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JJF 1427-2013 微机电(MEMS)线加速度计校准规范高清晰版

PDF 928.92 KB 2023-12-26
GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

PDF 3040.86 KB 2024-06-20
SJ 21263-2018 MEMS 加速度传感器参数标定工艺技术要求

PDF 4.9 MB 2024-07-16
SJ 21164-2016 MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求

PDF 4.82 MB 2024-07-16
GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则

PDF 0 KB 2023-12-27
GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术微机械量评定总则

PDF 0 KB 2023-12-27
GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法正式版

PDF 1.41 MB 2024-05-18
GB/T 41852-2022 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法

PDF 3.99 MB 2024-06-06
GB/T 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法

PDF 3.5 MB 2020-12-09
国外电子与通信教材系列 MEMS与微系统设计、制造及纳尺度工程第2版

PDF 90.39 MB 2022-05-27
GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

PDF 2.73 MB 2020-12-09
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

PDF 0.98 MB 2020-05-23
GB/T 42709.5-2023 半导体器件微电子机械器件第5部分：射频MEMS开关

PDF 4.62 MB 2024-05-18
GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

PDF 1.18 MB 2024-06-08
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

PDF 3018.27 KB 2024-06-20
GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法

PDF 661.86 KB 2024-10-08
GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

PDF 1.14 MB 2020-11-12
GB/T 34899-2017 微机电系统(MEMS)技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

PDF 1.14 MB 2023-12-07
JIS C 5630-30-2020 半导体器件微机电器件第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法

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JIS C 5630-28-2020 半导体器件微机电器件第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

PDF 15.74 MB 2024-11-11

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