SJ/T 11503-2015
碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
2015- 04-30 发布
2015- 10-01实施
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
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本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）归口。