ICS
31.020
CCS H 80
团
体 标 准
T/QGCML 4573—2024
高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘
生产制造规范
Manufacturing specification for high precision and ultra clean wafer electrochemical
electroplating chamber grid disk
2024-08-12 发布
2024-08-27 实施
全国城市工业品贸易中心联合会 发 布
T/QGCML 4573—2024
目
次
前言 .................................................................................. II
1
范围 ................................................................................ 1
2
规范性引用文件 ...................................................................... 1
3
术语和定义 .......................................................................... 1
4
缩略语 .............................................................................. 2
5
场地和人员 .......................................................................... 2
6
设备 ................................................................................ 2
7
材料 ................................................................................ 2
8
加工流程 ............................................................................ 3
9
成品质量 ............................................................................ 3
10
环境保护 ........................................................................... 3
11
安全 ............................................................................... 4
I
T/QGCML 4573—2024
前
言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则
起草。
第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由常熟市兆恒众力精密机械有限公司提出。
本文件由全国城市工业品贸易中心联合会归口。
本文件起草单位：常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精
密机械有限公司。
本文件主要起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。
II
T/QGCML 4573—2024
高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范
1
范围
本文件规定了高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范的术语和定义、缩略语、场地
和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造。
2
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB 12348
工业企业厂界环境噪声排放标准
GB/T 12801
生产过程安全卫生要求总则
GB 13456
钢铁工业水污染物排放标准
GB 15577
粉尘防爆安全规程
GB/T 15605
粉尘爆炸泄压指南
GB 16297
大气污染物综合排放标准
GB 18597
危险废物贮存污染控制标准
GB 18599
一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准
3
术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
晶圆
wafer
硅半导体集成电路制作所用的圆形硅晶片。
3.2
镀铜用网格盘
grid disk for copper plating
在晶圆的加工过程中对晶圆进行镀铜操作时用到网格盘。
3.3
开粗
open coarse
零件加工过程中的第一个工序，通常从毛坯开始加工。
3.4
倒角
