GB/T 34174-2017/ISO/TR 16268:2009
表面化学分析工作参考物质中离注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序
Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation (ISO/TR 16268: 2009,IDT)
2018-08-01 实施
2017-09-07 发布
目 次
前言 …………………………………………………………………………………………………………1
引言 ………………………………………………………………………………………………………… 1
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 符号和缩略语 …………………………………………………………………………………………… 4
5 概念和程序 ……………………………………………………………………………………………… 5
6 要求 ……………………………………………………………………………………………………… 7
7 定值 ……………………………………………………………………………………………………… 8
附录A（资料性附录） 离子注入………………………………………………………………………… 10
附录B（资料性附录） 离子注入剂量 …………………………………………………………………… 11
附录C（资料性附录） X射线荧光光谱术 ……………………………………………………12
附录D（资料性附录） 非定值二级参考物质及其替代物 ……………………………………………… 13
附录E（资料性附录） 面剂量测量中的不确定度 ……………………………………………………… 14
参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 17
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用 ISO/TR 16268，2009表面化学分析 工作参考物质中离子注人产生的驻留面剂量定值的建议程序》，
本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并白口。