JJG
国防军工计量检定规程
JJG（军工）174—2019
115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯
SpectralRadiance StandardLamps from115nmto200nm
2020-04-01实施
2019-12-20发布
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）1742019
115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯检定规程 Verification Regulation of Spectral Radiance StandardLamps from
JJG（军工）174—2019 代替JJF（军工）125—2016
115nmto200nm
起草单位：国防科技工业1111二级计量站 JJG（军工）174—2019
本规程起草人：
孙广尉 （国防科技工业1111二级计量站）孙红胜 （国防科技工业1111二级计量站）王加朋 （国防科技工业1111二级计量站）蒋新荣 （国防科技工业1111二级计量站）杜继东 （国防科技工业1111二级计量站）王 良 （国防科技工业1111二级计量站） JJG（军工）1742019
目录
前言.. 1范围 2概述... 3计量性能要求 3.1光谱辐射亮度 3.2稳定性.. 4通用技术要求 5计量器具控制. 5.1检定条件. 5.2检定项目 5.3检定方法 5.4检定结果的处理 5.5检定周期附录A 115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯附录B 115m~200nm光谱辐射亮度标准灯的不确定度
1
.4
国防军工 JJG（军工）174—2019
前言
本规程的编制依据了JF（军工）1一2012《国防军工计量检定规程编写规则》及JF （军工）6一2014《国防军工计量技术规范审查规范》
本规程替代JJF（军工）125一2016《（115～200）紫外光谱灯辐射特性校准规范》，本规程与JF（军工）125一2016比较，有下列变化：
1.删除了“光谱辐射照度”项目的检定。
I JJG（军工）1742019
115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯检定规程
1范围
本检定规程适用于115nm～200nm光谱辐射亮度标准灯的首次检定、后续检定和使用中检查。 2概述
115mm~200nm光谱辐射亮度标准灯 般是利用气体放电的原理，产生包含115nm~ 200nm波长范围的光谱辐射。光谱辐射亮度标准灯主要为115nm～200nm氛灯。光谱辐射亮度标准灯是保持和传递光谱辐射亮度的计量器具，用于标定各种辐射源的光谱辐射亮度、各种接收器的光谱灵敏度，研究各种材料的光谱辐射特性 3计量性能要求 3.1光谱辐射亮度
光谱辐射亮度范围：（1~1000）mWcm2nml.srl 光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度量值的不确定度见表1。
表1光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度量值的不确定度
波长范围扩展不确定度(k=2)
(115~170)nm
(170~200)nm
25%
15%
3.2稳定性
光谱辐射亮度标准灯点燃20min后，在30min内光谱辐射亮度的变化率不大于2%。 通用技术要求
4
4.1外观和附件
光谱辐射亮度标准灯应标明制造厂名、出厂编号、型号。 4.2工作正常性
国防宏
光谱辐射亮度标准灯的玻壳及窗口应透明，正对发光体部位不得有气泡、结石、斑点、 条纹、擦伤、发雾及影响透明度的缺陷。 5计量器具控制 5.1检定条件 5.1.1检定用设备
检定用设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。 a）参考灯参考灯选用30W氛灯或其它功率参考灯，其技术指标见表2。
表2参考灯技术指标
波长范围
(115~170)nm
(170-200)nm
光谱辐射亮度扩展不确定度(k-2)
15% 1
8% JJG（军工）1742019
注：参考灯供电单元10min稳定性优于0.1% b）真空紫外探测器真空紫外探测器响应波长范围覆盖115nm~200nm，探测器响应度优于0.1A/W。 c）真空舱真空舱是保证测试环境为真空环境的所用设备，真空舱内气压应小于6×10-Pa：应有
效屏蔽杂散辐射，并隔离外部振动及电磁辐射，形成一个真空屏蔽的测量环境；舱内部件应满足相应的放气率要求，防止污染光谱辐射亮度标准灯：舱内应提供必要的照明条件，并能够为相应部件提供安装机械接口、电气接口和散热接口。
d）电测仪表电测仪表0.5级，测量范围一般应覆盖探测器信号输出范围，电压范围一般为
10mV~10V，电流范围一般为1pA~1nA。
e）光路比较装置包含光源成像系统、真空紫外单色仪、转台、激光器和真空监视器等。真空紫外单色
仪的波长范围应覆盖115nm～200nm，波长最大允许误差为±0.2nm，光谱分辨力优于0.1nm 转台重复定位精度优于0.1°，能够在真空环境下正常工作。 5.1.2环境条件
a）环境温度：（23±5)C； b）相对湿度：≤80%； c）供电电源：（220±11)V，（50±1)Hz； d）其他：检定环境应为实验室环境，室内清洁，无影响仪器正常工作的电磁场、机
械振动，无影响测量结果的杂散光进入光路。 5.2检定项目
光谱辐射亮度标准灯的检定项目见表3。
表3检定项目首次检定
使用中检查
后续检定
序号 1 2 3 4
检定项目名称外观和附件工作正常性光谱辐射亮度
+ +
+
+ + + +
+
+
+
稳定性
+
5.3检定方法 5.3.1外观和附件
采用目视法进行检查。
