课铭志宋建：ECL2620活塞综合测量仪的设计与应用
ECL2620活塞综合测量仪的设计与应用
谭铭志宋建
(湖南一派工业驱动有限公司)
[摘要]本文介绍了创新研制的活塞综合测量仅的机构和测量技术，阐述了活塞异形外围、销孔的测量方法。
异形销孔圆度
[关键词]活塞
测量仪1
中凸变围
园柱度
1简介
本仪器为高精度活塞综合测量仪，可测量活塞外圆中凸型线、椭圆截面及测量活塞销孔的圆度、圆柱度、母线等，也可以测量圆形工件的圆柱度、圆
度、直线度等参数。主要技术指标为：
主轴精度：(0.025+3H/1000)um 承载重量：40kg
测量活塞最大直径：中200
mm
测量活塞最大高度：300mm 测量精度(um)/量程范围(um)：
销孔测量：0.1um/±100um 外圆测量：0.5um/±750um
2.测量仪结构
该仪器配置了高精密的空气静压主轴作为工件回转轴，空气静压导轨作为测头移动轴，以及采用花岗岩作台面与立柱，为高精密测量系统提供了机械精度的保证(如图1所示)：
1.1采用大理石花岗岩作为工作台面与Z轴的立柱，无应变，可永久保持高精度。
1.2高精度气浮主轴：精度可达0.025um，承载 40kg。
1.3Z轴采用气浮导轨：精度可达到0.3um/100mm 1.4Z、X轴采用工控机+运动控制卡控制：可实现单轴点动与两轴联运。
1.5采集系统：传感器采用高精度微位移电感式传感器+16位高精度数据采集卡，精度可达0.05μm。
万方数据
1-仪器架 3-花岗岩 5-工作台 7-立柱 9-连轴器 11-电机
2-过滤器 4-调偏心机构 6-传感器 8-主轴 10-图光播 12-油水分高器
图1结构图
3.控制系统与软件
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本仪器控制系统采用研华工控机、运动控制卡、自制数据采集卡的多处理器结构相互协调工作。控制界面为标准的Windows界面，界面友好，操作编程容易，接口灵活，而且系统可靠性高，稳定性好，维护方便。其控制系统结构框图如图2所示：
数据采集卡
Z轴气浮导款华事的会版
主编码器 2附编网器
处理电路 Z轴电机 X轴电机口带等丫等
图2控制系统结构框图
位移传感器
整个机床由工控机控制，乙、X轴由运动控制卡控制，微位移信号由数据采集卡采集，输人输出信号由运动控制卡控制，机床控制系统主要包括：
1)进给轴控制：包括Z、X轴，由运动控制卡控制步进电机驱动器，驱动步进电机运动。采用运动控制卡可实现单轴点位运动、连续轨迹运动、直线