F
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1252—2010
激光千分尺平行度检查仪校准规范
Calibration Specification for
Measuring Instrument for Laser Paralleism of Micrometers
2010-11-11实施
2010-05-11发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1252—2010
激光千分尺平行度检查仪校准规范
JJF1252—2010 代替JJG828—1993
Calibration Specification for
MeasuringInstrumentforLaser
Paralleism of Micrometers
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年5月11日批准，并自
2010年11月11日起施行。
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：天津市计量监督检验科学研究院参加起草单位：四川省自贡市东方锅炉（集团）股份有限公司
中国船舶工业武汉综合计量测试检验站
本规范由全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1252—2010
本规范主要起草人：
刘佳丽（天津市计量监督检验科学研究院）路瑞军（天津市计量监督检验科学研究院）田勇 (天津市计量监督检验科学研究院)
参加起草人：
沈永玲（四川省自贡市东方锅炉（集团）股份有限公司）梅利江（中国船舶工业武汉综合计量测试检验站） JJF1252—2010
录
目
1 范围 2 引用文献
(1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (4) (5) (6) (6) (7) (13) (14) (16)
概述· 计量特性
S N
4.1 活动标尺的示值误差 4.2 活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量 4.3 示值误差· 4. 4 测量重复性 5校准条件.. 5.1环境条件.. 5.2校准标准器及其他设备 6校准项目和校准方法· 6.1 活动标尺的示值误差 6.2 活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量 6.3 示值误差： 6.4 测量重复性·· 7 校准结果表达 8 复校时间间隔附录A 激光千分尺平行度检查仪示值误差测量结果不确定度评定附录B用分度值为1"自准直仪检定平行度检定仪示值误差数据处理示例附录CD、d值及光屏活动标尺换算表· 附录D 校准证书内容 JJF1252—2010
激光于分尺平行度检查仪校准规范
1范围
本规范适用于激光千分尺平行度检查仪的校准。
2 引用文献
本规范引用下列文献： JJF1001—1998 通用计量术语及定义 JJF1094—2002 测量仪器特性评定 JJF1088—2002 外径千分尺（测量范围500mm~3000mm）校准规范 JJF1130—2005 几何量测量设备校准中的不确定度评定指南
千分尺
JJG21—2008 使用本规范时，人 应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3概述
激光千分尺平行度检查仪（简称平行度检查仪）是利用激光干涉原理，测量外径千分尺（测量范围150mm2000mm）两测量面平行度的专用仪器。仪器通过光学系统把激光器发出的光分别照射在被测千分尺两个测量面上，先后在光屏上形成两组干涉环，通过测量两组干涉环的中心距离来确定被测千分尺两测量面平行度。仪器外形示意图如图1，仪器光学系统示意图如图2。
1
2
3
5
9
8
6
图1平行度检查仪外形示意图
1一固定反射镜；2一光屏；3一D尺；4一可移动反射镜；5一工作台；
6一d尺；7—标准棱镜；8—被测外径千分尺；9—激光器 JJF1252—2010
3
6
4
图2平行度检查仪光学系统示意图
1一激光器；2，3一固定反光镜；4一凸透镜：5一光屏；6一可移动反射镜：
7一千分尺测砧；8一标准棱镜；9一千分尺测杆；I，IⅡ一可移动反射镜两次成像位置
4 计量特性 4.1 活动标尺的示值误差
活动标尺的示值最大允许误差不超过表1的规定。
表1活动标尺的最大允许误差
(mm)
全长 ±0.20
毫米分度 ±0.10
厘米分度 ±0.15
4.2活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量不超过0.5mm。 4.3示值误差
示值最大允许误差△，绝对值不超过2mm。 4.4 测量重复性
测量重复性不超过0.2mm。 注：校准工作不判断合格与否，上述计量特性要求仅供参考。
5 校准条件 5.1 环境条件 5.1.1校准室内温度为（20士5）℃，温度变化不超过1℃/h。 5.1.2校准前，将校准用器具与被校准平行度检查仪一起等温，平衡温度时间不少于4h。 5.1.3 校准前，激光器预热不少于0.5h。 2 JJF1252—2010
5.2校准标准器及其他设备
平行度检查仪校准项目和主要校准设备见表2。
表2平行度检查仪校准项目和主要校准设备
校准设备万能工具显微镜
序号 1 2
校准项目
活动标尺的示值误差
MPEV:1μm+10-L
活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
3等量块双面反射镜
