ICS 29.045 H 80
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T282015 代替YS/T28—1992
硅片包装 Package of silicon wafers
2015-10-01实施
2015-04-30发布
发布
中华人民共和国工业和信息化部 YS/T28—2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替YS/T28一1992《硅片包装》。 本标准与YS/T281992相比主要变化如下：
扩大了标准的范围，增加了硅研磨片包装和太阳能电池用硅片包装；一增加了规范性引用文件、术语和定义等；一增加了包装的干扰因素。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江
苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司。
本标准主要起草人：王飞尧、孙燕、马林宝、夏根平、林清香、楼春兰、王志同。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
YS/T28—1992。
I YS/T28—2015
硅片包装
1范围
本标准规定了硅片的包装。 本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片（简称硅研磨片）包装
和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T12964 硅单晶抛光片 GB/T12965 硅单晶切割片和研磨片 GB/T14139 硅外延片 GB/T14264 半导体材料术语 GB/T26071 太阳能电池用硅单晶切割片 GB/T29055 太阳电池用多晶硅片 GB/T 29506 300mm硅单晶抛光片 GB50073 洁净厂房设计规范
3术语和定义
GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
洁净包装cleanpackage 用专用的运输片盒对抛光片、外延片、SOI等晶片进行包装，使其在运输、贮存过程中避免颗粒、金
属及有机物等对片盒中晶片的沾污。 3.2
结合胶带 seamtape 有黏附层的胶带，用于密封晶片盒的座和盖之间的接口。
3.3
片盒 waferbox 由一个盒座和一个盒盖组成的封闭容器，其中带有装载晶片的片篮，一起组成一套晶片片盒。用于
贮存和运输晶片。 3.4
内包装袋 innerwrap 封装专用片盒的内层包装袋，通常采用洁净的塑料袋。
3.5
外包装袋 outerwrap 将已封装内包装袋的专用片盒再次封装用的外层包装袋，通常采用防潮、防静电的铝箔袋。
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3.6
外包装箱outercarton 运输装有多个双层封装专用片盒的纸箱。
3.7
EPP材料expandedpolypropylene EPP是发泡聚丙烯的缩写，是一种新型泡沫塑料的简称。
3.8
EPE材料expandablepolyethylene 可发性聚乙烯，又称珍珠棉，是非交联闭孔结构。它是以低密度聚乙烯（LDPE)为主要原料挤压生
成的高泡沫聚乙烯制品。 3.9
EPS材料expandablepolystyrene 可发性聚苯乙烯（EPS)通称聚苯乙烯和苯乙烯系共聚物，是一种树脂与物理性发泡剂和其他添加
剂的混合物。 3.10
时间雾timedelayhaze;TDH 经洁净封装后的硅抛光片表面随时间的延迟，由于各种原因导致表面生成了一层雾状，严重时在目
检灯下看到的各种颜色的雾。
4干扰因素
