ICS 71.040.40 G 04
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T338342017
微束分析 扫描电子显微术生物试样扫描电子显微镜分析方法
Microbeam analysisScanning electron microscopy- Scanning electron microscope analysis of biological specimens
2018-04-01实施
2017-05-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T33834—2017
目 次
前言引言
m
范围规范性引用文件
1
2
3 术语和定义
基本原理仪器设备和材料
4
5
6 试样
观察分析步骤 8 结果表述异常情况的处理
7
...
9
10 分析结果报告· 附录A（资料性附录） 常用固定液的配方 GB/T 33834—2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。 本标准起草单位：浙江大学、同济大学、中国人民解放军第二军医大学、复旦大学。 本标准主要起草人：洪健、陈汉民、戎念杭、祝建、杨勇骥、俞彰
= GB/T33834—2017
引言
扫描电子显微镜是观察分析固态试样表面形貌和超微结构的分析仪器，要求试样干燥和表面导电。 大多数生物试样（动物、植物和微生物)水分含量高、不导电，进行扫描电镜观察分析时极容易在真空环境中收缩变形，导致真实的形态结构被破坏，且不能获得良好的结构信息。因此，需采用化学或物理的手段对生物试样进行处理，才能最大限度地保持试样的原貌，供扫描电镜观察和分析。随着电子显微镜技术的发展，在扫描电镜生物试样常规化学处理方法的基础上，发展了一些新的物理处理技术如冷冻扫描电镜技术，并在实践中得到了良好应用。为了规范扫描电镜生物试样的制备程序，正确指导生物试样的扫描电镜分析工作，有必要制定生物试样扫描电镜分析方法的国家标准。
V GB/T33834—2017
微束分析扫描电子显微术生物试样扫描电子显微镜分析方法
1范围
本标准规定了生物试样扫描电子显微镜分析的技术要求和规范，本标准适用于各种类型的扫描电子显微镜
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件
GB/T21636微束分析 电子探针显微分析（EPMA）术语 GB/T 23414 微束分析 扫描电子显微术术语
3 ：术语和定义
GB/T23414和GB/T21636界定的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子枪 electrongun 电子显微镜中的电子光源，由一发射体（加热钨丝、六硼化镧LaB。灯丝、冷场或热场发射尖端）与
电子加速系统组成。 3.2
电子束 electronbeam 由电子光学系统聚焦到试样表面的一束电子。
3.3
加速电压 acceleratingvoltage 为加速从电子源发射的电子而加到灯丝和阳极之间的电位差，
3.4
生物试样 biological specimens 供扫描电子显微镜分析用的具有或者曾具有生命形式的各种动物、植物和微生物样品。
3.5
二次电子 secondaryelectron 由于入射电子轰击试样而从试样表面发射的电子。 注：通常把能量小于50eV的电子称为二次电子。
3.6
背散射电子 backscatteredelectron 通过背散射过程从试样的电子人射表面出射的电子。 注：通常把能量大于50eV的电子称为背散射电子，
1 GB/T33834—2017
3.7
图像分辨率 imageresolution 能被清楚地分开、识别的两个图像特征之间的最小间距
3.8
图像放大倍率 imagemagnification 扫描电镜显示的线性尺度L与试样上扫描范围的相应长度1之比则为图像放大倍率，以M表示，
M=L/l。 3.9
工作距离 workingdistance 物镜极靴下表面与试样表面之间的距离。
3.10
像散astigmatism 一个物点发出的电子，不是像理想柱状透镜聚焦成一点，而是聚焦形成2条互成90°的分离聚焦线，注：像散是由于极靴加工精度、极靴材料不均匀、透镜内线圈不对称及不完善的光阑形成的透镜不对称磁场产生。
3.11
荷电 charging 由于缺少足够的对地导电途径，当试样受入射电子束轰击时其表面发生电荷积累的现象
3.12
导电镀层 conductive coating 一种覆盖到绝缘试样表面的低电阻材料（如金、铂、铬、碳等）薄镀层，以提供电子束轰击时可能在表
面积累电荷的接地通道。
注：导电镀层一般厚度为2nm～20nm。 3.13
扫描电子显微镜 scanning electronmicroscope;SEM 通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。该仪器用细聚焦的高能电子束轰击试样表
面，通过电子与试样相互作用产生二次电子、背散射电子等信息，可对试样表面或断口形貌进行观察。 3.14
冷冻扫描电子显微镜 cryo-scanning electron microscope;Cryo-SEM 样品台由液氮致冷的专用扫描电镜，以及在扫描电镜上附加液氮致冷的冷冻样品台附件，可将含
水、含油试样超低温快速冷冻至固体状态下进行观察。
4基本原理
4.13 扫描电镜的成像原理
由电子枪发射电子，经聚光镜和物镜的逐级会聚，形成具有一定能量和照明强度、束斑直径极细的入射电子束（电子探针），在扫描线圈的作用下，电子束在试样表面作光栅状扫描，通过闪炼体等检测器件接收试样中被激发出的二次电子、背散射电子等信号，把它转变成光信号，再经光电倍增管放大并转变成电信号，最后由计算机进行信号数据处理，在显示器上呈现试样表面形貌的电子图像。 4.2冷冻扫描电镜的成像原理
冷冻扫描电镜的成像原理同常规扫描电镜，区别在于样品台是由液氮致冷，并可以调节温度，控制冰的升华，观察的是经过超低温冷冻固化的试样。
2 ICS 71.040.40 G 04
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中华人民共和国国家标准
GB/T338342017
微束分析 扫描电子显微术生物试样扫描电子显微镜分析方法
