您当前的位置:首页>行业标准>YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

资料类别:行业标准

文档格式:PDF电子版

文件大小:1.83 MB

资料语言:中文

更新时间:2023-11-21 10:26:45



推荐标签: 尺寸 ys 堆垛 测定 外延 23 厚度 厚度 23 外延

内容简介

上一章:YS/T 1161.3-2016 拟薄水铝石分析方法 第3部分:孔容和比表面积的测定 氮吸附法 下一章:YS/T 1161.2-2016 拟薄水铝石分析方法 第2部分:烧失量的测定 重量法

相关文章

YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法 YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 GB/T 42905-2023 正式版 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法 GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法