GB/T 35309-2017
用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
Practice for evaluation of granular polysilicon by melter-zoner and spectroscopies
2018-07-01 实施
2017-12-29发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草的。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。