半导体制造基础
作者：（美）梅

出版时间：2007-11
丛编项：图灵电子与电气工程丛书

《半导体制造基础》在简要介绍半导体制造流程的基础上，着力从理论和实践两个方面对晶体生长、硅氧化、光刻、刻蚀、扩散、离子注入和薄膜淀积等主要制备步骤进行详细探讨。《半导体制造基础》所有内容的讲解都结合了计算机仿真和模拟工具，并将工艺模拟作为问题分析与讨论的工具。《半导体制造基础》可作为高等院校微电子和材料科学等专业高年级本科生或者一年级研究生的教材