ICS 77.150.60 H 62
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T20510—2017 代替GB/T20510—2006
氧化铟锡靶材
Indium-tin oxidetarget
2018-05-01实施
2017-10-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T20510—2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准代替GB/T20510一2006《氧化钢锡靶材》。与GB/T20510一2006相比，主要变动如下：
删除了“失氧率”的要求； -对氧化钢锡靶材的化学成分进行了修改，删除了对杂质元素锌、钙、镁量的控制，增加了杂质铬、铊量的控制；修改了相对密度的含量范围；增加了“表面粗糙度”； -增加了“组织均匀性”；修改了组批的方式；删除了标准附录“失氧率的测定”。
本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准负责起草单位：株洲冶炼集团股份有限公司。 本标准参加起草单位：中国船舶重工集团公司第725研究所、北京冶科纳米科技有限公司。 本标准主要起草人：谭仪文、黄剑、彭小苏、都雨林、孙振德、梅方胜、崔晓芳、张士察。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
GB/T20510—2006。
I GB/T20510—2017
4.2 化学成分
4.2.1主要成分
氧化铟和氧化锡的质量百分比InzO3：SnO。=90：10，偏差为士0.5。 4.2.2 ：氧化铟锡靶材的主要杂质成分应符合表1的规定。
表1 氧化钢锡靶材主要杂质成分
%
杂质含量，质量分数不大于（×10-4） Cu
总和 100
Fe 15 注：杂质总和为包含且不限于表中所列杂质元素实测值之和。
A1 10
Si 15
Pb 5
Cd 5
Ni 5
Cr 5
T1 5
5
4.2.3 需方如对氧化锡靶材主要成分的质量百分比和杂质成分有特殊要求时，由供需双方商定。 4.3 物理性能 4.3.1 相对密度：RD99.0、RD99.5、RD99.7牌号的氧化铟锡靶材相对密度应分别≥99.0%、99.5%、 99.7%；密度均匀性偏差为土0.2。
电阻率：≤1.6×10-42·cm。 4.3.3 线膨胀系数：6×10-6℃-1~9×10-6℃-1。 4.4 物理规格
4.3.2
氧化钢锡靶材呈片状或其他形状，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。 4.5 表面质量 4.5.1 表面粗糙度：Ra≤1.6（μm）。 4.5.2 氧化铟锡靶材呈黑色或灰黑色，颜色应均匀。 4.5.3氧化铟锡靶材表面应平整，无裂纹，无明显崩边，气孔直径不大于0.3mm，且无任何外来夹杂物、缺陷和污染物。 4.6 组织均匀性
氧化铟锡靶材的SnO。固熔到InO：中Sn在靶材中均匀分布，晶粒均勾。
5
试验方法
5.1 化学成分分析方法
氧化铟锡靶材化学成分的仲裁分析方法由供需双方商定， 5.2 物理性能检验方法 5.2.1 表观密度检验方法
氧化铟锡靶材的表观密度按GB/T5163的规定进行测定。
2 GB/T 20510—2017
5.2.2电阻率检验方法
氧化铟锡靶材的电阻率按GB/T351的规定进行测定 5.2.3线膨胀系数检验方法
氧化铟锡靶材线膨胀系数的按GB/T16535的规定进行测定。 5.3物理规格
氧化钢锡靶材的物理规格采用相应精度的测量仪器进行测定，
5.4 表面质量
氧化铟锡靶材的表面质量采用目视法或相应仪器进行检验，
5.5 组织均匀性
氧化铟锡靶材的组织均匀性采用GB/T13298的规定进行检验。
6检验规则
6.1 检查和验收
6.1.1氧化钢锡靶材应由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（合同）的规定，并填写质量证明书 6.1.2需方对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单（合同）的规定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行。 6.2组批
氧化铟锡靶材应成批提交检验，每批应由同一生产工艺、同一批原料生产的产品组成。 6.3# 检验项目 6.3.1 每批氧化钢锡靶材应进行化学成分、物理性能、组织均匀性的检验 6.3.2每片（件）氧化钢锡靶材应进行物理规格、表面质量的检验。 6.4取样和制样 6.4.1化学分析试样的采取和制备
氧化钢锡靶材化学分析样的采取和制备方法由供需双方商定，
6.4.2物理性能检验试样的采取
6.4.2.1表观密度检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%样品，但不少于1片（件），沿靶材的中心线，用线切割机等距分取20mm×20mm的样品3～4块，用超声波清洗器清洗干净后进行表观密度的测定。 6.4.2.2 2电阻率检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1片（件），用线切
3 GB/T20510—2017
割机沿氧化钢锡靶材的边切割长120mm的矩形长条2个，用超声波清洗器清洗干净后进行电阻率的测定。 6.4.2.3 线膨胀系数检验试样的采取：从产品中按片（件）随机抽取10%的样品，但不少于1片（件），用线切割机沿氧化钢锡靶材的边切割下与标准样品尺寸一致的长条2个，用超声波清洗器清洗干净后进行线膨胀系数的测定。 6.4.3组织均匀性检验试样的选取
组织均匀性检验试样的选取由供需双方商定 6.5木 检验结果的判定 6.5.1氧化钢锡靶材检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T8170中的有关规定进行 6.5.2氧化钢锡靶材的化学成分、物理性能和组织均匀性的检验结果与本标准或订货单（合同）的规定不符时，按批判不合格 6.5.3氧化铟锡靶材的物理规格、表面质量与本标准或订货单（合同）的规定不符时，按片（件）判不合格。
7包装、标志、运输与贮存、质量证明书
7.1 包装
每片氧化铟锡靶材应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施 7.2标志
每片（件）氧化铟锡靶材的包装上应标注注册商标（或企业标志），产品名称、批号及产品合格标志。
7.3运输与贮存
氧化铟锡靶材应存放在干燥阴凉的库房。运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。 7.4其他
需方如对氧化钢锡靶材的标志、包装、运输与贮存有特殊要求时，由供需双方商定。
7.5 质量证明书
每批氧化钢锡靶材出厂时应附质量证明书，其上注明： a) 供方名称和商标； b) 产品名称； c) 牌号； d) 批号； e) 净重和件数； f) 分析检验结果和技术监督部门印记； g) 本标准编号； h) 出厂日期。 4