2 JJG（军工）174—2019
5.3.2工作正常性
采用目视法进行检查。 5.3.3光谱辐射亮度
光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度检定采用替代法，通过与参考灯的比较测量，计算得到被检光谱辐射亮度标准灯的光谱辐射亮度。检定原理如图1所示。
真空舱
真空紫外单色仪
参考灯
转台 8
冷陷阱
光源成像系统 视场
真空紫外探测器
激光器 O
光衡
V
电测仪表
转台
被检标准灯
图1光谱辐射亮度检定原理图
操作步骤如下： a）按图1所示位置将参考灯、被检光谱辐射亮度标准灯、冷陷阱、光源成像系统、视
场光阑、真空紫外单色仪和真空紫外探测器等组件安装在真空舱内平台上，保证参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯发光点与光源成像系统之间的距离一致，调节视场光阑尺寸，保证参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯所成的像大于视场光；
b）利用低功率激光器提供光轴参考基准，并佩戴护目眼镜防止眼睛灼伤，进行光路调整，使得参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯的中心与真空紫外单色仪入射狭缝、出射狭缝、真空紫外探测器的中心在同一主光轴线上：
c）在参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯金属壳体上安装温度传感器，监测参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯的温度变化，保证温度不大于+40℃；
d）检查舱内设备连接无误后，关闭真空舱舱门，监视舱内激光器对准状态，如未对准需开舱门重新进行光路调整：
e）开启抽真空系统，同时确认各仪器工作正常，保证真空舱达到预定真空度，舱内气压应小于6x10-3Pa，实时监测舱内真空度，确保舱内真空度满足要求：
f）点燃参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯，并预热至少20min，为其它设备供电，避免高压放电现象：
g）进行硬件初始化及参数设置，按照需要测量的波长范围和波长间隔进行测量，设置波长间隔在（115~170)nm波长间隔不大于5nm，在（170~200)mm波长间隔不大于10mm；
h）在所设置的波长范围内，通过转台切换参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯分别位于光路中，根据设定的波长间隔记录每一波长入下参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯输出
3 JJG
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115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯
SpectralRadiance StandardLamps from115nmto200nm
2020-04-01实施
2019-12-20发布
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）1742019
115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯检定规程 Verification Regulation of Spectral Radiance StandardLamps from
JJG（军工）174—2019 代替JJF（军工）125—2016
115nmto200nm
起草单位：国防科技工业1111二级计量站 JJG（军工）174—2019
本规程起草人：
孙广尉 （国防科技工业1111二级计量站）孙红胜 （国防科技工业1111二级计量站）王加朋 （国防科技工业1111二级计量站）蒋新荣 （国防科技工业1111二级计量站）杜继东 （国防科技工业1111二级计量站）王 良 （国防科技工业1111二级计量站） JJG（军工）1742019
目录
前言.. 1范围 2概述... 3计量性能要求 3.1光谱辐射亮度 3.2稳定性.. 4通用技术要求 5计量器具控制. 5.1检定条件. 5.2检定项目 5.3检定方法 5.4检定结果的处理 5.5检定周期附录A 115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯附录B 115m~200nm光谱辐射亮度标准灯的不确定度
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国防军工 JJG（军工）174—2019
前言
本规程的编制依据了JF（军工）1一2012《国防军工计量检定规程编写规则》及JF （军工）6一2014《国防军工计量技术规范审查规范》
本规程替代JJF（军工）125一2016《（115～200）紫外光谱灯辐射特性校准规范》，本规程与JF（军工）125一2016比较，有下列变化：
1.删除了“光谱辐射照度”项目的检定。
I JJG（军工）1742019
115nm~200nm光谱辐射亮度标准灯检定规程
1范围
本检定规程适用于115nm～200nm光谱辐射亮度标准灯的首次检定、后续检定和使用中检查。 2概述
115mm~200nm光谱辐射亮度标准灯 般是利用气体放电的原理，产生包含115nm~ 200nm波长范围的光谱辐射。光谱辐射亮度标准灯主要为115nm～200nm氛灯。光谱辐射亮度标准灯是保持和传递光谱辐射亮度的计量器具，用于标定各种辐射源的光谱辐射亮度、各种接收器的光谱灵敏度，研究各种材料的光谱辐射特性 3计量性能要求 3.1光谱辐射亮度
