ICS 23.160 J78 备案号：53529—2016
中华人民共和国机械行业标准
JB/T12585—2016
真空技术 磁悬浮分子泵 Vacuum technologyMagnetic levitated turbomolecular pump
2016-01-15发布
2016-06-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T12585—2016
目 次
前言范用
1
规范性引用文件
2
3术语和定义. 4型式与基本参数 4.1型号表示方法. 4.2基本参数. 5技术要求... 测试方法，
6
6.1 最低工作压力测试 6.2 压缩比测试. 6.3 体积流率测试. 6.4 启动时间测试 6.5 振动测试. 6.6 噪声测试.. 6.7 转速测试.. 7检验规则. 7.1 - 一般要求. 7.2 检验要求， 8标志、包装、运输和贮存
表1 磁浮泵的基本参数 JB/T12585—2016
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草，本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技（北京）
有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：朱国精、邹蒙、李奇志、刘磊、胡眉、张晨光、陈林、张智明、郑荣禧、王长明、王玲玲。
本标准为首次发布。
II JB/T12585—2016
真空技术 磁悬浮分子泵
1范围
本标准规定了磁忍浮分子泵的术语和定义，型式与基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于具有前级泵的磁忍浮分子泵（以下简称磁浮泵）。
2规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T2829 周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB 4793.1 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求 GB/T 4982 真空技术快卸连接器尺小第1部分：夹紧型 GB 5226.1 机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T 6071 超高真空法兰 GB/T7774一2007真空技术涡轮分子泵性能参数的测量 GB/T21271 真空技术真空泵噪声测量
3 术语和定义
GB/T7774一2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
体积流率 volumeflowrate qy 在理想条件下，单位时间从测试累流过分子泵入口的气体体积。 注1：出于实际测试的原因，磁浮泵对给定气体的体积流率通常约定等于该气体的流量与给定点的平衡压力之商，
体积流率采用的单位为立方米每秒（m"/s）或升每秒（L/s）。 注2：有时用术语“抽速”和符号“5”米代替体积流率。
3.2
最低工作压力 minimumoperationalpressure Po 烘烤过程结束后48h测试罩中获得的压力。
3.3
压缩比 compressionratio Keff 磁浮泵出口压力P2与入口压力P,之比。Kef=P2/P1 注：为了得到给定气体的零流量压缩比K，该气体在出口中分压力至少为P的90%。
1 JB/T12585—2016
3.4
启动时间 Jstartingtime
t
从接通电源开始到磁浮泵转速达到额定转速的90%所需的时间。
3.5
极限压力 ultimatepressure 测试罩中逐渐趋近的压力值。 注1：它是泵能获得的最低压力。 注2：建议制造厂的说明书不要给山极限压力值。本标准中也不给山极限压力的测试程序。但足如果制造厂列山了
极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件。
3.6
临界前级压力 criticalbackingpressure pe 当泵能保持其压缩比P/P≥2，且吹扫气体保持流通时的最高前级压力P2。 注：P，是入口处（高）真空压力。
