仪器
第5章～第7章的检验项目中指定的测量仪器仅是举例，也可使用能测量同样参数和至少同样精度的其他仪器。指示器应有0.002mm或更高的分辨力。 4.6最小公差
当实测长度与本部分给出的长度不同时，公差应按照GB/T17421.1一1998中2.3.1.1的规定进行折
2 JB/T 13699.12019
算。当折算结果小于0.005时，最小公差值应计到0.005。 4.7定位精度检验并参照GB/T17421.2-2016
检验项目P1仅适用于数控轴Z。 检验时应参照GB/T17421.2一2016执行，特别是在环境条件、机床预热、测量方法及结果的计算
和数据处理方面。
机床有其他数控轴时，应由供应商（制造厂）与用户协商一致再进行检验。 4.8加工检验
对于加工检验项目，若供应商（制造厂）与用户协商一致，也可根据协议进行检验。
5几何精度检验
5.1 基本线性运动
检验项目
G1
Z轴运动直线度： a）在ZX平面（垂直平面）内； b）在ZY平面（垂直平面）内。
简图
b)
公差
实测值 a) b)
a）和b) 任意500测量长度上为0.015。
测量仪器
直角尺、指示器和量块，或采用光学方法。 检验方法（见GB/T17421.1-1998中5.2.3.2.1.1)
指示器固定在工件安装板底面，在机床底座XY平面内放置直角尺。 a）调整直角尺在ZX测量面内与Z方向平行，指示器测头沿X方向触及直角尺侧面，在整个测量长度上移动Z
轴，并记录指示器读数，取指示器读数的最大差值为误差值。 b）调整直角尺在ZY测量面内与Z方向平行，指示器测头沿Y方向触及直角尺侧面，在ZY平面内按同样方法重
复检查。
3 JB/T13699.1—2019
检验项目
G2
Z轴运动和工件安装板燕尾槽运动之间垂直度。 简图
公差
实测值
任意500测量长度上为0.025。 测量仪器
平尺、直角尺和指示器。 检验方法（见GB/T17421.1一1998中5.5.2.2.4）
在底座上放置平尺，指示器固定在与燕尾槽配合的短滑板上，使指示器测头触及平尺，调整平尺使其与工件安装板燕尾槽运动方向平行。
在平尺上放置直角尺，使指示器测头触及直角尺，在整个测量长度上移动Z轴并记录指示器读数，读数的最大差值即为误差值。
4 JB/T 13699.12019
5.2 2线辊检验项目
G3
线辊的径向圆跳动。 简图
O
公差
实测值
0.025。
测量仪器
指示器。
检验方法（见GB/T1958—2017)
指示器固定在机床固定件上。 指示器测头触及线辊中间位置的表面，低速运转线辊，并记录指示器读数的最大差值。再使指示器测头分别触及
线辊两端10mm处，重复测量。三者中的最大值即为误差值。
两线辊均需检验。
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