JJG
国防军工计量检定规程
JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器
StandardDetectorsfrom115nmto200nm
2020-04-01实施
2019-12-20发布
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器
检定规程
JJG（军工）173—2019 代替JJF（军工）126—2016
VerificationRegulation of Standard Detectorsfrom115nmto200nm
起草单位：国防科技工业1111二级计量站 JJG（军工）173—2019
本规范起草人：
孙红胜 （国防科技工业1111二级计量站）孙广尉 （国防科技工业1111二级计量站）王加朋 （国防科技工业1111二级计量站）蒋新荣 （国防科技工业1111二级计量站）杜继东 （国防科技工业1111二级计量站）王 良 （国防科技工业1111二级计量站） JJG（军工）173—2019
目录
前言 1范围. 2术语和定义 3概述.. 4计量性能要求. 4.1相对光谱响应度 4.2年变化率 4.3非均匀性.. 5通用技术要求 6计量器具控制 6.1检定条件 6.2检定项目.. 6.3检定方法…. 6.4检定结果的处理。 6.5检定周期.. 附录A115nm~200mm标准探测器检定原始记录格式附录B115nm~200nm标准探测器的不确定度评定示例
11
国防军工 JJG（军工）173—2019
前言
本规程的编制依据了JF（军工）1一2012《国防军工计量检定规程编写规则》及JF （军工）6—2014《国防军工计量技术规范审查规范》
本规程替代JJF（军工）126一2016《（115200）探测器相对光谱响应度校准规范》，本规程与JJF（军工）126一2016比较，有下列变化：
1.增加了“年变化率”项目的检定； 2.增加了“非均匀性”项目的检定。
II JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器检定规程
1范围
本检定规程适用于115nm200m标准探测器的首次检定、后续检定和使用中检查。 2术语和定义
下列术语和定义适用于本规程。 探测器响应非均匀性nonuniformityofdetectorresponse
2.1
直径不大于探测器感光面尺寸十分之一的光斑，照射在探测器感光面的9个位置，探测器响应信号最大值和最小值差值的2倍，与最大值最小值之和的比值。 3概述
115m~200nm标准探测器是一种光电转换器件，可将入射到其表面的115nm~200mm 波段内的光辐射能量转换为可测量的电信号。标准探测器根据其工作原理，分为光电倍增管、光电二极管等。115nm~200mm标准探测器作为探测器件，主要用于实现115nm~200mm 波长范围内的光辐射能量探测。 4计量性能要求 4.1米 相对光谱响应度
标准探测器相对光谱响应度量值的不确定度见表1。
表1标准探测器相对光谱响应度量值的不确定度
波长范围扩展不确定度（k=2)
(115~130)nm
(130~200)nm
15%
10%
4.2年变化率
标准探测器相对光谱响应度值的年变化率不大于10%
国防军
4.3非均匀性
对于感光面积大于100mm的标准探测器响应非均匀性不大于5% 5 通用技术要求 5.1外观和附件
标准探测器应标明制造厂名、出厂编号、型号。 5.2工作正常性
标准探测器的光敏面和窗口应清洁、无斑点、气泡和划痕等影响测量的缺陷。 6计量器具控制 6.1检定条件 6.1.1检定用设备
检定用设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。
1 JJG（军工）173—2019
a）参考探测器可采用光谱响应度平坦或已知光谱响应度的115nm～200nm探测器。参考探测器能够
探测到1×10-10W的辐射功率。参考探测器的工作波长范围应覆盖115nm～200nm，其技术指标要求见表2。
表2参考探测器技术指标
(130~200)nm
波长范围扩展不确定度(k-2)
(115~130)nm
4%
10%
b）光源一般采用30W或更高量级功率的尔灯，光源可产生115nm200nm波长范围内的光辐
射，采用直流稳压或稳流电源供电，确保光辐射稳定度，光源供电单元10min稳定性不大于0.1%
c）真空舱真空舱是保证测试环境为真空环境的所用设备，真空舱内气压应小于6×10-3Pa；应有
