JJG 28-2019
平晶
Optical Flats
2020-03-27实施
2019-09-27发布
目 录
引言 ………………………………………………………………………………………（1）
1 范围……………………………………………………………………………………（1）
2 引用文件………………………………………………………………………………（1）
3 概述……………………………………………………………………………………（1）
4 计量性能要求…………………………………………………………………………（3）
4.1 平行度………………………………………………………………………………（3）
4.2 工作面平面度………………………………………………………………………（3
4.3 非工作面的平面度…………………………………………………………………（4）
4.4 稳定性………………………………………………………………………………（4）
5 通用技术要求…………………………………………………………………………（5）
5.1 外观及表面质量……………………………………………………………………（5）
5.2 外形尺寸……………………………………………………………………………（5）
5.3 长平晶十字刻线位置………………………………………………………………（6）
5.4 两端面夹角 ………………………………………………………………………（6）
5.5 工作面与圆柱母线的垂直度………………………………………………………（7）
6 计量器具控制…………………………………………………………………………（7
）6.1 检定项目和主要检定设备…………………………………………………………（7）
6.2 检定条件……………………………………………………………………………（7）
6.3 检定方法……………………………………………………………………………（9）
6.4 检定结果处理………………………………………………………………………12）
6.5 检定周期……………………………………………………………………………（12》
附录A 平晶表面疵病的尺寸及数量 …………………………………………………（13）
附录B 相移式激光等厚干涉测量法 …………………………………………………（15）
附录C 等厚干涉测量法 ………………………………………………………………（18）
附录 D 等倾干涉测量法………………………………………………………………（20）
附录E 四面互检法检定长平晶数据处理示例 ………………………………………（22）
附录F 长平晶自重变形量 ……………………………………………………………（25）
附录G 检定证书和检定结果通知书内页格式 ………………………………………（27）