chamfer
把工件的棱角切削成一定斜面的机械加工方式。
3.5
工装加工
fixture processing
一般指机械加工设备及工装。
1
T/QGCML 4573—2024
4
缩略语
下列缩略语适用于本文件。
ABS：丙烯腈-丁二烯-苯乙烯塑料（Acrylonitrile Butadiene Styrene plastic）
CNC：数控车床（CNC lathe）
5 场地和人员
5.1 场地
5.1.1 应远离居民生产、生活区，避免环境污染、噪音污染、粉尘污染。
5.1.2 宜靠近已有的交通运输线路，电力配套设施应完善。
5.1.3 应适应加工规模需要。
5.1.4 布局应合理、分隔清晰。
5.1.5 应具备通风换气设施。
5.2 人员
5.2.1 应掌握网格盘生产制造技术相关的基础知识，并经过专业岗位技术培训，考核合格后，持证上
岗。
5.2.2
应掌握环境保护和职业健康安全相关的基础知识，能应急生产制造过程中可能出现的问题。
5.2.3
应了解厂房的管理制度，并自觉遵守人员着装和污染防控的各项规定。
5.2.4
应熟练掌握生产设备的操作方法。
5.2.5
操作人员应穿戴安全帽、防护眼镜、耳塞、防护口罩、防护手套、防护服、防护鞋进行加工作
业。
5.2.6
操作人员应接受安全生产教育和培训。新职工上岗前、调换工种人员应进行专门的安全教育培
训。
6
设备
主要使用以下加工设备：
a) 立式加工中心；
b) 数控车床；
c) 锯床；
d) 加热箱；
e) 液氮去毛刺机；
f) 内冷钻；
g) 工装；
h) 铣刀等。
7 材料
7.1 材料选择
2
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选用刚性强、耐磨性好、硬度高、耐高温冲击的聚丙烯作为原料。
7.2
材料接收
7.2.1
材料入厂后，仓库管理人员应确认其生产厂家、产品名称、规格及数量与采购计划相符，并有
相应的质量证明文件（如合格证、出厂检验报告等）。
7.2.2
初检合格后，仓库管理人员通知质量部门抽样检测。质量部门依据相应原料检验规程进行检验，
根据相应材料标准验收原料，并做好记录。
7.3
材料储存
材料储存环境应清洁、通风、干燥、防雨、防潮。
8 加工流程
8.1 用锯床将聚丙烯材料切割为整块板料。
8.2 上加工中心压板压住开粗，外圆铣削一圈工艺凸台，CNC 铣削开粗内框、筋条、台阶单边应适当
放量留作后续加工余量。
8.3
加热箱温度由室温匀速升至 110 ℃，在 110 ℃ 保温 10 h，然后空冷至室温。
8.4
上加工中心正面半精加工开框及定位凸台铣反面斜边，铣释放应力槽，粗铣斜面单边留 1 mm 精
加工量，斜边留工艺凸台，便于 CNC 铣正面时定位装夹。厚度方向应留加工余量。
8.5
正面内圆及各台阶尺寸、铣腰型孔到位加工。铣在圆周一圈沉头孔尺寸到位打正面各孔、牙孔，
内腔筋倒角，用工装打侧面孔，控制孔深。
8.6
采用内冷合金钻头、工装进行加工，将 ABS 棒塞到侧面深孔内，加工内框加强筋上各 1 mm 小孔，
用内冷合金钻头加工，不应有毛刺。
8.7
上四轴转角度打内壁侧面孔的尺寸到位。采用内冷合金钻头进行加工，钻头加工前先用铣刀将斜
面踩平，与深孔接通。铣反面斜面到尺寸，平面度应小于 0.1 mm，铣反面槽及孔、铣密封槽到位。
8.8
采用液氮去毛刺机调制聚丙烯材料至合适温度，将工件放入进机器内，合上后逐步降温冷冻。旋
转工件并将专用沙喷在表面去除毛刺。
8.9
上车床去除夹位后，将外径尺寸到位，刀纹应不粗糙。
8.10
按图纸要求安装牙套，水压侧漏压力为 0.05 Mpa，观察各小孔出水是否均匀且高度一致，不允
许有不出水或者断续的情况，确认无异常后安装钛合金堵头。
8.11 采用符合精度要求的量具测量尺寸，合格后进行包装。
8.12 采用缓冲泡棉包裹，放入圆形珍珠棉内，检查是否晃动，确认无异常后贴标签出货。
8.13 出库前应经仓库登记和审核，有序出库。
9 成品质量
9.1 网格盘表面干净平整，无气泡、黑点、变形、划伤等缺陷。
9.2 出液孔角度应一致且不贯穿漏液。
10 环境保护
10.1 废气、废水
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10.1.1 生产制造应配套适宜的污染物治理设施。
10.1.2 大气污染物排放的浓度应符合 GB 16297 的规定。
10.1.3 废水应由污水处理厂回收或经处理后达标排放，排放的废水应符合 GB 13456 的规定。
10.2 固体废弃物贮存
生产制造产生的固体废弃物贮存应符合 GB 18597、GB 18599 的规定。
10.3
噪声
对振动较大的设备应采取有效的减振、隔振、消声、隔声等措施，生产制造的厂界噪声应符合 GB
12348 的规定。
11 安全
11.1 应建立、健全安全生产责任制，并做好安全生产计划工作。
11.2 应根据 GB/T 12801 的规定，结合生产特点制定相应安全防护措施、安全操作规程和消防应急预
案，并配备防护救生设施及用品。
11.3
电气设备、线路应有可靠的避雷、接地装置，并定期进行检修。
11.4
应规定设备的水、电、气系统安全检查的周期并按规定检查，消除安全隐患。
11.5
电气操作应按照电工安全操作规范进行，用电设备的操作应按照设备操作规程进行。
11.6
应设有必要的降噪、通风、防尘、防爆、泄爆设施或设备，防尘防爆管理应符合 GB 15577、GB/T
15605 的规定。
4