第7期 2017年7月
组合机床与自动化加工技术
Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique
文章编号：10012265(2017)07011904
D0I: 10. 13462/j. cenki. mmtamt. 2017. 07. 028
300mmIC的自动物料搬运系统电气控制系统设计与实现
刘丽，李学威，陈睿李静
No.7 Jul.2017
（1.沈阳职业技术学院，沈阳110045：2.沈阳新松机器人自动化股份有限公司，沈阳110168）
摘要：在集成电路（IntegratedCireuit，IC）制造行业中，自动物料搬运系统（AutomaticMaterialHandling System，AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期，固此设计AMHS具有重要意义。文章分析了AMHS控制功能要求，确定了电气控制总体方案，进行了系统供配电方案设计，尤其是非接触供电，设计了关键设备的电气控制系统方案。通过分析实际装置的技术指标，表明所设计的300mm AMHS满足要求。
关键词：自动物料搬运系统；非接触供电；电气设计
中图分类号：TH166;TG506
文献标识码：A
Electric Control System Design and Implementation of AMHS for 300mm IC
Suf IT', NaHo', Tam-an IT', FI EI
(1. Shenyang Polytechnic College , Dadong District, Shenyang 110045, China ;2. Shenyang Siasun Robot and Automation Co. , Ltd. , Shenyang 110168, China)
Abstract : In Integrated Circuit (IC) industry, Automatic Material Handling System (AMHS) improved the production rate and shortened the production cycle effectively. Therefore, it was of great significance to de-sign the AMHS. By analyzing the functional requirement of control system, the total scheme of electric con trol was proposed. The power supply scheme was designed especially for the contactless power system, and the electric control scheme of key equipments was designed. Through analyzing the technical index of actual equipment, it was shown that the reliability of 300mm AMHS was satisfied.
Key words: automatic material handling system; contactless power system; electric design
0引言
IC制品生产工艺复杂、生产设备吊贵、物料搬运任务庞大，为提高生产设备利用率、降低生产周期节约成本，对工广的自动化程度提出了更高的要求，因而快速稳定的物料搬运系统—自动物料搬送系统得到快速发展。AMHS的优化设计[2-3]和调度(+6]方面的提升，是提高AMHS运行效率的重要方面。性能优良的AMHS具有传递准确、迅速等特点，还可减少晶员搬运过程中由于震动而产生的品质问题()。AMHS 主要由控制系统、搬运系统、仓储系统和生产系统组成]。机械完成各部分的物理结构，软件实现整体系统的运作，而电气则是连接软件与机械结构的关键桥梁，是实现系统各项功能的基础，因此进行电气控制系统设计具有重要意义
本文针对300mm半导体晶圆生产线的AMHS进行供配电设计，对系统主要设备OHT控制系统，Stock-er控制系统以及道岔控制系统进行了详细的电气控制设计，并通过实际装置的性能指标对设计的可靠性进行了验证。该系统可有效的提高晶圆搬运过程的效
收稿日期：20170405
*基金项目：国家科技重大专项02专项（2014ZX02103005）
率。
1AMHS总体方案设计
AMHS是业界最灵活的集合储存、运输和管控
FAB厂不同制程区域之间以及制程设备、量测机台和 Stocker之间的制品搬运解决方案。AMHS主要包括洁
净轨道系统、OHT和Stocker等。 1.1系统功能要求
本文主要是针对300mm晶圆自动搬运系统的功能要求进行分析。供配电系统主要功能包括实现 OHT和Stocker堆栈机的非接触供配电，OHT维护系统交流供配电设计，Stocker库存管理控制系统供配电以及道岔控制系统供配电。电气控制系统主要功能是进行OHT搬运系统控制，Stocker存储系统控制和道岔系统控制的实现。
1.2AMHS控制系统组成
AMHS中的物料管控系统（Material Control Sys-tem，MCS）负责从上层制造执行系统（Manufacturing ExecutionSystem，MES）端接收指令，并发指令给搬送
作者简介：刘丽(1971—），女，沈阳人，沈阳职业技术学院副教投，研究方向为电气技术，（Email)liulisy@126.com。万方数据