目录
译序
第一章集成电路中的评价技术.............................1
1.1引言...................................1
1-2为了进行工艺控制所必需的评阶....................... 1
1・3工艺设备官动化和工艺评价........................ 3
1-4变质、汚染的评价.............................8
1.5工艺材料评价...............................H
1.6性能分析和失效分析...........................  ”
1.7结束语.................................22
第二章集成电路生产中的精密控制........................  23
2-    1    引吉...............................   23
2.2控韧的形式及其特长...........................  24
2.3掺杂中的控制…............................    27
2.5腐蚀中的控制...............................39
2.6光刘工序中的控制.............................42
2.7做为综合系统的精密控制..........................“
2.8結束语..................................*5
第三章硅气相外延生长及掺杂的工艺过程中控制....................46
3.1引言..................................46
3.2在反应过程中同时进行分析.........................”
3・3在战气相生长的同时进行分析....................... 49
3- 4推杂的工艺过程中控制...........................
3-5结束语.................................68
第四章硅汽相生长中的工艺过程中评价........................69
4.1引言..................................69
4.2对供给生长炉的％体进行工艺过程中评价..................70
4.3护内气怵状态的工艺过程中评价......................79
4.4结束语...................................
第五章CVD的评价技术..............................95
5.1引盲..................................95
5.2    CVD技术的展里...........................95”
5.4评价CVD膜的方法...........................102
5.6    CVD膜质量的測关及评价..................... 105