ICS 81.040.30 Q 35 备案号：55988—2016
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T 2372—2016
集成电路用石英舟
Quartz boats for IC industry
2017-01-01实施
2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T2372—2016
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。 本标准负责起草单位：上海强华石英有限公司。 本标准参加起草单位：上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电
子材料科技有限公司。
本标准主要起草人：高君、林红斌、杨军、吴长明、周利明、张葆青、周文华、白凤茹。 本标准为首次发布。
I JC/T2372—2016
集成电路用石英舟
1范围
本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 JC/T2205石英玻璃术语
3术语和定义
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JC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。
4分类和标记
4.1分类
按照集成电路制造工艺中对石英舟材料杂质元素含量的要求分为标准级石英舟（S级）和高纯级石英舟（H级）。 4. 2 2标记
按产品的分类、名称、产品图号、生产批号和标准编号和检验员编号的顺序标记。 示例：符合JC/T2372一2016，图号为XXXX，生产批号为20111215-001，检验员编号为01的标准级石英舟的标
记为：
S石英舟XXXX-201111215-001-JC/T2372—2016-01
5材料
材料选用标准级和高纯级石英原材料。
6要求
6.1长度、宽度、高度、直径偏差
石英舟的长度、宽度、高度、直径偏差应符合表1的规定，其他未注明偏差尺寸参照B级。
1 JC/T2372—2016
表1 长度、宽度、高度、直径偏差
单位为毫米
长度、宽度、高度、直径尺寸范围
级别
≤6 ± 0. 1 ±0. 5
7 ~30
101~400 ±0. 5 ± 1. 5
31~100
401~-1 000
1001~2 000
A B 注1：A级 机床精密加工尺寸。 例如： 磨削及有模具定位的相关尺寸。 注2：B级 手工加工尺寸。例如：焊接、手工研削。
± 0. 3 ± 0. 8
±0. 2 ± 0. 5
±0. 5 ± 2. 0
± 1. 0 ± 3. 0
6.2 槽部尺寸偏差
石英舟槽部示意图见图1， 槽部尺寸偏差应符合表2的规定。
单位为毫米
.S/B首槽到基准面距离土0.2
S/G硅片放置试验单片间隙要求0.5~1.0
S/W槽宽±0.05 mmm
S/S槽间距±0.05 T
80/S
S/A总槽间距±0.1
图1 槽部尺寸示意图表2 槽部尺寸偏差
单位为毫米
首槽到 硅片放置测试
名称符号
槽宽 S/w ± 0. 05
槽间距
槽深 S/D ± 0. 3
总槽间距 S/A ± 0. 1
单边间隙要求
偏差类别
基准距离 S/E ± 0. 2
S/S ± 0. 05
S/G 0. 5 ~1. 0
制品偏差 6.3形位偏差
石英舟的形位偏差应符合表3的规定。
表3形位偏差垂直度
单位为毫米
名称符号 A级 B级
平行度
平面度口 0. 1 0. 2
对称度二 0. 1 0. 6
形位偏差类别
1 0. 15 1. 0
// 0. 2 0. 5
制品偏差
注：A级、B级的定义同表1。
2 JC/T2372—2016
6.4 外观质量
石英舟的外观质量应符合表4的规定。
表4 外观质量
要求
项目
宽度 mn ≤1.0 ≤0. 5 ≤0.3
长度 mm ≤5 ≤3 ≤1
允许数量个/m ≤2 ≤3 ≤5
尺寸范围
气泡、破皮气泡、 A 线、破皮气线、
通长气线和破皮气泡、破皮气线不准许。焊口处气泡距表面1mm深以上时，允许直径小于0.5mm，每个焊接处数量不多于3个。 气泡大小在壁厚方向尺寸不得超过壁厚的1/3。直径或宽度小于 0.1m的气泡或气线数量不计。
直径尺寸 mm ≤2.0 ≤1.0 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.3
允许数量个/m ≤1 ≤3 ≤5 ≤2 ≤4
色斑颜色
白点
色线、售 色斑
黑色其他颜色
不允许
宽度不大于0.3m，深度不大于0.1m，长度不大于10mm 经抛光处理的划伤是允许的。 片状析品不允许，点状析晶按白点计。 经抛光处理后的崩落在下述范围之内允许。 长度不大于3m，深度不大于1m：石英管崩落深度小于1/3壁厚。 基准面崩落，不允许。 允许不明显的云雾存在。 在封闭式腔体内，少量的白烟是允许的。 如在相关尺寸偏差的范围内，允许无明显凸凹的掀痕。
划伤析品崩落云雾掀痕
炸裂、晶纹、生料颗 不允许。
粒、桔皮、暗疤、
透明颗粒波纹、沟棱
每100cm最多允许20个。 如在相关尺寸和形位偏差范围内允许存在。
6.5 理化性能 6.5.1 杂质元素含量
标准级（S级）和高纯级（H级)石英舟的杂质元素含量应小于等于表5的要求。
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