ICS
31.020
CCS H 80
团
体 标 准
T/QGCML 4572—2024
高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
Production and manufacturing specifications for high-precision and ultra clean wafer
claws
2024-08-12 发布
2024-08-27 实施
全国城市工业品贸易中心联合会 发 布
T/QGCML 4572—2024
目
次
前言 .................................................................................. II
1
范围 ................................................................................ 1
2
规范性引用文件 ...................................................................... 1
3
术语和定义 .......................................................................... 1
4
场地和人员 .......................................................................... 2
5
设备 ................................................................................ 2
6
材料 ................................................................................ 2
7
加工流程 ............................................................................ 3
8
成品质量 ............................................................................ 3
9
环境保护 ............................................................................ 3
10
安全 ............................................................................... 4
I
T/QGCML 4572—2024
前
言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则
起草。
第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由常熟市兆恒众力精密机械有限公司提出。
本文件由全国城市工业品贸易中心联合会归口。
本文件起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精
密机械有限公司。
本文件主要起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。
II
T/QGCML 4572—2024
高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
1
范围
本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工
流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。
2
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T 3620.1—2016
钛及钛合金牌号和化学成分
GB 12348
工业企业厂界环境噪声排放标准
GB/T 12801
生产过程安全卫生要求总则
GB 13456
钢铁工业水污染物排放标准
GB 15577
粉尘防爆安全规程
GB/T 15605
粉尘爆炸泄压指南
GB 16297
大气污染物综合排放标准
GB 18597
危险废物贮存污染控制标准
GB 18599
一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准
3
术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
晶圆
wafer
硅半导体集成电路制作所用的圆形硅晶片。
3.2
晶圆卡爪
wafer gripper
在晶圆的加工过程中，对其进行夹持的固定爪。
3.3
倒角
chamfer
把工件的棱角切削成一定斜面的机械加工方式。
3.4
披锋
burr
