ICS29.045 H81
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T43—2011 代替YS/T43--92
高纯砷
High-purityarsenic
2012-07-01实施
2011-12-20发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属
行业标推高纯砷 YS/T43—2011
*
中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号（100013）北京市西城区三里河北街16号（100045）
网址www.spc.net.cn
总编室：（010)64275323 发行中心：（010)51780235
读者服务部：（010)68523946 中国标准出版社泰皇岛印刷厂印刷
各地新华书店经销
开本880×12301/16印张0.5 字数9千字 2012年6月第一版2012年6月第一次印刷
+
书号：155066·2-23624定价14.00元
如有印装差错 告由本社发行中心调换
版权专有侵权必究举报电话：（010)68510107 YS/T43—2011
前言
本标准代替YS/T43—1992《高纯砷》。 本标准是对YS/T43—1992《高纯砷》的修订，本标准与YS/T43-1992相比，主要有如下变动：
产品分类中增加了一个牌号As-07，检测杂质包括镁、铬、镍、铜、锌、锑、铅、铋、钠、钾、铝、银、 钙、铁等14个元素； As-05牌号化学成分增加钠、钾、铋3个杂质元素，检测元素量由13个增加到16个； As-06牌号化学成分因极谱法检出限的局限，取消硫、硒2个杂质元素，增加钠、钾、铋3个杂
质元索，检测杂质元素由13个增加到14个；修订了原标准试验方法。采用电感耦合等离子质谱法测定砷中金属杂质含量，As-05牌号硫、 硒杂质仍保留原极谱法测定；杂质含量的浓度单位采用国际上惯用的1×10-1%（ppbwt）进行表述；一产品包装、运输、贮存等规定作了部分调整和补充，并要求供方提供产品的安全技术说明书；一增加了订货合同内容。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本标准负责起草单位：峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司，本标准主要起草人：杨卫东、程高明、邹同贵、王飞、廖敏。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
-YS/T43—1992。
T YS/T43—2011
高 纯 砷
1范围
本标准规定了高纯碑的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。 本标准适用于以工业砷为原料，经升华、氟化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于
99.999%、99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造碑化等Ⅲ-V族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB16483化学品安全技术说明书编写规定 JT617汽车运输危险货物规则 YS/T34.1-2011高纯碑化学分析方法 电感耦合等离子质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质
含量
YS/T34.2—2011 高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量 YS/T34.3—2011 高纯砷化学分析方法极谱法测定硫量
3要求 3.1分类和标记
产品按砷含量99.999%、99.9999%、99.99999%的不同分为三个牌号，分别标记为As-05、As-06、 As-07. 3.2化学成分
各牌号化学成分应符合表1的规定。
表1高纯砷的化学成分
化学成分杂质含量（×10-1%），不大于
As含量 % 不小于 Na
牌号
Ca Cr Fe Ni Cu Zn Se
Ag Sb Pb Bi
Mg A
S
As-05 99.999 500 200 500 500 500 500 500 100 500 500 1000 1000 100 500 500 500 As-06 99.999 9 100 50 50 50 50 50 50 10 1o 50
1