示值误差
3
平面度小于0.1um；平行度小于0.6μm
分度值为1"自准直仪
测量重复性
3等量块
4
校准项目和校准方法
6
首先检查外观和各部分相互作用，确定没有影响校准计量特性的因素后再进行校准。
校准项目见表2。 6.1活动标尺的示值误差
活动标尺的示值误差在万能工具显微镜或满足测量不确定度要求的其他测量仪器上进行测量。将光屏整部件从仪器导轨上取下，置于万能工具显微镜工作台上，用万能工具显微镜的十字线分别瞄准标尺毫米分度、厘米分度及全长分度的首尾刻线，测量出标尺的示值误差。
在活动标尺测量范围内分别抽取3组毫米分度、厘米分度刻线进行测量，取最大值作为校准结果。 6.2活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
在测量活动标尺示值误差的同时，旋转活动标尺找出活动标尺旋转中心与公差圆中心的最大偏离位置，测量二者之间的距离即为活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量。按上述测量方法重复3次，取平均值作为校准结果。光屏读数板显示如图3所示。
5
2
I
60
180
S
270
5
图3光屏读数板显示示意图
1一公差圆；2一光屏中心；3一干涉环IⅡ；4一活动标尺；5一光屏
3 JJF1252—2010
6.3示值误差
平行度检查仪示值误差应先用量块校准，再用自准直仪和双面反射镜校准。
6.3.1用量块组成的标准平行平面校准
(S~O1)
A
0
0
图4量块组合的标准平行平面示意图
仪器工作原理公式如式（1）：
2Dα(D +d)
(1)
d
式中：r 干涉环中心与光屏读数板中心的偏移量，mm；
D- 光屏读数板到标准棱镜测量面的距离，mm； d- 标准棱镜B面到被测面距离，mm；
两测量面的平行度，（"）。
测量时，标准平行平面由一块300mm和两块3mm～5mm的3等量块组合而成：如图4所示（可借助量块附件的专用夹具组合而成）。根据300mm量块尺寸从附录C 选取D、d值，将光屏座指标线对准D尺上744mm刻线，量块B面对准d尺130mm 刻线，移动反射镜，使激光束射在量块测量面A上，在光屏上产生干涉环I后，调整反射镜及标准棱镜使干涉环中心位于公差圆中心；再平移反射镜，使激光光束射在量块测量面B上，在光屏上出现干涉环Ⅱ（如图5所示），转动活动标尺，读取干涉环中心与公差圆中心的距离r。示值误差△：=
2
o
7
图5用标准平行平面校准示值误差示意图
1一凸透镜；2一光屏；3一可移动反射镜；4，6，7一量块；5一标准棱镜 F
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激光千分尺平行度检查仪校准规范
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Measuring Instrument for Laser Paralleism of Micrometers
2010-11-11实施
2010-05-11发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1252—2010
激光千分尺平行度检查仪校准规范
JJF1252—2010 代替JJG828—1993
Calibration Specification for
MeasuringInstrumentforLaser
Paralleism of Micrometers
本规范经国家质量监督检验检疫总局于2010年5月11日批准，并自
2010年11月11日起施行。
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：天津市计量监督检验科学研究院参加起草单位：四川省自贡市东方锅炉（集团）股份有限公司
中国船舶工业武汉综合计量测试检验站
本规范由全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1252—2010
本规范主要起草人：
刘佳丽（天津市计量监督检验科学研究院）路瑞军（天津市计量监督检验科学研究院）田勇 (天津市计量监督检验科学研究院)
参加起草人：
沈永玲（四川省自贡市东方锅炉（集团）股份有限公司）梅利江（中国船舶工业武汉综合计量测试检验站） JJF1252—2010
录
目
1 范围 2 引用文献
(1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (4) (5) (6) (6) (7) (13) (14) (16)
概述· 计量特性
S N
4.1 活动标尺的示值误差 4.2 活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量 4.3 示值误差· 4. 4 测量重复性 5校准条件.. 5.1环境条件.. 5.2校准标准器及其他设备 6校准项目和校准方法· 6.1 活动标尺的示值误差 6.2 活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量 6.3 示值误差： 6.4 测量重复性·· 7 校准结果表达 8 复校时间间隔附录A 激光千分尺平行度检查仪示值误差测量结果不确定度评定附录B用分度值为1"自准直仪检定平行度检定仪示值误差数据处理示例附录CD、d值及光屏活动标尺换算表· 附录D 校准证书内容 JJF1252—2010
激光于分尺平行度检查仪校准规范
1范围
本规范适用于激光千分尺平行度检查仪的校准。
2 引用文献
