ICS 71.040.10 N 53 备案号：56580—2017
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T12962.3—2016
能量色散X射线荧光光谱仪第3部分：镀层厚度分析仪
Energy dispersive X-ray fluorescence spectrometer -
Part 3: Plating thickness analyzer
2016-10-22发布
2017-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和 国
机械行业标准
能量色散X射线荧光光谱仪第3部分：镀层厚度分析仪
JB/T12962.32016
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机械工业出版社出版发行北京市百万庄大街22号
邮政编码：100037
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210mm×297mm?0.75印张·23千字
2017年4月第1版第1次印刷
定价：15.00元
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书号：15111·14108 网址：http：//www.cmpbook.com 编辑部电话：（010）88379399 直销中心电话：（010）88379399 JB/T12962.3—2016
目 次
前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4测量范围 5要求，
5.1正常工作条件 5.2外观.. 5.3 输出接口和输出信号 5.4电源适应性 5.5性能. 5.6影响量. 5.7 安全 5.8电磁兼容性 5.9包装、运输和运输贮存 6试验方法. 6.1试验条件， 6.2试验方法. 7检验规则.. 7.1检验分类 7.2出厂检验. 7.3型式检验. 8标志、包装、运输和贮存
4
2
图1X射线管电流-计数率曲线
T
表1技术性能表2相应类型仪器稳定性测试要求表3仪器检验项目表
I JB/T12962.3—2016
前言
JB/T12962《能量色散X射线荧光光谱仪》分为三个部分：
第1部分：通用技术；一 第2部分：元素分析仪；
第3部分：镀层厚度分析仪。 本部分为JB/T12962的第3部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国工业过程测量控制和自动化标准化技术委员会（SAC/TC124）归口。 本部分起草单位：江苏天瑞仪器股份有限公司、南通菲希尔测试仪器有限公司、中国科学院上海硅
酸盐研究所、牛津仪器（上海）有限公司。
本部分主要起草人：吴敏、周晓辉、卓尚军、徐家骥、吴斌。 本部分为首次发布。
II JB/T12962.3—2016
能量色散X射线荧光光谱仪第3部分：镀层厚度分析仪
1范围
JB/T12962的本部分规定了能量色散X射线荧光镀层厚度分析仪的术语和定义、测量范围、要求、 试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于采用X射线管为激发源，对镀层厚度进行无损测试的能量色散X射线荧光光谱仪（以下简称仪器），采用其他激发源的仪器可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2829一2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB/T4960.6一2008核科学技术术语核仪器仪表 GB/T11685一2003半导体X射线探测器系统和半导体X射线能谱仪的测量方法 GB/T16921一2005金属覆盖层覆盖层厚度测量X射线光谱方法 JB/T12962.1一2016能量色散X射线荧光光谱仪第1部分：通用技术
3术语和定义
GB/T4960.62008、GB/T11685—2003、GB/T16921—2005和JB/T12962.1—2016界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1
能量色散X射线荧光光谱仪镀层厚度分析仪EnergydispersiveX-rayfluorescencespectrome terPlatingthicknessanalyzer
利用X射线激发样品，测量所产生的特征X射线能量及强度，以确定基体覆盖层元素组成与厚度的仪器。 3.2
基体substrate 被覆盖层直接沉积的材料。
3.3
准直器collimator 采用尺寸精确的单孔或多孔，这些孔在理论上可为任何形状，一般为圆形、正方形或长方形。这种
孔的大小和形状决定被测覆盖层的入射X射线光束的尺寸。 3.4