3.7
最高工作压力 maximumworkingpressure P1max 泵和驱动装置不发生损坏的条件下所能承受的泵入口最高压力。
3.8
最大流量 maximumthroughput Omax 分子泵能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒（Pa·L/s）。 注：这个极限参数取决于泵的设计，大多数情况下，这个参数以泵指定位置的最高温度来给出。Qx值取决于被抽
气体、所使用的前级泵以及冷却条件等。
4 型式与基本参数
4.1 型号表示方法
O-OO
特征符号体积流率（抽速），单位为升每秒（L/s）进气口通径，单位为毫米（mm）磁浮泵，用字母CXF表示
注：“特征符号”指磁浮泵特殊结构、特殊用途的字母代号，由生产商白定，但字母代号所代表的意义必须在样本
资料和使用说明书中注明，例如：T——磁浮泵泵体附带加热功能。 示例：进气口通径为250mm，体积流率为2000L/s的磁悬浮分了泵，型号为：CXF-250/2000。
4.2 2基本参数
磁浮泵的基本参数见表1。
2 JB/T12585—2016
注1：对于型号超山表1或有特殊性能要求的磁浮泵，生产商参考表1结合使用要求在样本资料和使用说明书中列
山磁浮泵的基本参数。
注2：临界前级压力、最人流量、最高工作压力三项性能指标，由生产厂商白定，但若给山则必须按GB/T7774
一2007的规定进行测试。
注3：最低工作压力指标由生产厂商根据具体应用设计，本标准不规定指标范围。
表1 磁浮泵的基本参数
对 N2 压缩比 启动 噪声 进气口出气口 电源 电源 推荐前级泵的
时间 振动 Lw 通径 通径 输入电压 启动功率b 体积流率“
型号
体积流率 L/s 对N2 对H2 min μm dB(A) mm mm V
w ≤250
L/s 1~2
100 25 160 40 110± 11 ≤600 1~4 200 40 (60 Hz)或 ≤800
CXF-100/×××* ≥300 CXF-160/X X X ≥700 CXF-200/× × × ≥1 200 CXF-250/×× × ≥1 800 CXF-320/××× ≥2 600 CXF-400/XX× ≥3 200
≥5×10° ≤6
≤0.1
≥10*
≤8 ≤15
≤60
4~8
250 40 220±22 ≤1 000
≥5×10
50
(50 Hz) ≤1500 8~30
≤20 0.15 320
400 50
15~30
≤2000
×××代表体积流率，由生产商确定。 电源启动功率可由生产商根据启动时间米确定。此处仅给山建议值。 前级泵的体积流率详细计算按GB/T7774一2007中6.3的规定进行。
c
5技术要求
5.1 磁浮泵的主要技术性能应符合表1和经规定程序批准的设计图样的要求。 5.2磁浮泵在下列条件下应能正常.T作：
a）环境温度为5℃～40℃； b）空气相对湿度<85%； c）冷却水进水温度<25℃。
5.3为了除气目的，对泵壳、测试罩和真空测量规管进行烘烤，其烘烤温度不得超过以下规定：
a）泵体及泵壳上法兰：120℃； b）测试累或真空容器：300℃： c）真空测量规管：400℃。
5.4磁浮泵的进气口连接法兰及密封圈执行GB/T6071的要求。
注：建议公称通径DN250以.上的进气口连接采用固定法兰。 5.5磁浮泵的出气口连接法兰及密封圈执行GB/T4982的要求。 5.6为了防止异物落入泵内，泵的进气口应设置金属过滤网，并加以固定。 5.7磁浮泵应在明显位置设置主机运转方向的指示标牌。 5.8磁浮泵应具有断电保护功能。在电网异常断电时，控制器应能利用磁浮泵转子系统存储能量进行发电，维持至转子系统减速至6000r/min，或更低转速时再跌落至保护轴承上。 5.9磁浮泵应具备保护轴承（能抗意外冲击、特殊设计的专用机械轴承），在转子意外跌落时，防护转子系统不受到损坏。保护轴承应能承受1次以上的转子系统全速跌落而不损坏。
冷却水流量应符合设计要求，在冷却水流量过小或水温过高时，控制器应具有防护报警功能。
5.10
5.11 1磁浮泵的电动机和烘烤装置对泵壳应具有可靠的绝缘措施，其绝缘电阻不小」2MQ。
3 JB/T12585—2016
