2014年第4期（总第34期）
质量技术监督研究
Quality and Technical Supervision Research
NO.4.2014 General N0. 34
电涡流式振动位移传感器检定技术的研究
林喜鉴
（福建省计量科学研究院，福建福州350003）
摘要：文章简述电涡流式振动位移传感器的工作原理，并根据《JJG644-2003振动位移传感器检定规程》，从理论和实践上对电涡流式振动位移传感器静态特性、动态特性的检定方法展开研究，以提高电涡流式报动位移传感器测量的准确性和量值的统一性。
关建词：电涡流式振动位移传感器：静态特性：动态特性
1引言
根据《JJG644-2003振动位移传感器检定规程》6.2.2检定方法，对电涡流式振动位移传感器（以下简称“传感器”）的静态特性、动态特性进行检定。在检定中发现，国家检定规程未对试件盘材料规格、传感器的安装进行规范性说明：以及6.2.2检定方法只对静态、动态特性的检定进行了文字说明，未给出合理具体的静态、动态检定装置原理框图。
鉴于此，文中将基于电涡流式振动位移传感器
的工作原理，围绕检定用试件盘、传感器安装对传感器输出特性影响展开研究，对试件盘、传感器的安装提出规范性、指导性意见，以提高对传感器测量的准确性和量值的统一性。并目根据实验室的仪器配备，以及对传感器的实践检定，提出一种合理具体的静态、动态检定装置原理框图，为计量行业对传感器的静态、动态检定提供参考。
2申涡流式振动位移传感器的工作原理
电涡流式振动位移传感器是以高频电涡流效应为原理的非接触式位移振动传感器，系统主要欧覆日期：20140423
作者简介：林高签，男，福建有计量科学研完院力季宝，检定员，财理工程所·58·
由电涡流探头、延伸线缆（须连接）、前置器和试件盘（金属导体）组成。见下图1所示。
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图1传感器系统组成图
微保款
提头
试件点（业属导保）
图2传感器输出特性曲线图
由上图2可知：传感器与试件盘（金属导体）的距离5变化经传感器系统的处理，转化成电压的变化。输出信号/的大小跟传感器与试件盘（金属导体）的间距6大小成正比。电涡流式振动位移传感器就是根据这一原理实现对试件盘（金属导