光谱辐射亮度范围：（1~1000）mWcm2nml.srl 光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度量值的不确定度见表1。
表1光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度量值的不确定度
波长范围扩展不确定度(k=2)
(115~170)nm
(170~200)nm
25%
15%
3.2稳定性
光谱辐射亮度标准灯点燃20min后，在30min内光谱辐射亮度的变化率不大于2%。 通用技术要求
4
4.1外观和附件
光谱辐射亮度标准灯应标明制造厂名、出厂编号、型号。 4.2工作正常性
国防宏
光谱辐射亮度标准灯的玻壳及窗口应透明，正对发光体部位不得有气泡、结石、斑点、 条纹、擦伤、发雾及影响透明度的缺陷。 5计量器具控制 5.1检定条件 5.1.1检定用设备
检定用设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。 a）参考灯参考灯选用30W氛灯或其它功率参考灯，其技术指标见表2。
表2参考灯技术指标
波长范围
(115~170)nm
(170-200)nm
光谱辐射亮度扩展不确定度(k-2)
15% 1
8% JJG（军工）1742019
注：参考灯供电单元10min稳定性优于0.1% b）真空紫外探测器真空紫外探测器响应波长范围覆盖115nm~200nm，探测器响应度优于0.1A/W。 c）真空舱真空舱是保证测试环境为真空环境的所用设备，真空舱内气压应小于6×10-Pa：应有
效屏蔽杂散辐射，并隔离外部振动及电磁辐射，形成一个真空屏蔽的测量环境；舱内部件应满足相应的放气率要求，防止污染光谱辐射亮度标准灯：舱内应提供必要的照明条件，并能够为相应部件提供安装机械接口、电气接口和散热接口。
d）电测仪表电测仪表0.5级，测量范围一般应覆盖探测器信号输出范围，电压范围一般为
10mV~10V，电流范围一般为1pA~1nA。
e）光路比较装置包含光源成像系统、真空紫外单色仪、转台、激光器和真空监视器等。真空紫外单色
仪的波长范围应覆盖115nm～200nm，波长最大允许误差为±0.2nm，光谱分辨力优于0.1nm 转台重复定位精度优于0.1°，能够在真空环境下正常工作。 5.1.2环境条件
a）环境温度：（23±5)C； b）相对湿度：≤80%； c）供电电源：（220±11)V，（50±1)Hz； d）其他：检定环境应为实验室环境，室内清洁，无影响仪器正常工作的电磁场、机
械振动，无影响测量结果的杂散光进入光路。 5.2检定项目
光谱辐射亮度标准灯的检定项目见表3。
表3检定项目首次检定
使用中检查
后续检定
序号 1 2 3 4
检定项目名称外观和附件工作正常性光谱辐射亮度
+ +
+
+ + + +
+
+
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稳定性
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5.3检定方法 5.3.1外观和附件
采用目视法进行检查。
2 JJG（军工）174—2019
5.3.2工作正常性
采用目视法进行检查。 5.3.3光谱辐射亮度
光谱辐射亮度标准灯光谱辐射亮度检定采用替代法，通过与参考灯的比较测量，计算得到被检光谱辐射亮度标准灯的光谱辐射亮度。检定原理如图1所示。
真空舱
真空紫外单色仪
参考灯
转台 8
冷陷阱
光源成像系统 视场
真空紫外探测器
激光器 O
光衡
V
电测仪表
转台
被检标准灯
图1光谱辐射亮度检定原理图
操作步骤如下： a）按图1所示位置将参考灯、被检光谱辐射亮度标准灯、冷陷阱、光源成像系统、视
场光阑、真空紫外单色仪和真空紫外探测器等组件安装在真空舱内平台上，保证参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯发光点与光源成像系统之间的距离一致，调节视场光阑尺寸，保证参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯所成的像大于视场光；
b）利用低功率激光器提供光轴参考基准，并佩戴护目眼镜防止眼睛灼伤，进行光路调整，使得参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯的中心与真空紫外单色仪入射狭缝、出射狭缝、真空紫外探测器的中心在同一主光轴线上：
c）在参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯金属壳体上安装温度传感器，监测参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯的温度变化，保证温度不大于+40℃；
d）检查舱内设备连接无误后，关闭真空舱舱门，监视舱内激光器对准状态，如未对准需开舱门重新进行光路调整：
e）开启抽真空系统，同时确认各仪器工作正常，保证真空舱达到预定真空度，舱内气压应小于6x10-3Pa，实时监测舱内真空度，确保舱内真空度满足要求：
f）点燃参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯，并预热至少20min，为其它设备供电，避免高压放电现象：
g）进行硬件初始化及参数设置，按照需要测量的波长范围和波长间隔进行测量，设置波长间隔在（115~170)nm波长间隔不大于5nm，在（170~200)mm波长间隔不大于10mm；
h）在所设置的波长范围内，通过转台切换参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯分别位于光路中，根据设定的波长间隔记录每一波长入下参考灯和被检光谱辐射亮度标准灯输出
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