5.12磁浮泵体外壳应保证足够强度，以防止转子意外损坏后击穿泵壳，造成安全事故。 5.13磁浮泵控制器应提供一定保护功能，如转子意外跌落次数计数功能，过热报警功能，气载过大等导致转速低于工作转速时报警等，确保真空系统中磁浮泵运转安全性。 5.14磁浮泵电器安装应符合GB4793.1和GB5226.1的要求，保护装置要按照“失效保护”中的安全要求来设计和连接。
6测试方法
6.1最低工作压力测试
最低.T作压力的测试应符合GB/T7774一2007中6.9的规定。 6.2压缩比测试 6.2.1压缩比的测试装置应符合GB/T7774一2007中6.10的规定。 6.2.2压缩比测试所用气体一般为氮气（N2）和氢气（H2），无论使用何种气体，必须标明气体种类并且其纯度（体积分数）应在99.9%以上。 6.2.3压缩比的测试方法应符合GB/T7774—2007中6.10的规定。 6.3体积流率测试
体积流率的测试应符合GB/T7774一2007中6.5的规定。 6.4启动时间测试
启动时间的测试装置采用最低.T作压力的测试装置，测试装置应符合GB/T7774一2007中6.9的规定。当测试方法采用测试最低工作压力时，用秒表测试分子泵从接通电源起到泵转速达到额定转速的 90%所需的时问。 6.5振动测试
振动的测试应符合GB/T7774—2007中6.11的规定。 6.6噪声测试 6.6.1 磁浮泵的安装应符合GB/T7774—2007中6.11.2的规定。 6.6.2磁浮泵正常运转1h后，前级泵停止运转，立即按GB/T21271规定的方法测量泵的噪声。 6.7转速测试 6.7.1 磁浮泵的安装应符合GB/T7774—2007中6.11.2的要求。 6.7.2磁浮泵正常运转1h后测试泵的转速。测量转速时，用测振仪在泵的上下法兰沿径向圆周上各测 3点振幅峰值，并以最大峰值的频率表示泵的转速值：或用国家认定许可的角速度测试仪进行测试，测试方法按角速度测试仪的测试规定进行。
7检验规则
7.1一般要求
磁浮泵（包括泵和控制器）必须经制造厂检验部门检验合格，并且有质量合格证后方能出厂。
4 JB/T12585—2016
7.2检验要求 7.2.1磁浮泵的检验分出厂检验和型式检验。 7.2.2出厂检验必须逐台进行，出厂检验项目包括：
a）外观质量： b）密封面质量： c）安全保护装置的可靠性； d）最低.T作压力： e）振动： f）电源参数： g）产品成套性。
7.2.3凡新试制的产品或产品在结构、制造工艺、使用材料等方面有重大改变时，应进行型式检验。 型式检验项目包括：
a）出厂检验的所有项目： b）压缩比： c）体积流率； d）启动时问： e）噪声； f）运转试验： g）控制器意外断电保护功能试验： h）转子全速跌落试验。
7.2.4型式检验的样品应从出厂检验合格的批中抽取，抽样方法按GB/T2829的规定执行。 7.2.5型式检验出现一项不合格时，应分析原因，并采取纠正措施，重新进行型式检验。若再次型式检验仍不合格，则应停产整顿，产品停止出厂，直到问题解决，型式检验合格方可恢复生产。
8标志、包装、运输和购存
8.1每台磁浮泵应在明显位置装有产品标牌，标牌的型式及尺寸由生产商自定。产品铭牌至少应注明以下内容：
a）产品型号及规格： b）制造厂名称： c）产品编号及制造日期。
8.2磁浮泵包装时，应排除主机冷却水管内的积水，并将泵的进气口和出气口用盖板封严。 8.3泵和控制器包装时先用塑料薄膜累封，再用发泡塑料封装后装入包装箱内：或用塑料薄膜军封后直接装入包装箱内用软质材料填充，并加以固定封牢。控制器用塑料薄膜封装时应放入干燥剂（如硅胶）。 8.4包装箱外应有储运图示标志，其标志应符合GB/T191的规定。 8.5包装箱应适合铁路、公路、内河航运和航空运输，在运输和存放过程中不允许有剧烈振动和倒置。 如对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。 8.6磁浮泵应存放在通风良好的室内。贮存期一般不超过6个月，如超过6个月，应定期开箱检查。 8.7每台磁浮泵出厂时应附有下列文件：
a）产品使用说明书： b）产品合格证： c）装箱单。
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