SJ/T 11492-2015
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence
2015-10- 01实施
2015-04-30 发布
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009制定的规则起草。
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本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。