GB/T 40566-2021
流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determin ation of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
2022-05-01实施
2021-10-11发布
目次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… 1
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 原理 ……………………………………………………………………………………………………… 1
5 干扰因素 ………………………………………………………………………………………………… 1
6 试剂和材料 ……………………………………………………………………………………………… 2
7 仪器和设备 ……………………………………………………………………………………………… 2
8 样品制备 ………………………………………………………………………………………………… 2
9 试验步骤 ………………………………………………………………………………………………… 2
10 结果处理………………………………………………………………………………………………… 4
11 精密度…………………………………………………………………………………………………… 4
12 试验报告………………………………………………………………………………………………… 4
13 质量保证与控制………………………………………………………………………………………… 5
附录 A (资料性) 仪器参考工作条件 …………………………………………………………………… 6
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
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本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。