机械加工完成后在制品的棱角、边缘等部位出现的毛刺、尖头、锐角等缺陷。
3.5
节圆
pitch circle
1
T/QGCML 4572—2024
在定传动比的齿轮传动中，节点在齿轮运动平面的轨迹为一个圆，这个圆即为节圆。
4 场地和人员
4.1 场地
4.1.1 应远离居民生产、生活区，避免环境污染、噪音污染、粉尘污染。
4.1.2 宜靠近已有的交通运输线路，电力配套设施应完善。
4.1.3 应适应加工规模需要。
4.1.4 布局应合理、分隔清晰。
4.1.5 应具备通风换气设施。
4.2 人员
4.2.1 应掌握卡爪生产制造技术相关的基础知识，并经过专业岗位技术培训，考核合格后，持证上岗。
4.2.2 应掌握环境保护和职业健康安全相关的基础知识，能应对生产制造过程中可能出现的问题。
4.2.3 应了解厂房的管理制度，并自觉遵守人员着装和污染防控的各项规定。
4.2.4 应熟练掌握生产设备的操作方法。
4.2.5 操作人员应穿戴安全帽、防护眼镜、耳塞、防护口罩、防护手套、防护服、防护鞋进行作业。
4.2.6 操作人员应接受安全生产教育和培训。新职工上岗前、调换工种人员应进行专门的安全教育培
训。
5
设备
主要使用以下加工设备：
a) 激光机；
b) 加热箱；
c) 铣床；
d) 立式加工中心；
e) 精铣刀；
f) 轮转机等。
6 材料
6.1 材料选择
选用 GB/T 3620.1—2016 中规定的 TC4 钛合金板作为原料。
6.2
材料接收
6.2.1
材料入厂后，仓库管理人员应确认其生产厂家、产品名称、规格及数量与采购计划相符，并有
相应的质量证明文件（如合格证、出厂检验报告等）。
6.2.2
初检合格后，仓库管理人员通知质量部门抽样检测。质量部门依据相应原料检验规程进行检验，
根据相应材料标准验收原料，并做好记录。
6.3
材料储存
2
T/QGCML 4572—2024
材料储存环境应清洁、通风、干燥、防雨、防潮，没有腐蚀性气体或化学物质。
7 加工流程
7.1 调整激光机的透镜焦距以及激光功率，对准钛板将其切割成方料。
7.2 选用厚度为 0.18 mm 的钼丝作为快走丝，调整脉冲宽度、脉冲间隔、功率管数、间隙电压、丝筒
运转频率，然后进行穿线，根据线割图进行切割，外形单边放量 1 mm 作为铣床精加工留余量。
7.3
将加热箱温度升至 450 ℃ 并保温 1 h，再升温至 620 ℃ 并保温 2.5 h，待温度下降后空冷至
常温。
7.4
装夹后按加工图纸尺寸，加工各个台阶，内外圆及厚度单边放量 1 mm。
7.5
在立式加工中心上进行以下操作：
a)
将外形精铣至图纸尺寸，将三条边铣削至图纸尺寸，对各孔槽进行铣削；
b)
按车床加工完成的内孔分中；
c)
将台阶铣削至图纸尺寸，保证平面度公差；
d)
将厚度铣削至图纸尺寸；
e)
倒角去除零件上的毛刺；
f)
将三长边厚度、总厚度精铣至图纸尺寸；
g)
对中间进行精加工，控制孔槽深度，车床留有 1 mm 精加工量；
h)
精车各内孔至图纸尺寸，保证各圆同心度要求。
7.6
去除表面披锋，采用超声波清洗吹净表面，然后进行装配。
7.7
将底座装配进 3 个的精孔内，当扭力扳手到达预设的扭矩值时后停止，逐一安装 3 个底座到固
定位置，采用轮转机铣直径为 300 mm 的节圆。
7.8 以精孔定位精加工底座的圆柱，三角形凸台面应保证三条边底面到凸台面符合尺寸公差。
7.9 在立式加工中心上精铣节圆使尺寸公差符合图纸规定。
7.10 再次去除表面披锋后并采用超声波清洗吹净表面。
7.11 采用符合精度要求的量具测量尺寸，合格后进行包装。
7.12 用缓冲泡棉包裹底座，放入圆形珍珠棉内，检查是否会晃动，确认无异常后贴标签出货。
7.13 出库前应经仓库登记和审核，有序出库。
8 成品质量
8.1 卡爪表面应平整、光滑，无裂纹、金属飞边、毛刺等加工缺陷。
8.2 卡爪处夹持晶圆时不应卡紧或松动。
9 环境保护
9.1 废气、废水
9.1.1 生产制造应配套适宜的污染物治理设施。
9.1.2 大气污染物排放的浓度应符合 GB 16297 的规定。
9.1.3 废水应由污水处理厂回收或经处理后达标排放，排放的废水应符合 GB 13456 的规定。
3
T/QGCML 4572—2024
9.2
固体废弃物贮存
生产制造产生的固体废弃物贮存应符合 GB 18597、GB 18599 的规定。
9.3
噪声
对振动较大的设备应采取有效的减振、隔振、消声、隔声等措施，生产制造的厂界噪声应符合 GB
12348 的规定。
10 安全
10.1 应建立、健全安全生产责任制，并做好安全生产计划工作。
10.2 应根据 GB/T 12801 的规定，结合生产特点制定相应安全防护措施、安全操作规程和消防应急预
案，并配备防护救生设施及用品。
10.3
电气设备、线路应有可靠的避雷、接地装置，并定期进行检修。
10.4
应规定设备的水、电、气系统安全检查的周期并按规定检查，消除安全隐患。
10.5
电气操作应按照电工安全操作规范进行，用电设备的操作应按照设备操作规程进行。
10.6
应设有必要的降噪、通风、防尘、防爆、泄爆设施或设备，防尘防爆管理应符合 GB 15577、GB/T
15605 的规定。
4