
本教材系按中国电子工业总公司的工科电子类专业教材1991-1995年编审出版規 加,由电子物理与器件专业教材编审委员会薄膜电子学编审小组征稿并推荐出版。貴任 输委为黄光周。 本教材由华南理工大学孔庆昇编写,西安交通大学王力衝教授担任主审。負运添副 做授协助审査了七、八、九章。 本课程的参考学时为60学时,其主要内容分为三部分:第一部分(第一章)简介薄膜 的各种制备工艺及薄膜结构成分分析方法。第二部分(包括第二、三、四章)详细介绍薄膜 的基本特性。第三部分(包括第五、六、七、八,九、十章)是全书的中心,它系统地介绍®括 电、磁和电磁波方面的薄膜器件。