效屏蔽杂散辐射，隔离外部振动及电磁辐射，形成一个真空屏蔽的测量环境：舱内部件应满足相应的放气率要求，防止污染探测器；舱内能够提供必要的照明条件，并为相应部件提供安装机械接口和电气接口。
d）电测仪表电测仪表0.5级，测量范围一般应覆盖探测器信号输出范围，电压范围一般为
10mV~10V，电流范围一般为1pA~1nA。
e）光路比较装置主要包括探测器会聚光学系统、真空紫外单色仪、转台、激光器和真空监视器等。真
空紫外单色仪的波长范围应覆盖115nm200nm，波长最大允许误差为±0.2nm，光谱分辨力优于0.1nm：转台重复定位精度优于0.1°，能够在真空环境下正常工作。 6.1.2环境条件
a）环境温度：(23±5)C； b）相对湿度：≤80%； c）供电电源：(220±11)V，(50±1)Hz; d）其他：检定环境应为实验室环境，室内清洁，无影响仪器正常工作的电磁场、机械
振动，无影响测量结果的杂散光进入光路。 6.2检定项目
标准探测器的检定项目见表3。
表3检定项目首次检定
使用中检查
序号 1
后续检定
检定项目名称外观和附件
+
+ 2
X JJG（军工）173—2019
表3（续）首次检定 +
序号 2 3 4 5
使用中检查
后续检定
检定项目名称
工作正常性相对光谱响应度
+
+
+
+
+
年变化率
+
非均匀性
+
+
注：“+”为应检项目，“”为可不检项目。 6.3检定方法 6.3.1外观和附件
采用目视法进行检查。 6.3.2工作正常性
采用目视法进行检查。 6.3.3相对光谱响应度
相对光谱响应度采用替代法来进行检定，通过与参考探测器的比较测量，得到被检标准探测器的光谱响应度，进行归一化处理后即可得到相对光谱响应度，其检定原理如图1 所示。
真空舱
真空紫外单色仪
转台
光源
探测器会聚光学系统 被检标准探
测器
激光器
+ 参考探测器
光
电测仪表
图1 相对光谱响应度检定原理框图
检定的操作步骤如下： a）按图1所示位置将光源、真空紫外单色仪、探测器会聚光学系统、参考探测器、
被检标准探测器等安装在真空舱内平台上，
b）利用低功率激光器提供光轴参考基准，并佩戴护目眼镜防止眼睛灼伤，进行光路调
3 JJG
国防军工计量检定规程
JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器
StandardDetectorsfrom115nmto200nm
2020-04-01实施
2019-12-20发布
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器
检定规程
JJG（军工）173—2019 代替JJF（军工）126—2016
VerificationRegulation of Standard Detectorsfrom115nmto200nm
起草单位：国防科技工业1111二级计量站 JJG（军工）173—2019
本规范起草人：
孙红胜 （国防科技工业1111二级计量站）孙广尉 （国防科技工业1111二级计量站）王加朋 （国防科技工业1111二级计量站）蒋新荣 （国防科技工业1111二级计量站）杜继东 （国防科技工业1111二级计量站）王 良 （国防科技工业1111二级计量站） JJG（军工）173—2019
目录
前言 1范围. 2术语和定义 3概述.. 4计量性能要求. 4.1相对光谱响应度 4.2年变化率 4.3非均匀性.. 5通用技术要求 6计量器具控制 6.1检定条件 6.2检定项目.. 6.3检定方法…. 6.4检定结果的处理。 6.5检定周期.. 附录A115nm~200mm标准探测器检定原始记录格式附录B115nm~200nm标准探测器的不确定度评定示例
11
国防军工 JJG（军工）173—2019
前言
本规程的编制依据了JF（军工）1一2012《国防军工计量检定规程编写规则》及JF （军工）6—2014《国防军工计量技术规范审查规范》
本规程替代JJF（军工）126一2016《（115200）探测器相对光谱响应度校准规范》，本规程与JJF（军工）126一2016比较，有下列变化：
1.增加了“年变化率”项目的检定； 2.增加了“非均匀性”项目的检定。
II JJG（军工）173—2019
115nm~200nm标准探测器检定规程
1范围
本检定规程适用于115nm200m标准探测器的首次检定、后续检定和使用中检查。 2术语和定义