Microbeam analysisScanning electron microscopy- Scanning electron microscope analysis of biological specimens
2018-04-01实施
2017-05-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T33834—2017
目 次
前言引言
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范围规范性引用文件
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3 术语和定义
基本原理仪器设备和材料
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6 试样
观察分析步骤 8 结果表述异常情况的处理
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10 分析结果报告· 附录A（资料性附录） 常用固定液的配方 GB/T 33834—2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。 本标准起草单位：浙江大学、同济大学、中国人民解放军第二军医大学、复旦大学。 本标准主要起草人：洪健、陈汉民、戎念杭、祝建、杨勇骥、俞彰
= GB/T33834—2017
引言
扫描电子显微镜是观察分析固态试样表面形貌和超微结构的分析仪器，要求试样干燥和表面导电。 大多数生物试样（动物、植物和微生物)水分含量高、不导电，进行扫描电镜观察分析时极容易在真空环境中收缩变形，导致真实的形态结构被破坏，且不能获得良好的结构信息。因此，需采用化学或物理的手段对生物试样进行处理，才能最大限度地保持试样的原貌，供扫描电镜观察和分析。随着电子显微镜技术的发展，在扫描电镜生物试样常规化学处理方法的基础上，发展了一些新的物理处理技术如冷冻扫描电镜技术，并在实践中得到了良好应用。为了规范扫描电镜生物试样的制备程序，正确指导生物试样的扫描电镜分析工作，有必要制定生物试样扫描电镜分析方法的国家标准。
V GB/T33834—2017
微束分析扫描电子显微术生物试样扫描电子显微镜分析方法
1范围
本标准规定了生物试样扫描电子显微镜分析的技术要求和规范，本标准适用于各种类型的扫描电子显微镜
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件
GB/T21636微束分析 电子探针显微分析（EPMA）术语 GB/T 23414 微束分析 扫描电子显微术术语
3 ：术语和定义
GB/T23414和GB/T21636界定的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
电子枪 electrongun 电子显微镜中的电子光源，由一发射体（加热钨丝、六硼化镧LaB。灯丝、冷场或热场发射尖端）与
电子加速系统组成。 3.2
电子束 electronbeam 由电子光学系统聚焦到试样表面的一束电子。
3.3
加速电压 acceleratingvoltage 为加速从电子源发射的电子而加到灯丝和阳极之间的电位差，
3.4
生物试样 biological specimens 供扫描电子显微镜分析用的具有或者曾具有生命形式的各种动物、植物和微生物样品。
3.5
二次电子 secondaryelectron 由于入射电子轰击试样而从试样表面发射的电子。 注：通常把能量小于50eV的电子称为二次电子。
3.6
背散射电子 backscatteredelectron 通过背散射过程从试样的电子人射表面出射的电子。 注：通常把能量大于50eV的电子称为背散射电子，
1 GB/T33834—2017
3.7
图像分辨率 imageresolution 能被清楚地分开、识别的两个图像特征之间的最小间距
3.8
图像放大倍率 imagemagnification 扫描电镜显示的线性尺度L与试样上扫描范围的相应长度1之比则为图像放大倍率，以M表示，
M=L/l。 3.9
工作距离 workingdistance 物镜极靴下表面与试样表面之间的距离。
3.10
像散astigmatism 一个物点发出的电子，不是像理想柱状透镜聚焦成一点，而是聚焦形成2条互成90°的分离聚焦线，注：像散是由于极靴加工精度、极靴材料不均匀、透镜内线圈不对称及不完善的光阑形成的透镜不对称磁场产生。
3.11
荷电 charging 由于缺少足够的对地导电途径，当试样受入射电子束轰击时其表面发生电荷积累的现象
3.12
导电镀层 conductive coating 一种覆盖到绝缘试样表面的低电阻材料（如金、铂、铬、碳等）薄镀层，以提供电子束轰击时可能在表
面积累电荷的接地通道。
注：导电镀层一般厚度为2nm～20nm。 3.13
扫描电子显微镜 scanning electronmicroscope;SEM 通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。该仪器用细聚焦的高能电子束轰击试样表
面，通过电子与试样相互作用产生二次电子、背散射电子等信息，可对试样表面或断口形貌进行观察。 3.14
冷冻扫描电子显微镜 cryo-scanning electron microscope;Cryo-SEM 样品台由液氮致冷的专用扫描电镜，以及在扫描电镜上附加液氮致冷的冷冻样品台附件，可将含
水、含油试样超低温快速冷冻至固体状态下进行观察。
4基本原理
4.13 扫描电镜的成像原理
由电子枪发射电子，经聚光镜和物镜的逐级会聚，形成具有一定能量和照明强度、束斑直径极细的入射电子束（电子探针），在扫描线圈的作用下，电子束在试样表面作光栅状扫描，通过闪炼体等检测器件接收试样中被激发出的二次电子、背散射电子等信号，把它转变成光信号，再经光电倍增管放大并转变成电信号，最后由计算机进行信号数据处理，在显示器上呈现试样表面形貌的电子图像。 4.2冷冻扫描电镜的成像原理
冷冻扫描电镜的成像原理同常规扫描电镜，区别在于样品台是由液氮致冷，并可以调节温度，控制冰的升华，观察的是经过超低温冷冻固化的试样。
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