JF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1917—2021
显微标尺校准规范
Calibration Specification for Micropattern Standards
2021-07-28发布
2022-01-28实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1917—2021
显微标尺校准规范 Calibration Specification for Micropattern Standards
JJF 1917—2021
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会主要起草单位：山西省计量科学研究院
江苏省计量科学研究院中国计量科学研究院
参加起草单位：浙江省计量科学研究院
贵州省计量科学研究院
本规范由全国几何量长度计量技术委员会负责解释 JJF1917—2021
本规范主要起草人：
晏 浩（山西省计量科学研究院）王晓飞 （江苏省计量科学研究院）孙双花 （中国计量科学研究院）薛梓（中国计量科学研究院）杨伟敏（山西省计量科学研究院）
参加起草人：
岩君芳（山西省计量科学研究院）茅振华（浙江省计量科学研究院）吕小洁 (贵州省计量科学研究院) JJF1917—2021
目 录
引言 1
(IⅡ) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (4) (4) (5) (6) (8) (10)
范围· 2 概述· 3计量特性· 3.1 线纹间距· 3.2网格间距· 3.3角度 3.4直径 4校准条件 4.1环境条件. 4.2校准用标准装置 5 校准项目和校准方法： 5. 1 校准的一般规则 5. 2 线纹间距· 5.3 网格间距· 5. 4 角度 5. 5 直径： 6校准结果的处理·
复校时间间隔附录A显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例（ 一附录B 显微标尺线纹间距的测量不确定度评定示例（二）附录C 标准证书内容
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- JJF1917—2021
引言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》和 JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。
制定本规范的目的主要是解决GB/T2985一2008《生物显微镜》、JB/T10077- 1999《金相显微镜》中线纹标尺及JJG571一2004《读数、测量显微镜》、JJF1402 2013《生物显微镜校准规范》、JJF1914一2021《金相显微镜校准规范》中线纹标准器的校准。
以上标准、规程和校准规范中的线纹标尺、线纹标准器等在本规范中统称显微标尺，归类于JJF1022一2014《计量标准命名与分类编码》中“显微标尺标准器”（代码： 01213300)。
本规范为首次发布。
II JJF1917—2021
显微标尺校准规范
1范围
本规范适用于刻线宽度为0.3um及以上一维或二维显微标尺的校准。
2概述
显微标尺是用于校准生物显微镜、金相显微镜、读数显微镜等光学显微仪器及其配套软件示值和放大率等技术参数的一维或二维标准器，也指此类仪器用于观察测量显微图像的目镜标尺。显微标尺包含点、线、圆、矩形、十字等一种或多种几何图案，图案包含有宽度、间距、直径、面积和角度等量值信息。显微标尺通常以透明玻璃或金属为基底；依据制造方式，分为刻槽、光复印和刻蚀工艺制造；依据图案呈现方式，分为透射或反射类型；依据用途，分为镜台测微尺、目镜测微尺等。
镜台测微尺是包含多种几何图案的载玻片。通常的镜台测微尺中央有长（1～2）mm的测微尺，分划间隔（100～600）线/mm。用于校准显微镜的示值误差、 分辨力、放大率、目镜分划准确性及显微测量软件准确性。
目镜测微尺是中央有线纹、十字、栅格、圆等图案的圆形玻片，安装在显微镜目镜物体成像面，用于测量或标定显微图像的尺寸。
典型的显微标尺的几何图案如图1所示。
10
32 34
1718 ++
26
40
4748
56
63
2
14 12 10 8 6 4 2 0X 0
-
+
1/
SN00NNI
0
10
30 （a）组合式测微尺
40
60
20
50
图1显微标尺示意图
1 JJF1917—2021
0
1
-10 20 30
010203040 重60708090100
60 70 80 90 100
=
X 丰
（b）线纹测微尺
（c）十字线纹测微尺
-188000
100 -
-12346
o
（e）网格测微尺
（d）综合测微尺
图1（续）
3 计量特性 3.1 线纹间距 3.2网格间距 3.3角度 3.4 直径
其他认为需要校准的或客户指定的计量特性。 4 校准条件 4.1环境条件
校准温度的最低要求可根据其对测量不确定度的影响而定，在标尺范围较大、最大
2 JJF1917—2021
允许示值误差要求较高时尤其应注意。 4.2校准用标准装置
a）人工采集方式：万能工具显微镜或万能工具显微镜与激光干涉仪组合； b）数字采集方式：数显万能工具显微镜、影像测量仪或数显万能工具显微镜、影
像测量仪与激光干涉仪组合或激光干涉二维测量装置、激光干涉比长仪装置等。
依据标尺线纹宽度，选用合适的标准器物镜。一般要求在视野范围内，线纹放大后成像具有足够宽度以利于瞄准或采集。采用光电显微镜瞄准时，狭缝宽度应与刻线像的宽度相适应。推荐校准用标准装置见表1，也可使用其他符合测量不确定度要求的仪器。
注：物镜放大倍率较小、照明不当以及线纹宽度、线纹质量将带来显著测量不确定度影响，
表1校准用标准装置及物镜放大倍率推荐表校准用标准装置
线宽/μm 0.3~1
校准结果不确定度
物镜放大倍率 50X~100X
激光干涉二维测量装置
激光干涉二维测量装置、影像测量仪与
1~2
20X~50X
激光干涉仪组合、影像测量仪
U≤ 二MPEV
4
万能工具显微镜、影像测量仪或以上两者与
2~3 >3
5X~20X
激光干涉仪组合
万能工具显微镜、影像测量仪
3X～5X
注：MPEV为被校显微标尺最大允许示值误差的绝对值
5校准项目和校准方法
5.1校准的一般规则
将显微标尺放置在校准用标准装置工作台面，刻线面与使用状态尽可能一致；调节照明方式，使视场明亮、均匀；选择适当的放大倍率物镜，正确聚焦使显微标尺线纹清晰，线宽利于瞄准或采集边界。调整显微标尺轴线方向与标准装置测量轴线尽可能一致。
逐一或选择线纹、图案等元素，依次对相关的线纹序列、图案等往返测量2个循环。
测量时以线纹中分线作为目标线测量时以线纹中分线相交点作为目标点。 当瞄准视窗内被测量线条只有其中部分时，瞄准或采样应为该线条的中段或是线纹
尺的中轴线位置，否则应在证书上注明线条的测量位置。 5.2线纹间距
以标尺0线纹作为测量起始点，依次对被测线纹间距往返测量2个循环，记录4组测量数据，取被测线纹间距对应数据的平均值作为校准结果。没有0标记的，校准时应确定0线纹位置：并在证书上注明。
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