总第166期 2009年2月
文章编号：10099700(2009)01000703
南方金属 SOUTHERNMETALS
Pb/Al金属多层膜的红外性能研究
段林昆，孙勇，郭中正，沈琴
（昆明理工大学新材料制备与加工重点实验室云南昆明650093）
Sum.166 February2009
摘要：利用紫外-可见-近红外分光光度计和傅立叶红外光谱仪分析了用真空磁控溅射技术制备的Al/Pb金属多层膜的对红外光的吸收、反射和透射.结果表明，在近红外200~2500nm波段，多层膜具有良好的吸波特性，在
中红外和远红外波段，多层膜呈现出低反射强吸收效果。关键词：A1/Pb金属多层膜；吸波特性；真空磁控溅射，红外
中图分类号：TB43
文献标识码：A
InfraredcharacteristicsofAi/Pbmultiplayer
DUAN Lin-kun, SUN Yong, CUO Zhong-zheng, SHEN Li
( Key Lab of New Materials Manufacture and Processing of Yunnan Province, Kunming
University of Science and Technology, Kunming 650093, Yunman)
Abstract: The infrared absorptance, reflectance and transmittance of the Al/Pb multilayer films made by vacuum magne-tron sputtering were investigated using ultraviolet-visible-near infrared spectrophotometer and Fourier transform infrared spectrophotometer, It was found that the films possessed excellent wave absorptance in the near infrared 200250nm wave band, as well as weak reflectance and strong absorptance in the mid- and far-infrared band.
Key words: Al/Pb multiplayer; wave absorption characteristics; vacuum magnetron sputtering; infrared
0引言
纳米多层膜由于纳米层间存在超硬效应以及量
子效应和宏观隧道效应，所以通常其有优异的机板性能、磁性能、光学性能等，近几十年来已成为材料学界的研究热点，
金属/金属多层膜在成分及结构方面比较简单，常被用来研究膜的生长方式、膜与基体间残余应力产生的原因、多层膜硬度升高的原因及多层膜的界面状态，包括界面处两分膜相原子的匹配、扩散、晶体学位向关系及热力学稳定性
金属多层膜广泛应用于红外技术[1-3]，如在经常使用的反射式光学系统中，多层膜可作为高反射膜来尽量提高每个元件的反射率.由于电磁波在金属薄膜内传播的过程中亦遵循能量守衡定律，如忽略其他机制的能量损失,则有R+A+T=1（其中，R
收稿日期：20081027
为反射率，A为吸收率，T为透射率），在一定的精度条件下，通过测量膜的反射率、透射率，即可得出不同膜层数的多层膜的红外特性.本实验以非溶混体系制备的金属多层膜为对象，测量了一定层数的 A1/Pb多层膜紫外，可见，红外波段的反射率、透射率，在近红外200~2500nm波段，多层膜具有良好的吸波特性，在中红外和远红外波段，多层膜呈现出
强反射低吸收效果。 1
实验方法及样品制备 1.1实验原料及前期准备
选用冷轧过的纯铝和纯铅作为溅射靶材，靶材加工成Φ50的圆片，厚度为4~6mm，由于铅的熔点较低长时间射容易击穿，所以将Pb靶材的厚度控制在6mm左右.基片采用的是厚度为380土 20μm，晶向指数为（111）的单面抛光的单晶硅和
基金项目：云南自热科学基本资助项目（2004E0004Z；2006E0018Q）
作者简介：段林显（1983一）男，是明理工大学新材料制备与加工重点实验室碳士研完生