4.1洁净包装干扰因素 4.1.1装载经过清洗、检验合格的硅片应使用专用片盒，且该片盒也应经过专用设备的清洗、干燥，以保证片盒不会对其中的硅片造成损伤和沾污。专用片盒的制备材料应保证尽可能减少有机或无机析出物，同时应保证其规格尺寸在规定的范围内。 4.1.2缠绕片盒座与片盒盖接缝处的结合胶带应尽可能避免对操作员和洁净间设备等带来沾污。 4.1.3内包装袋应经过处理，达到能在国标2级以上洁净间使用的要求。 4.1.4外包装袋应能隔绝外部的潮气和静电。 4.1.5 对包装使用的结合胶带、标签用纸、标签上标识的印刷材料、标签背面的不干胶应使用可以在洁净间使用的材料，以减少对硅片和洁净间的沾污。 4.1.6 5包装袋在运输和贮存过程中因各种原因造成漏气、破损都可能会给其中的硅片带来沾污 4.1.7在封装过程中，应保证专用片盒不因充气或真空而变形，否则将造成片盒开启困难，也会造成其中硅片与片盒接触处的沾污、划伤、崩边，甚至破碎。 4.1.8当片盒内出现崩边或碎片时，晶渣或碎片会造成对片盒内其他硅片划伤或沾污。 4.1.9片盒及其中片篮的反复使用可能因其机械完整性或洁净度问题给硅片带来损伤或沾污。 4.1.10不合理的包装操作过程，可能给硅片或片盒等带来沾污，特别是专用硅片运输片盒的装片和盖盒以及密封装盒过程都可能直接带来硅片的沾污 4.1.11 包装时，不适宜的环境湿度可能会造成硅片贮存后的时间雾，甚至形成色斑。 4.1.12 包装时环境的洁净度也会给硅片表面带来影响，特别是专用硅片运输片盒密封装盒以及之前的过程应根据对产品表面的要求选择相应的洁净间，推荐在国标2级以上的洁净间进行。 4.1.13硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔。
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4.2硅研磨片包装干扰因素 4.2.1包装硅研磨片用的包装纸、隔纸应尽可能减少纸屑或纤维的析出，防止粘在硅片表面形成二次沾污。 4.2.2包装盒的大小应适中，一般比硅片直径大0.2mm～0.5mm为宜。过小则容易在包装过程中压碎硅片，过大则容易在后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。 4.2.3包装盒应紧实致密，否则容易析出包装材料的细小颗粒，黏附在硅片表面，形成二次沾污。 4.2.4包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环境中的尘埃，形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。 4.2.5包装时环境的空气洁净度也会给硅片表面带来影响，推荐在国标5级以上的洁净室进行。 4.2.6硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔。 4.3太阳能电池用硅片包装干扰因素 4.3.1包装太阳能硅片用的隔纸或隔板应尽可能减少纸屑或纤维的析出，防止黏在硅片表面形成二次沾污。 4.3.2缓冲材料或包装盒的尺寸应在规定范围内。过小则容易在包装过程中压碎硅片，过大则容易在后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。 4.3.3包装后应检查硅片四边是否整齐、不滑动，避免凹凸不平，造成缺角等，如有异常应重新进行包装。 4.3.4填充材料时应保证硅片没有晃动现象。 4.3.5包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片或包装材料表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环境中的尘埃，形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。 4.3.6包装时环境的空气洁净度也会给硅片表面带来影响，推荐在国标6级以上的洁净室进行。 4.3.7 硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔。
5包装 5.1包装环境
硅片的包装环境应符合表1的规定，其中空气洁净度等级应符合GB50073的规定。
表1包装环境
要求硅研磨片包装
项目空气洁净度等级
太阳能硅片包装
洁净包装 2级 20~26 30%~60%
6级 16~30 ≤70%
5级 20~26 ≤70%
温度/℃ 相对湿度
5.2 包装材料 5.2.1 洁净包装需要的包装材料有：聚氯乙烯密封片盒、结合胶带、内包装袋、外包装袋、外包装箱等。 5.2.2硅研磨片包装需要的包装材料有：泡沫盒、洁净包装纸或洁净塑料袋、泡沫塞垫、外包装箱、包装带等。