10 50 30 50 10 10
As-07 99.99999 10 5 5 10 10 10 10 10 5 5
10
5
注：As-05牌号杂质总含量应不超过10000×10-%；
As-06牌号杂质总含量应不超过1000×10-7%； As-07牌号杂质总含量应不超过100×10-1%
www.1ongniu.com YS/T43—2011
3.3尺寸
产品颗粒尺寸在2mm~20mm之间，小于2mm的砷量不应大于总量的5%：大于20mm的碑量不应大于总量的5%。 3.4净重及允许差
产品按净重1000g/瓶、1500g/瓶、3000g/瓶三种规格包装，每瓶净重允许差士1g 3.5外观
不规则块状，结晶体呈灰色金属光，表面无肉眼可见的黑色、白色覆盖物或其他机械夹杂物。
3.6其他
As-06、As-07牌号的硫、硒含量由工艺保证，不影响使用。 需方如有特殊要求，由供需双方另行商定。
4试验方法 4.1化学成分
高纯砷中镁、铬、镍、铜、锌、锑、铅、铋、钠、钾、铝、银、钙、铁等14个杂质含量的测定按YS/T34.1一 2011的规定进行。
高纯砷中硒杂质含量的测定按YS/T34.2一2011的规定进行。 高纯砷中硫杂质含量的测定按YS/T34.3—2011的规定进行。
4.2尺寸
用2mm和20mm圆孔筛进行筛分。 4.3净重
采用精度为0.5g的天平检测。 4.4外观
目视检查。
5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。仲裁分析按供需双方认可的方法进行。 5.2检验项目 5.2.1每批产品应进行化学成分、外观质量的检验。 5.2.2检验项目包括4.1~4.4。4.1为逐批检验，4.2、4.3和4.4为逐瓶检验。
2 YS/T43—2011
5.3组批
产品应成批提交验收。每批应由同一生产方法、同一牌号和同一规格的产品组成。通常以每一精
馏签的三氯化砷经氢还原生产的产品为一批。 5.4取样
从每批产品中随机采集100g样品，经碾碎、磨细、缩分，获得20g试样。每个样品分出一个送检试样，两个备检试样。采样操作应在1000级（6级）洁净室内进行。 5.5检验结果判定 5.5.1若送检试样的化学成分检验结果与本标准规定相符，判定该批产品合格。 5.5.2若试样化学成分检验不合格，按4.1规定的方法对备检副样进行检验。若两个副样检验均合格，判定该批产品合格。否则，判定该批产品不合格。 5.5.3若检验中出现外观、尺寸、净重不合格，判定该瓶产品不合格。
6标志、包装、运输及贮存
6.1产品标签
产品标签应包括下列内容： a）产品名称、牌号、净重； b）产品批号、瓶号： c) 生产日期； d）产品执行标准代号； e) 供方名称、商标、地址、电话及网址； D 有害产品图示、标志及警示调。
6.2包装
产品于1000级（6级）洁净室中用专用玻璃瓶充氩封装。包装瓶外贴产品标签，用塑料袋真空密封，依次放入减震泡沫板的排孔中，加盖，装入专用包装箱，并放人装箱单和安全技术说明书封严。或根据用户要求的其他方式包装。
运输包装箱上有下列内容： a）产品名称、牌号、体积、重量； b) 供方名称、地址、邮编、电话； c) 需方名称、地址； d) 易碎、防雨等图示标志； e) 有毒有害产品图示、标识及警示词； f 有毒有害产品安全标签。
6.3运输
产品在运输过程中应防潮，避免剧烈碰撞。禁止在非洁净室、无保护措施的场合启封包装瓶。 6.4存
产品应贮存于清洁、干煤、无酸碱气氛之处。贮存仓库内安装防盗报警器，在仓库明显处贴安全标
YS/T43—2011 志“贴镂交叉骨”，书写警示词“有毒” 6.5质量证明书
每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称； b) 产品名称和牌号： c) 批号； d) 净重和件数； e) 分析检验结果和技术监督部门印记； f) 产品执行标准代号； g) 出厂日期。
6.6安全技术说明书
安全技术说明书应符合GB16483的规定要求，至少应包含有下列内容： a）产品名称、牌号； b) 危险性概述； c) 食入、吸人、触及的应急处理； d) 泄漏应急处理； e) 供方名称、地址、邮编、电话。
6.7其他
产品包装、运输、贮存应遵守JT617的相关规定。
7订货单（或合同)内容
供需双方在订货单（或合同）中应载明下列内容： a）产品名称、牌号、重量、包装规格等； b）：本标准编号； c) 供方和需方的名称、地址、邮编、电话等； d) 其他要求。
版权专有侵权必究书号：155066·2-23624 定价：
.
14.00元
YS/T43-2011
打印日期：2012年7月3日F009A