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洁净厂房的建造应经过工程设计、工程施工安装、工程验收等过程。洁净厂房设计、施工和验收的主要依据除了国家的相关政策、当地政府的地方法规和工程业主方的各种要求外，电子工厂洁净厂房建造的主要技术依据是国家标准《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）、《洁净室施工验收规范》（JG71-90）以及其它的相关国家标准、规范等，如∶《建筑设计防火规范》、《采暖通风与空气调节设计规范》、《暖通与空调工程施T验收规范》等。 洁净厂房的建造程序中，工程设计必须遵循国家的有关规定，工程设计一般应经历"可行性研究"、"初步设计"、"施工图设计"等阶段，并且每一阶段的设计成果均应经过有关部门或单位审查、批准或图纸审查。洁净室还需根据具体工程情况、复杂程度等，必要时还需进行二次设计或洁净室装饰设计;需要时，公用动力设施还需进行部份装置的详图设计等。 沾净室经过精心施工完成后，洁净室应进行严格的工程验收，通常此类工程验收分两阶段进行，即竣工验收和综合性能全面评定。竣工验收应在洁净室系统联动试验8h后进行，验收严格按《沾净室施工验收规范》中的各项检测项目、要求进行，洁净室占用状态为空态或静态，由施工方与业上商定。竣工验收前后，应由施工方向业主提供全部相关技术资料、图纸等全部验收文件。