SJ/T 11504-2015
碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide
2015-10-01 实施
2015- 04 -30 发布
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
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本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）归口。