JJG
国防军工计量检定规程
JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔
Vacuum Standard Leak
2019-12-20发布
2020-04-01实施
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔检定规程 Verification Regulation of Vacuum StandardLeak
JJG（军工）165—2019 代替JJF（军工）232015
主要起草单位：国防科技工业真空一级计量站
参加起草单位：国防科技工业6114二级计量站 JJG（军工）165—2019
本规程主要起草人：
陈联 （国防科技工业真空一级计量站）孙雯君 （国防科技工业真空一级计量站）赵 澜 （国防科技工业真空一级计量站）成永军 （国防科技工业真空一级计量站）黄宏 （国防科技工业真空一级计量站）孙冬花 （国防科技工业真空一级计量站）张瑞年 （国防科技工业真空一级计量站）
参加起草人：
刘波 （国防科技工业6114二级计量站） JJG（军工）165—2019
目录
前言 1范围 2引用文件... 3术语和定义.. 4概述 4.1原理.... 4.2构造... 4.3用途 5计量性能要求 5.1漏率示值误差 5.2漏率重复性.. 6通用技术要求 6.1外观及附件 6.2工作正常性 7计量器具控制 7.1检定条件 7.2检定项目... 7.3检定方法 7.4检定结果的处理 7.5检定周期附录A定容法真空标准漏孔检定记录格式. 附录B动态比较法真空标准漏孔检定记录格式附录C静态累积法真空标准漏孔检定记录格式附录D 真空标准漏孔检定证书内页格式. 附录E真空标准漏孔检定结果通知书内页格式
II
2
.2 2 ..2 2 ...2 .2 2
2
2
7
7
...8 .9 ...10
10 12 JJG（军工）165—2019
前言
本检定规程的编制参考JF（军工）2一2012《国防军工计量校准规范编写规则》及JF （军工）6一2014《国防军工计量技术规范审查规范》。
本检定规程替代JJF（军工）23一2015《（1×10-8～1×10-14）Pam3/s真空标准漏孔校准规范》。本检定规程与JJF（军工）23一2015比较，有下列变化：
1.将适用的漏率范围由（1×10-8~1×10-14）Pam3/s修订为（1×10-4~5×10-13）Pam3/s； 2.检定方法在保留原有动态比较法和静态累积比较法的基础上，扩充了定容法。
1I JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔检定规程
1范围
本规程适用于漏率测量范围为（5×10-13~1×104）Pam/s的真空标准漏孔的首次检定后续检定和使用中检查。
引用文件本规程引用了下列文件： JJF1001 通用计量术语及定义 GB/T3163 真空技术术语 GB/T4844 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程：凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规程 3术语和定义
2
JF1001和GB/T3163界定的及以下术语和定义适用于本规程 3.1真空标准漏孔VacuumStandardLeak
在出口压力低于1kPa，入口压力大于出口压力条件下，提供已知恒定漏率的一种标准漏孔。 4概述 4.1原理
真空标准漏孔根据漏气元件漏气原理不同，可以分为渗透型真空标准漏孔和通道型真空标准漏孔两种。渗透型真空标准漏孔是利用某些物质对某种气体有较高的渗透性而制造的，从而对特定气体产生恒定漏率的一种真空标准漏孔。通道型真空标准漏孔是利用具有物理节流的通道，如金属毛细管、玻璃-铂金丝毛细管、金属压扁毛细管、粉末烧结和微孔板等而制造的，能让所有气体成分以微小流量通过，从而产生恒定漏率的一种真空标准漏孔。 4.2构造
真空标准漏孔一般由漏孔元件、 气室、漏孔阀、 充气阅和连接件等组成，结构示意图如图1所示。
1一漏孔阀；2一漏孔元件：3一气室：4—充气阀：5—连接件
图1真空标准漏孔结构示意图
1 JJG（军工）165—2019
4.3用途
真空标准漏孔主要用于气体泄漏检测工作中产生已知恒定漏率的标定。 5计量性能要求 5.1漏率示值误差
真空标准漏孔漏率示值误差见表1 5.2漏率重复性
真空标准漏孔漏率重复性要求见表1。
表1 真空标准漏孔计量性能要求 (5×10-13~1×10-7)
(5×10-6~[×104)
漏率范围
(1x10-7~5×10~6)
检定项目
Pam?/s ±90% 20%
Pam°/s ±60% 10%
Pam°/s ±30%
漏率示值误差漏率重复性
3%
注：漏率为1×10-7Pam/s时，漏率示值误差为±60%，漏率重复性为10%：
漏率为5×10Pam?/s时，漏率示值误差为±30%， 漏率重复性为3% 通用技术要求