下列术语和定义适用于本规程。 探测器响应非均匀性nonuniformityofdetectorresponse
2.1
直径不大于探测器感光面尺寸十分之一的光斑，照射在探测器感光面的9个位置，探测器响应信号最大值和最小值差值的2倍，与最大值最小值之和的比值。 3概述
115m~200nm标准探测器是一种光电转换器件，可将入射到其表面的115nm~200mm 波段内的光辐射能量转换为可测量的电信号。标准探测器根据其工作原理，分为光电倍增管、光电二极管等。115nm~200mm标准探测器作为探测器件，主要用于实现115nm~200mm 波长范围内的光辐射能量探测。 4计量性能要求 4.1米 相对光谱响应度
标准探测器相对光谱响应度量值的不确定度见表1。
表1标准探测器相对光谱响应度量值的不确定度
波长范围扩展不确定度（k=2)
(115~130)nm
(130~200)nm
15%
10%
4.2年变化率
标准探测器相对光谱响应度值的年变化率不大于10%
国防军
4.3非均匀性
对于感光面积大于100mm的标准探测器响应非均匀性不大于5% 5 通用技术要求 5.1外观和附件
标准探测器应标明制造厂名、出厂编号、型号。 5.2工作正常性
标准探测器的光敏面和窗口应清洁、无斑点、气泡和划痕等影响测量的缺陷。 6计量器具控制 6.1检定条件 6.1.1检定用设备
检定用设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。
1 JJG（军工）173—2019
a）参考探测器可采用光谱响应度平坦或已知光谱响应度的115nm～200nm探测器。参考探测器能够
探测到1×10-10W的辐射功率。参考探测器的工作波长范围应覆盖115nm～200nm，其技术指标要求见表2。
表2参考探测器技术指标
(130~200)nm
波长范围扩展不确定度(k-2)
(115~130)nm
4%
10%
b）光源一般采用30W或更高量级功率的尔灯，光源可产生115nm200nm波长范围内的光辐
射，采用直流稳压或稳流电源供电，确保光辐射稳定度，光源供电单元10min稳定性不大于0.1%
c）真空舱真空舱是保证测试环境为真空环境的所用设备，真空舱内气压应小于6×10-3Pa；应有
效屏蔽杂散辐射，隔离外部振动及电磁辐射，形成一个真空屏蔽的测量环境：舱内部件应满足相应的放气率要求，防止污染探测器；舱内能够提供必要的照明条件，并为相应部件提供安装机械接口和电气接口。
d）电测仪表电测仪表0.5级，测量范围一般应覆盖探测器信号输出范围，电压范围一般为
10mV~10V，电流范围一般为1pA~1nA。
e）光路比较装置主要包括探测器会聚光学系统、真空紫外单色仪、转台、激光器和真空监视器等。真
空紫外单色仪的波长范围应覆盖115nm200nm，波长最大允许误差为±0.2nm，光谱分辨力优于0.1nm：转台重复定位精度优于0.1°，能够在真空环境下正常工作。 6.1.2环境条件
a）环境温度：(23±5)C； b）相对湿度：≤80%； c）供电电源：(220±11)V，(50±1)Hz; d）其他：检定环境应为实验室环境，室内清洁，无影响仪器正常工作的电磁场、机械
振动，无影响测量结果的杂散光进入光路。 6.2检定项目
标准探测器的检定项目见表3。
表3检定项目首次检定
使用中检查
序号 1
后续检定
检定项目名称外观和附件
+
+ 2
X JJG（军工）173—2019
表3（续）首次检定 +
序号 2 3 4 5
使用中检查
后续检定
检定项目名称
工作正常性相对光谱响应度
+
+
+
+
+
年变化率
+
非均匀性
+
+
注：“+”为应检项目，“”为可不检项目。 6.3检定方法 6.3.1外观和附件
采用目视法进行检查。 6.3.2工作正常性
采用目视法进行检查。 6.3.3相对光谱响应度
相对光谱响应度采用替代法来进行检定，通过与参考探测器的比较测量，得到被检标准探测器的光谱响应度，进行归一化处理后即可得到相对光谱响应度，其检定原理如图1 所示。
真空舱
真空紫外单色仪
转台
光源
探测器会聚光学系统 被检标准探
测器
激光器
+ 参考探测器
光
电测仪表
图1 相对光谱响应度检定原理框图
检定的操作步骤如下： a）按图1所示位置将光源、真空紫外单色仪、探测器会聚光学系统、参考探测器、
被检标准探测器等安装在真空舱内平台上，
b）利用低功率激光器提供光轴参考基准，并佩戴护目眼镜防止眼睛灼伤，进行光路调
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