ICS 71.040 C 14 备案号：38976—2013
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T2133—2012
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原
子发射光谱法
Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industryInductively coupled plasma atomic emission spectrometric method
2012-12-28发布
2013-06-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国
建材行业标准
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法
JC/T2133—2012
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中国建材工业出版社出版
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开本880×1230 1/16 印张0.75字数20千字 2013年5月第一版 2013年8月第二次印刷
定价18.00元
印数401~600
统-书号：155160·188
* 编号：0843
网址：wwwjccbs.com.cn电话：(010)88386906
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本标准如出现印装质量问题，由发行部负责调换。 JC/T2133—2012
前言
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分技术委员会(SAC/TC194/SC3)归口。 本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。 本标准主要起草人：陈奕睿、屈海云、邹慧君、汪正。 本标准为首次发布。
- JC/T2133—2012
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法
1范围
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-AES）法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。
本标准适用于半导体化学机械抛光（CMP）中抛光液用的各种硅溶胶杂质元素包括：铝、钡、钙、 铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素。
表114种元素的检测范围浓度
浓度 μg/aL 0.01~10 0.01~5 0.01~20 0.01~5 0.01~5 0.01~5 0.01~5
元素铝锁钙络铜铁钾
元素镁锰钠锦饮锦铝
μ8/ml. 0.01~10 0.01~5 0.01~10 0.01~5 0.01~5 0.01~5 0.01~20
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包所有的修改单）适用于本文件。
GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法
3方法提要
试样通过相应的稀释处理或直接进样，在电感耦合等离子体炬焰中激发，发射出所含元素的分析线根据待测元素分析线的强度测定相应元素的含量。
4试剂与材料
4.1实验用水：应符合GB/T6682中规定的二级水。 4.2盐酸：密度1.19g/mL，优级纯。 4.3盐酸（1+1)：取盐酸（4.2）与水按照体积比1：1稀释。
1 JC/T2133—2012 4.4单元素标准贮备溶液：14种单元素标准储备溶液按照GB/T602方法配制，或直接使用有证标准溶液，其质量浓度均为1mg/mL： 4.5混合标准溶液I：分别移取钾、钠2种单元素标准备溶液（4.4)各10.00mL于100mL容量瓶中，稀释至标线，摇匀。贮于塑料瓶中。此溶液钾、钠的浓度均为0.10mg/mL。 4.6混合标准溶液II：移取铝、钡、钙、铬、铁、镁等6种单元素标准贮备溶液（4.4)各10.00mL 于100mL容量瓶中，稀释至标线，摇匀。览于塑料瓶中。此溶液铝、钡、钙、铬、铁、镁的浓度均为 0.10mg/mL. 4.7混合标准溶液IⅢI：移取锰、铜、镍、钛、锌、锆等6种单元素标准贮备溶液（4.4)各10.00mL 于100mL容量瓶中，稀释至标线，摇匀。贮于塑料瓶中。此溶液锰、钢、镍、钛、锌、锆的浓度均为 0.10mg/mL. 4.8混合标准校准曲线系列溶液1：取混合标准溶液1（4.5)（1.00mL、3.00mL、5.00mL、10.00mL、 15.00mL、20.00mL)分别放入一组100mL容量瓶中，加入10mL盐酸（4.3），稀释至标线，摇匀。此系列溶液钾、钠的浓度均分别为（1.00、3.00、5.00、10.00、15.00、20.00)μg/mL。供测定钾、钠用。 4.9混合标准校准曲线系列溶液I：取混合标准溶液ⅡI（4.6)（0.50mL、1.00mL、5.00mL、10.00mL、 15.00mL、20.00mL）分别放入一组100mL容量瓶中，加入10mL盐酸（4.3)，稀释至标线，勺。此系列溶液铝、钡、钙、铬、铁、镁的浓度均分别为（0.50、1.00、3.00、5.00、10.00、15.00、20.00)μg/mL。 供测定铝、、钙、铬、铁、镁用。 4.10混合标准校准曲线系列溶液Il：取混合标准溶液ⅡⅢI（4.7）（0.50mL、1.00mL、5.00mL、10.00mL、 15.00mL、20.00mL）分别放入一组100mL容量瓶中，加入10mL盐酸（4.3)，稀释至标线，摇匀。此系列溶液锰、铜、镍、钛、锌、锆的浓度均分别为（0.50、1.00、3.00、5.00、10.00、15.00、20.00)μg/mL。 供测定锰、铜、镍、钛、锌、锆用。标准溶液系列浓度见表2。
表2混合标准溶液系列浓度
混合标准溶液系列浓度
混合标准溶液系列 元素
μg/nL
编号
A 1 1 0. 5 0.5 0.5 0. 5 0.5 0. 5 0.5 0. 5 0.5 0.5 0.5 0.5
B 3 3 1 1 1 1 1 1 1 - 1 1 1 -
c 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5
D 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10 10
E 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15
F 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20
K Na AI Ba Ca Fe Mg Cr Mn Ni Cu Ti Zn Zr
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