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SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法

资料类别:行业标准

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资料语言:中文

更新时间:2021-04-20 10:56:32



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内容简介

SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法 SJ/T 11497-2015
砷化镓晶片热稳定性的试验方法
Test method for thermal stability testing of gallium arsenide wafers
2015-04-30 发布
2015-10-01 实施
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。

 
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