最大线性计数率maximumlinearitycountrate 在给定条件下，X射线管电流与计数率成正比关系的最大计数率，通常用cps表示。
1 JB/T12962.32016
4 测量范围
仪器的测量范围如下：
非半导体检测器（如正比计数器）：Ti-U；半导体检测器：P-U。
注：测量范围在特殊情况（如真空，充氨气）下可扩展。
5要求
5.1 正常工作条件
应符合JB/T12962.1—2016中5.1规定的条件
5.2 2外观
应符合JB/T12962.1—2016中5.2的规定。 5.3 输出接口和输出信号
应符合JB/T12962.1—2016中5.3的规定。 5.4电源适应性
应符合JB/T12962.1—2016中5.4的规定。 5.5性能
仪器的技术性能指标应符合表1的规定。
表1技术性能试验用样品厂商自定锰片（≥99.9%）
序号 类型 1 2
项目能量线性能量分辨率覆盖层重复性RSD 稳定性RSD 最大线性计数率 铜片（≥99.9%）
指标（正比计数器）
指标（半导体型）
制造商给出 ≤230eV
一
便携型
Ni
3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
Au ≤1% ≤1% ≤3%
-
Au/Ni/Cu镀金片
-
≤3%
制造商给出制造商给出 ≤220eV
厂商自定锰片（≥99.9%）
能量线性能量分辨率覆盖层重复性RSD, 稳定性RSD2 最大线性计数率 铜片（≥99.9%）
制造商给出 ≤1200eV Au
实验室型
Ni ≤2.5% ≤2% ≤2% ≤7%
Ni
Au
Au/Ni/Cu镀金片
≤1% ≤3%
≤4% ≤4% 制造商给出
制造商给出
2 JB/T12962.3—2016
5.6影响量 5.6.1环境温度变化影响
应符合JB/T12962.1—2016中5.6.1的规定。 5.6.2振动影响
应符合JB/T12962.1—2016中5.6.2的规定。 5.6.3电源变化影响
应符合JB/T12962.1—2016中5.6.3的规定。 5.7安全 5.7.1外壳防护等级
应符合JB/T12962.1—2016中5.7.1的规定。 5.7.2标志和文件
应符合JB/T12962.1—2016中5.7.2的规定。 5.7.3防电击
应符合JB/T12962.1—2016中5.7.3的规定。 5.7.4其他
应符合JB/T12962.1—2016中5.7.4的规定。 5.7.5辐射防护
应符合JB/T12962.1—2016中5.7.5的规定。 5.8 3电磁兼容性
应符合JB/T12962.1—2016中5.8的规定。 5.9 9包装、运输和运输贮存
应符合JB/T12962.1—2016中5.9的规定。
6试验方法
6.1 试验条件 6.1.1除非另有规定，仪器的性能试验应在下列试验条件下进行：
a）环境温度：15℃～35℃，环境温度波动不超出土2℃； b）相对湿度：≤85% c）大气压力：70.0kPa～106.0kPa; d）周围无强电磁场干扰，无腐蚀性气体和无强烈振动； e）供电电源：交流电压220V土22V，频率50Hz土1Hz； f）接地要求：仪器可靠接地。
3 JB/T12962.3—2016
6.1.2能量线性试验时所使用的校正物质应满足：
a）含有不少于三个元素； b）各元素特征峰在测量范围内应相对均匀分布； c）元素含量不小于1%，并可长时间保持稳定。
6.1.3能量分辨率试验时所使用的试验用样品：Mn片（质量分数≥99.9%）。 6.1.4重复性、稳定性试验时所使用的试验用样品：
Au/Ni/Cu镀金片：尺寸不小于准直器大小，覆盖层Au的质量分数不低于99.9%，Au厚度为 0.4μm～0.6μm；覆盖层Ni的质量分数不低于99.9%，Ni厚度为4μm～6μm；基材Cu的质量分数不低于99.9%。 6.1.5最大线性计数率试验时所使用的试验用样品：Cu片（质量分数≥99.9%）。 6.1.6仪器操作应遵守有关安全规定。 6.1.7受试仪器状态：对于接通电源后有预热要求或稳定周期要求的仪器，检查和性能试验应在规定的预热时间后进行。 6.2试验方法 6.2.1外观
见JB/T12962.1—2016中6.2.1。 6.2.2输出接口和输出信号
见JB/T12962.1—2016中6.2.2。 6.2.3电源适应性
见JB/T12962.1—2016中6.2.3。 6.2.4性能 6.2.4.1能量线性
见JB/T12962.1—2016中6.2.4.1。 6.2.4.2能量分辨率
见JB/T12962.1—2016中6.2.4.2 6.2.4.3重复性
置试验用样品于检测位置，适当调节管压、管流，使百分比死时间控制在不大于10%，连续测量时间为100S。重复测量11次，每次测量同一个位置。分别读取测量的Au和Ni厚度；由公式（1）、 公式（2）计算仪器对测试片各层重复测量的相对标准偏差RSD,。
V
Z(T-T)2
(1)
51
10
RSD, S +×100%
(2)
2
式中：
4