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5.2.3太阳能电池用硅片包装需要的包装材料有：无尘纸、塑封膜、EPP/EPE缓冲材料或EPS泡沫包装盒、胶带、纸箱、托盘或木箱、缠绕膜等。 5.2.4包装时应用的片盒、泡沫盒、胶带、洁净包装纸、包装袋、纸箱、包装带等包装材料应符合所在国家相关法律法规要求。 5.2.5包装时使用的材料均不应对硅片产生二次沾污。 5.2.61 包装时使用的包装盒、外包装箱应能承受3层以上同类型满包装的承压而使硅片无破损。 5.3包装方法 5.3.1 洁净包装接下列步骤进行：
a）在洁净间内将装有硅片的专用硅片运输片盒扣好，沿片盒的盒座与盒盖的接缝处缠绕一圈洁
净室用结合胶带，保证片盒密封； b) 在专用片盒的规定位置贴上产品标签，标签内容应包括：产品名称、产品规格、片数、产品批号、
出厂日期，如有其他要求由供需双方协商确定； c) 将贴好标签的专用片盒装人内包装袋中，并进行充气或真空封装； d）将内包装袋装入外包装袋内，并进行充气或真空封装，或可根据客户要求在外包装袋中放人干
燥剂； e) 在外包装袋的规定位置贴上产品标签，标签内容应包括：产品名称、产品规格、片数、产品批号、
出厂日期，如有其他要求由供需双方协商确定； f) 完成了a)～e)之后的包装可在非洁净区域进行。将用外包装袋封好的片盒逐一放人一定规
格的外包装箱内，并采取防震、防潮措施，避免运输途中因震动、碰撞、挤压等造成片盒包装袋或片盒的破损，带来对硅片的沾污，包装箱内应放有装箱单；
g) 外包装箱的外侧应标有“小心轻放”“防潮”“易碎”等标识，其他标识内容由供需双方协商确定，
以便迅速核对收货和发货厂家、发货日期、产品数量等信息。
5.3.2硅研磨片的包装按下列步骤进行：
a）在洁净泡沫盒内衬上柔软洁净的包装纸或塑料袋； b) 硅研磨片按每50片隔一张滤纸或洁净纸，或根据客户要求数量进行隔片； c) 将硅研磨片放人包装纸或塑料袋中，包好包装纸或扎好塑料袋； d) 泡沫盒两端用泡沫塞垫塞紧，盖好盒盖，沿盒与盒盖接缝处缠绕一圈塑料胶带纸封口，在盒上
贴上合格标签：标明硅研磨片加工编号、规格、电阻率、厚度、片数，如有其他要求由供需双方协商确定；
e) 把泡沫盒装人外包装箱，边缘用填充材料塞紧，并附每批产品合格证或检验报告； f) 纸箱外应印有“小心轻放”“防潮”“易碎”等标识，其他标识要求由供需双方协商确定； g) 贴上封箱胶带，并贴上客户地址。如有其他要求由供需双方协商确定。
5.3.3太阳能电池用硅片的包装方法按下列步骤进行：
a）取相同规格、厚度、等级的硅片，以100片为单位，前后各放一张与硅片大小相同、干净的隔纸
或隔板； b) 将包装好的硅片放入包装盒内，保证硅片切割加工方向一致。每盒应装同类型同等级的硅片，
组与组之间用缓冲材料隔开； c) 包装盒两端内侧用缓冲材料塞紧，避免硅片在运输中晃动导致损伤； d) 盖好盒盖，沿盒与盒盖接缝处缠绕一圈塑料胶带封口，在包装盒顶部指定位置贴上标签：标明
硅片名称、规格、型号、电阻率、厚度、片数，如有其他要求由供需双方协商确定； e) 将包装盒装入纸箱，在最后一盒底部位置放入提拉专用带或绳，满箱后用塑料胶带进行封箱。 f)纸箱外应印有“小心轻放”“防潮”“易碎”等标识，其他标识要求由供需双方协商制定； 4 YS/T 28—2015
g) 打印装箱单，张贴在纸箱外指定位置； h) 发货组托要求由供需双方协商确定。
5.4 包装随带文件 5.4.1 质量证明书，其内容应符合GB/T12964、GB/T12965、GB/T14139、GB/T26071、GB/T29055、 GB/T29056的要求。 5.4.2 装箱单应包括下列内容：
a) 供方名称； b) 产品名称； c) 产品数量。 中华人民共和国有色金属
行业标准硅片包装 YS/T28—2015
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开本880×12301/16 印张0.75 字数12千字 2016年4月第一版 2016年4月第一次印刷
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书号：155066·2-28985 定价 16.00元
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