2015年第7期（总第118期）环境资源
经源与节社 ENERGYANDENERGYCONSERVATION
浅谈多晶硅生产废水的处理与实践
韩福顺1，张书客2
2015年7月
(1.江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州221000；2.江苏艾德太阳能科技有限公司，江苏徐州221000）
摘要：针对多晶硅生产工艺及其生产废水的水质特点，结合江苏中能硅业生产废水的处理实践，提出采用滕气除砂、
两级沉淀、浓缩、机械压滤等工艺，实现生产废水达标排放，满足回用需求。关键词：多晶硅；废水；沉淀；流缩；压滤；排放及回用
中图分类号：S141.8
文献标识码：A
文章编号：20950802(2015)07009102
Discuss on the Waste Water Treatment and Practice in Polysilicon Production
HAN Fushun', ZHANG Shurui2
(1. Jiangsu Zhongneng Silicon Industry Technology Development Co. Ltd., Xuzhou 22100o, Jiangsu, China; 2. Jiangsu Aide
Solar Technology Co. Ltd., Xuzhou 221000, Jiangsu, China)
Abstract: According to the polysilicon production process and its quality characteristics of production waste water, this paper proposed some processed to realize the production wastewater discharging standard and meet the demand of recycling such as aeration desanding, twostage precipitation, concentration and mechanical filter
Key words: polysilicon; wastewater; precipitation; enrichment; filter; emissions and recycle
引言 0
多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料，是国家发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石，在未来50a里，不可能有其它材料能替代硅材料成为电子和光伏产业的主要原材料。多晶硅生产是高污染项目，由于产业技术封锁，垒断局面短期内无法改变，导致国内多晶硅企业多种生产工艺路线并存、废爱水处理工艺多样的现状。如不能很好地处理，势必严重污染水体、危害环境。如何处理多晶硅废水已成为制约多晶硅生产企业的一项瓶颈。保证多晶废水处理稳定、达标的宗旨是“必须立足于企业自身生产现状及水质特点选择工艺路线”。
多晶硅废水的来源及特点 1
a)尾气中和废水。工艺尾气等工艺废气经喷淋塔淋洗产生的酸性废水，吸收介质为石灰乳，排水含固量约12000mg/L;
b）渣浆水解物废水。HSiCl:合成工段，在生产过程中排放的含SiCl4、HSiCI,等的含硅粉物料（简称渣收稿日期：2015-02-15
第一作者简介：韩福顺，1984年生，男，江苏镇江人，2007年毕业于江苏科技大学环境工程专业，助理工程师。
浆）。渣浆水解物废水是经部分回收SiCl4、HSiCl,的渣浆水解中和后排放的废水。其特点为：水解不充分， pH值波动大、来水硅粉及SiO2含量高、颗粒粒度范围广，其固含量在10000mg/L~90000mg/L间波动平均含固量约在20000mg/L~40000mg/L，处理难度大；
c）脱盐水工序产生的酸碱性排污水。主要包括氯化物、离子膜碱等。该部分废水水量较少可忽略：
d）硅芯清洗废水。主要污染物有稀硝酸（HNO）、氢氟酸（HF），该部分废水经由除氟设施单独处理，本文暂略：
e）硅芯含硅粉废水。主要污染物是硅芯加工切割产生的含硅粉废水，水量较少可忽略：
f)还原炉筒清洗废水。主要污染物是清洗还原炉产生的含硅粉废水，水量较少可忽略；
）其它废水。包括实验室、工艺泄漏、冷却冲洗等废水，水量少可忽略。
多晶硅生产废水处理工艺 2
生产废水及废水处理装置情况
2.1
江苏中能硅业生产废水的处理，依据各排水单元水质、水量特点，渣浆水解物中和废水及中和尾气废水（除渣浆水解物废水外的废水）分别单独处理。以达到降低处理难度，提高排水水质的目的。
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