JF
中华人民共和国地方计量技术规范
JJF（冀）213-2023
关键尺寸扫描电子显微镜校准规范 Calibration Specification for Critical Dimension Scanning Electronic
Microscopes
2023-8-2 发布
2023-11-1实施
河北省市场监督管理局发布 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范 Calibration Specification for Critical Dimension Scanning Electronic Microscopes
JJF（冀）213-2023
归口单位：河北省市场监督管理局
主要起草单位：中电国基北方有限公司
参加起草单位：河北美泰电子科技有限公司
本规范委托起草单位负责解释 JF(冀)213—2023
本规范主要起草人：
韩志国 （中电国基北方有限公司）吴爱华 （中电国基北方有限公司）李锁印 （中电国基北方有限公司）赵琳 （中电国基北方有限公司）许晓青 （中电国基北方有限公司）张晓东 （中电国基北方有限公司）
参加起草人：
冯亚南 （中电国基北方有限公司）张家欢 （中电国基北方有限公司）苏日丽 （河北美泰电子科技有限公司） JF(冀)213—2023
目 录
目录. 引言 1 范围. 2 引用文件. 3 术语和定义， 4 概述
计量特性. 校准条件.
5 6 7 校准项目和校准方法 8 校准结果表达
2
Y
3
复校时间间隔，附录A测量结果不确定度评定示例.
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引言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JF1001《通用计量术语及定义》、JJF1059.1 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制订工作的基础性系列规范。
本规范为首次制订。
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关键尺寸扫描电子显微镜校准规范
1 范围
本规范适用于放大倍数20k~200k的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）
的校准。
引用文件
2
本规范引用了下列文件： JJF1071 国家计量校准规范编写规则凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范：凡是不注日期的引
用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本规范。 3.1 线宽linewidth
线条两侧平均线边缘之间的距离。
图1线宽的定义示意图
3.2 线宽标准样板linewidthreferenceartifact
具有单一或多种线宽量值的样板。 JF(冀)213—2023
4概述
关键尺寸扫描电子显微镜是一种具有高分辨力、可以自动定位并测量纳米级线条宽度的仪器。其测量原理为：在高真空的环境下，电子枪高压引出高压电流形成电子束轰击样品表面产生二次电子束，将二次电子信号转换成图像，通过专业量测软件对需要量测的线条进行测量，最终获得被测线条线宽值。该仪器通常应具有样片自动传输、自动调焦、图形自动对准、自动定点测量、测量数据自动保存上传等功能，一般用于微电子行业中各类线条宽度的测量。其结构示意见图 2。
10
A
1.腔体；2.样品：3.探测器；4.电子束；5.偏转线圈；6.电子枪；
7.CPU；8.显示器；9.标线；10.尺寸显示；11.控制器。
图2关键尺寸扫描电子显微镜结构示意图
5计量特性
5.1示值误差
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