本规范引用下列文献： JJF1001—1998 通用计量术语及定义 JJF1094—2002 测量仪器特性评定 JJF1088—2002 外径千分尺（测量范围500mm~3000mm）校准规范 JJF1130—2005 几何量测量设备校准中的不确定度评定指南
千分尺
JJG21—2008 使用本规范时，人 应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3概述
激光千分尺平行度检查仪（简称平行度检查仪）是利用激光干涉原理，测量外径千分尺（测量范围150mm2000mm）两测量面平行度的专用仪器。仪器通过光学系统把激光器发出的光分别照射在被测千分尺两个测量面上，先后在光屏上形成两组干涉环，通过测量两组干涉环的中心距离来确定被测千分尺两测量面平行度。仪器外形示意图如图1，仪器光学系统示意图如图2。
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图1平行度检查仪外形示意图
1一固定反射镜；2一光屏；3一D尺；4一可移动反射镜；5一工作台；
6一d尺；7—标准棱镜；8—被测外径千分尺；9—激光器 JJF1252—2010
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图2平行度检查仪光学系统示意图
1一激光器；2，3一固定反光镜；4一凸透镜：5一光屏；6一可移动反射镜：
7一千分尺测砧；8一标准棱镜；9一千分尺测杆；I，IⅡ一可移动反射镜两次成像位置
4 计量特性 4.1 活动标尺的示值误差
活动标尺的示值最大允许误差不超过表1的规定。
表1活动标尺的最大允许误差
(mm)
全长 ±0.20
毫米分度 ±0.10
厘米分度 ±0.15
4.2活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量不超过0.5mm。 4.3示值误差
示值最大允许误差△，绝对值不超过2mm。 4.4 测量重复性
测量重复性不超过0.2mm。 注：校准工作不判断合格与否，上述计量特性要求仅供参考。
5 校准条件 5.1 环境条件 5.1.1校准室内温度为（20士5）℃，温度变化不超过1℃/h。 5.1.2校准前，将校准用器具与被校准平行度检查仪一起等温，平衡温度时间不少于4h。 5.1.3 校准前，激光器预热不少于0.5h。 2 JJF1252—2010
5.2校准标准器及其他设备
平行度检查仪校准项目和主要校准设备见表2。
表2平行度检查仪校准项目和主要校准设备
校准设备万能工具显微镜
序号 1 2
校准项目
活动标尺的示值误差
MPEV:1μm+10-L
活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
3等量块双面反射镜
示值误差
3
平面度小于0.1um；平行度小于0.6μm
分度值为1"自准直仪
测量重复性
3等量块
4
校准项目和校准方法
6
首先检查外观和各部分相互作用，确定没有影响校准计量特性的因素后再进行校准。
校准项目见表2。 6.1活动标尺的示值误差
活动标尺的示值误差在万能工具显微镜或满足测量不确定度要求的其他测量仪器上进行测量。将光屏整部件从仪器导轨上取下，置于万能工具显微镜工作台上，用万能工具显微镜的十字线分别瞄准标尺毫米分度、厘米分度及全长分度的首尾刻线，测量出标尺的示值误差。
在活动标尺测量范围内分别抽取3组毫米分度、厘米分度刻线进行测量，取最大值作为校准结果。 6.2活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量
在测量活动标尺示值误差的同时，旋转活动标尺找出活动标尺旋转中心与公差圆中心的最大偏离位置，测量二者之间的距离即为活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量。按上述测量方法重复3次，取平均值作为校准结果。光屏读数板显示如图3所示。
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图3光屏读数板显示示意图
1一公差圆；2一光屏中心；3一干涉环IⅡ；4一活动标尺；5一光屏
3 JJF1252—2010
6.3示值误差
平行度检查仪示值误差应先用量块校准，再用自准直仪和双面反射镜校准。
6.3.1用量块组成的标准平行平面校准
(S~O1)
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图4量块组合的标准平行平面示意图
仪器工作原理公式如式（1）：
2Dα(D +d)
(1)
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式中：r 干涉环中心与光屏读数板中心的偏移量，mm；
D- 光屏读数板到标准棱镜测量面的距离，mm； d- 标准棱镜B面到被测面距离，mm；
两测量面的平行度，（"）。
测量时，标准平行平面由一块300mm和两块3mm～5mm的3等量块组合而成：如图4所示（可借助量块附件的专用夹具组合而成）。根据300mm量块尺寸从附录C 选取D、d值，将光屏座指标线对准D尺上744mm刻线，量块B面对准d尺130mm 刻线，移动反射镜，使激光束射在量块测量面A上，在光屏上产生干涉环I后，调整反射镜及标准棱镜使干涉环中心位于公差圆中心；再平移反射镜，使激光光束射在量块测量面B上，在光屏上出现干涉环Ⅱ（如图5所示），转动活动标尺，读取干涉环中心与公差圆中心的距离r。示值误差△：=
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图5用标准平行平面校准示值误差示意图
1一凸透镜；2一光屏；3一可移动反射镜；4，6，7一量块；5一标准棱镜