SJ/T 11502-2015
碳化硅单晶抛光片规范
Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
2015-10-01实施
2015- 04- 30 发布
前 言
本规范按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本规范由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）归口。