JJG
中华人民共和国国家计量检定规程
JJG 28—2019
晶
平
T
Optical Flats
2019-09-27发布
2020-03-27实施
国家市场监督管理总局发布 JJG 28—2019
平晶检定规程
JJG 28—2019 代替JJG28—2000
VerificationRegulation of Optical Flats
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：湖南省计量检测研究院
中国计量科学研究院
参加起草单位：苏州慧利仪器有限责任公司
中国兵器工业第205研究所
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJG 28—2019
本规程主要起草人：
陈勇 (湖南省计量检测研究院) 张 恒（中国计量科学研究院）曾 琰（湖南省计量检测研究院）刘丽娟（湖南省计量检测研究院）
参加起草人：
韩森（苏州慧利仪器有限责任公司）
柏文琦（湖南省计量检测研究院）
王生云（中国兵器工业第205研究所） JJG28—2019
目 录
引言 1 范围· 2 引用文件 3 概述· 4计量性能要求 4.1平行度 4.2 工作面平面度· 4.3非工作面的平面度 4.4稳定性 5 通用技术要求· 5. 1 外观及表面质量. 5.2 外形尺寸： 5.3 长平晶十字刻线位置： 5. 4 两端面夹角 5.5 工作面与圆柱母线的垂直度 6计量器具控制· 6. 1 检定项目和主要检定设备 6.2 检定条件· 6.3 检定方法 6.4 检定结果处理. 6.5 检定周期附录A 平晶表面疵病的尺寸及数量附录B 相移式激光等厚干涉测量法附录 C 等厚干涉测量法附录D 等倾干涉测量法附录E 四面互检法检定长平晶数据处理示例附录F 长平晶自重变形量附录 G 检定证书和检定结果通知书内页格式
(Ⅱ) (1) (1) (1) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (5) (5) (6) (6) (7) (7) (7) (7) (9) (12) (12) (13) (15) (18) (20) (22) (25) (27)
.
I JJG 28—2019
引言
JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1002一2010《国家计量检定规程编写规则》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规程修订工作的基础性系列技术法规。
本规程与JJG28一2000《平晶》相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下：
更正了JJG28一2000《平晶》的印刷错误：
5
5
JJG28—20006.3.8.2b）中式（6)：u2 /121，更正为：ub √i2u［见现版式（5）］;
JJG28一2000附录C中表C.1的表头第8列：E：=（L/L，）K，，更正为：E，= （L/L，）△K，（见现版表E.1）；
JJG28—2000附录D中式（D.2)：△F= l×F96，更正为：△F= XFgr ［见现版式（C.2）］。
16
96
310mm长平晶两次周期检定平面度之差从0.020um放宽为0.030um（见
4.4)。
依据JJG146一2011《量块》，取消了6等量块，改用5等量块（见6.3.2）。 取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法。 增加相移式等厚测量装置的结构概述、测量方法（见附录B）等相关内容。 增加标准平晶F96范围内的平面度计算方法（见附录C)
本规程的历次版本发布情况：
JJG 28—2000; JJG28—1991; JJG28—1980。
II JJG 28—2019
平晶检定规程
1范围
本规程适用于平晶（包括平面平晶、平行平晶和长平晶）的首次检定、后续检定和使用中检查。
2 引用文件
本规程引用下列文件： GB/T903—2019无色光学玻璃 JB/T7401—1994平面平晶 JB/T7402—1994平行平晶 ISO14999-4：2015（E）光学和光子学光学元件和光学系统的干涉仪测量第4
部分：在ISO10110中所明确规定的公差说明和评价（Opticsandphotonics一Interfero metric measurement of optical elements and optical systemsPart 4:Interpretation and evaluation of tolerances specified inISO10l1o)
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规程。
3概述
平晶是以光波干涉法测量平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具，包括平面平晶、平行平晶和长平晶。平面平晶按工作面数可分为单工作面平晶和双工作面平晶，其外形示意见图1；按用途又可分为标准平晶和工作平晶两大类，标准平晶分为一、二等，工作平晶分为一、二级。
1 JJG28—2019
X45
X45°
刻商标编号
刻商标编号
双工作面平品
单工作面平品
图1平面平晶示意图
D一直径；t一倒角厚度；H一厚度；b一宽度
平行平晶按尺寸分为4个系列，每个系列中尺寸相邻的4块可组成1套，其外形示意见图2。
长平晶按尺寸分别为210mm和310mm2种，其外形示意见图3。
f X45
↑ ×45°
I × 45°
(H)
7
IX45°
刻商标编号
刻商标编号规格尺寸
刻规格尺寸
图2平行平晶示意图
2 JJG28—2019
非工作面
I
工作面
图3长平晶示意图 L一长度；H一厚度；b一宽度
4计量性能要求
4.1平行度
平行平晶两工作面的平行度要求见表1。
表1平行平晶两工作面的平行度
两工作面的平行度/um
系列 I,II II IV
0. 6 0. 8 1. 0
4.2工作面平面度 4.2.1平面平晶工作面的平面度
-级、二级平面平晶工作面的平面度见表2。
表2工作平面平晶工作面的平面度
平面度/μm
规格 mm
有效直径（d）
二级
级
mm
d范围内 （2/3）d范围内 d范围内 （2/3）d范围内
25 39 54 72 92
0.10 0.10 0.10 0.10 0.10
0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
30 45 60 80 100
0. 03 0. 03 0.03 0. 05 0. 05
0.03 0.03
3