前 言
电子枪与离子束技术近年来在科学研究和工业生产中得到了广泛的应用，尤其是在冶金、宇航、电子工业中材料表面改性等领域的新工艺中更为多见。电子枪与离子束技术是研究荷电粒子束在电场和磁场中的运动，以及研究利用高能荷电粒子束流进行诸如真空熔炼、镀膜、材料表面改性和微加工等工艺处理过程的一门科学。它涉及光学、真空、表面与薄膜物理、材料工程、电子学等多个交叉领域。本书介绍了电子枪与离子束的理论基础，电子与等离子产生的机理，通过电场、磁场或复合场对荷电粒子束进行聚焦、偏转、扫描等控制的各种装置的设计计算。作者根据多年的教学和科研实践，较详细地论述了各种电子枪和离子束的设计原理、设计计算方法及其应用，以满足各种工艺要求。
编写过程中，对本书内容进行了仔细的选取，力求做到理论与实际应用相结合，将与电子枪和离子束技术有关的基础理论与设计方法有机地结合在一起，尽量做到在内容上既具有一定的理论深度和系统性，又对相关设备的设计应用具有实践上的指导作用，为读者提供一个既精练清晰，又系统实用的内容体系。在编写过程中，参阅和引录了国内外相关内容的文献资料，特别是参阅了由张树林教授提供的科研资料及讲义，并得到东北大学真空与流体工程研究中心各位老师的大力帮助，定稿后承蒙东北大学张树林教授审评，在此一并致谢!