ICS 23.160 J78 备案号：33646—2011
JB
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 11081—2011
真空技术 制冷机低温泵 Vacuum technology—Refrigerator cooled cryopumps
2011-08-15 发布
2011-11-01 实施
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T 11081—2011
目 次
前言.. 1 范围
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规范性引用文件. 3术语和定义 4结构与基本参数 4.1结构.. 4.2型号规格 4.3基本参数
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般要求. 5.1 工作环境 5.2 外观质量 5.3 性能特性 5.4 安全性 5.5 可靠性 5.6使用说明书 6 主要性能测试. 6.1 测试准备 6.2抽气速率（体积流率）的测试 6.3最大抽气能力 6.4抽气容量的测试.. 6.5 渡越容量的测试， 6.6最低工作压力 6.7 降温时间的测试 6.8测试报告 7 质量评定. 标志、包装、运输和贮存．
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10 .10 10 10
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8.1 标志 8.2 包装 8.3运输 8.4 贮存图1 制冷机低温泵的结构原理简图.…. 图 2 流量法测试罩示意图… 图3流导法测试罩示意图. 图4流量法测量抽气速率（体积流率）的装置图5流导法测量抽气速率（体积流率）的装置. 图 6 渡越容量测试装置.… 表 1 低温泵的基本参数.. 表 2 检验项目.
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1 JB/T 11081—2011
前言
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽万瑞冷电科技有限公司、沈阳真空技术研究
所。
本标准主要起草人：邵容平、闫荣鑫、孙立臣、郭欣、史纪军、刘国青、丁怀况、李春影。 本标准为首次发布。
II JB/T 11081—2011
代表制冷机低温泵屏蔽板及入口障板的冷却形式，以 LN 或省略来表示。添加LN，表示屏蔽板及入口障板由液氮来提供冷却，可称为液氮预冷型；如果省略，表示屏蔽板及入口障板由制冷机冷头第一级提供冷却，可称为自屏蔽型。
2-
示例1：公称通径为Φ400mm 的自屏蔽型制冷机低温泵，型号规格为 ZD-400。 示例2：公称通径为Φ900mm 的液氮预冷型制冷机低温泵，型号规格为ZD-900 LN。
4.3基本参数
低温泵的基本参数见表 1。
表 1 低温泵的基本参数
降温时间 min 80 100 100 150 180 210 210 240 250 255
抽气速率 L/s 800 1 600 2 100 3 200 5 000 10 000 18 000 30 000 45 000 57 000
公称通径 mm 160 200 250 320 400 500 630 900 1 000 1 250
最低工作压力
型号规格 ZD-160 ZD-200 ZD-250 ZD-320 ZD-400 ZD-500 ZD-630 LN ZD-900 LN ZD-1 000 LN ZD-1 250 LN
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 注：抽气速率定义为5×10-3Pa下对氮气的抽速
Pa 9X 10-7 9 X 10-7 9 X 10-7 9X 10-7 9 X 10-7 9 X 10-7 9X 10-7 9 X 10-7 9X 10-7 9X10-7
5 一般要求 5.1 工作环境
室内运行，工作环境温度为10℃～35℃，相对湿度小于85%。 5.2外观质量
外表面光洁，通径在Φ500mm 以上应有吊装点 5.3性能特性
低温泵的主要性能指标应满足表1的基本参数要求。 5.4安全性
低温泵的安全要求和措施应符合标志、符号GB22360一2008中第 5章的规定，泵的标签、符号应符合 GB 22360—2008 中附录 A 的规定 5.5可靠性
制冷机低温泵平均无故障工作间隔时间（MTBF）大于或等于10000h。 5.6使用说明书
使用说明书应符合 GB 22360一2008 中 7.4～7.6 的规定。
6 主要性能测试 6.1测试准备 6.1.1测试气体
测试使用的气体为氮气、氢气和氩气，测试用气体应符合下列要求： a）氮气的质量遵照GB/T8979—2008中第3章高纯氮技术指标的要求;
3 JB/T 11081—2011
轴向尺寸均为 1.5 D，D是罩的内径。测试气体进气接口在测试罩的上腔室，进口在测试罩的轴线上，并与薄壁板轴向距离为D，进气管出口应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。上腔室规管连接管与薄壁板的距离为0.5D 处，下腔室规管连接管在距离连接法兰0.5D 处，其轴线均应垂直于测试罩的轴线。 测试罩的轴线应垂直于泵入口法兰平面。测试罩的内径应与低温泵的公称直径相同。
如有需要，可以给测试罩配备一个烘烤装置，确保能够对测试罩进行均匀加热，以获得最低工作压
力。
薄壁孔板的直径d 应按预计的抽速来选择，使得在上下两个腔室分别测得的压力 pa和 pe比值大于 10，薄壁板的厚度为L。要注意保证，对于低温泵入口压力p1（pi=pe），气体粒子平均自由程不小于孔径d。
使用图3所示的测试罩，在测试罩的下部安装一个通入泵的进气管，以保证pa和pe真空规的一致性。打开进气管上的进气调节阀，近似得到要求的压力。稳定之后，在该点的真空规应当具有相同的读数，如果不相同，需要进行修正。
(pd)
S'
C
.
Pe
AS'O
D
一进气接口；2、3- 真空规接口；4- 调节进气接口。
图3流导法测试罩示意图
6.2抽气速率（体积流率）的测试 6.2.1流量法测试抽气速率 6.2.1.1测试方法
流量法测量抽气速率采用定压法，通过流量计测得的气体流量Q得出。在测试罩上规定的接口处用真空规测得的p1保持不变，则抽气速率S可以由公式（1）得到:
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