6
6.1外观及附件
外观及附件要求如下： a）被检真空标准漏孔的气室、漏孔阀和连接件完好，无影响正常工作的机械损伤： b）被检真空标准漏孔的型号、名称、出厂编号、标称值、制造厂等标识齐全： c）被检真空标准漏孔附件齐全，包括使用说明书和上个周期检定证书。
6.2工作正常性
被检真空标准漏孔接入标准装置，在真空状态下，漏孔阀开启和关闭后，标准装置给出的漏率信号具有明显变化。 7计量器具控制 7.1检定条件 7.1.1检定设备
检定设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。主要检定设备包括： a）（5×10-13~5×10-9）Pam3/s气体微流量标准装置；
1）漏率范围：（5×10-13~1×10-11）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=18%（k-2）； 2）漏率范围：（1×10-ll~5x10-9）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=14%（k-2）。
b）（4.9x10-105.1×10-5）Pam3/s气体微流量标准装置
1）漏率范围：（4.9×10-10~5.0×10-6）Pam/s，相对扩展不确定度：U=4.4%（k=2)； 2）漏率范围：（5.0×10-6~5.1×10-5）Pam3/s，相对扩展不确定度：U-2.8%（k=2）。
c）（5.1×10-5~10）Pam3/s气体微流量标准装置
2 JJG（军工）165—2019
漏率范围：（5.1x10-5~10）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=2.8%（k-2）。 d）真空漏率标准装置
1）漏率范围：（5×10-11~5×10-10）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=30%（k=2）； 2）漏率范围：（5×10-10~1×10-4）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=15%（k=2）。 e）标准漏孔比较法标准装置
漏率范围： （5x10-10~1x104）Pam/s，相对扩展不确定度：U=20%（k=2）。 f温度计
1）温度范围：15℃~30℃： 2）分度值：0.1℃。
g）检定气体
1）检定用氢气应满足GB/T4844“合格品”的要求 2）检定用氮气应满足GB/T8979“合格品”的要求。
7.1.2环境条件
环境条件要求如下： a）环境温度：23℃±3℃，检定过程中温度波动不大于1℃/h； b）相对湿度：不大于80%； c）其他：周围不得有影响测量结果的电、磁场、振动等干扰。
7.2检定项目
真空标准漏孔的检定项目见表2。
表2检定项目
后续检定
序号
检定项目外观及附件工作正常性漏率示值误差漏率重复性
首次检定
使用中检查
+ + + +
+ + +
+ + + +
2 3 4 注；“*”为应检项目。
+
7.3检定方法 7.3.1外观及附件
用目视方法检查，外观及附件应符合6.1的要求。 7.3.2工作正常性
用手动方法检查，工作正常性应符合6.2的要求。 7.3.3漏率示值误差 7.3.3.1定容法
3 JJG
国防军工计量检定规程
JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔
Vacuum Standard Leak
2019-12-20发布
2020-04-01实施
国家国防科技工业局发布 JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔检定规程 Verification Regulation of Vacuum StandardLeak
JJG（军工）165—2019 代替JJF（军工）232015
主要起草单位：国防科技工业真空一级计量站
参加起草单位：国防科技工业6114二级计量站 JJG（军工）165—2019
本规程主要起草人：
陈联 （国防科技工业真空一级计量站）孙雯君 （国防科技工业真空一级计量站）赵 澜 （国防科技工业真空一级计量站）成永军 （国防科技工业真空一级计量站）黄宏 （国防科技工业真空一级计量站）孙冬花 （国防科技工业真空一级计量站）张瑞年 （国防科技工业真空一级计量站）
参加起草人：
刘波 （国防科技工业6114二级计量站） JJG（军工）165—2019
目录
前言 1范围 2引用文件... 3术语和定义.. 4概述 4.1原理.... 4.2构造... 4.3用途 5计量性能要求 5.1漏率示值误差 5.2漏率重复性.. 6通用技术要求 6.1外观及附件 6.2工作正常性 7计量器具控制 7.1检定条件 7.2检定项目... 7.3检定方法 7.4检定结果的处理 7.5检定周期附录A定容法真空标准漏孔检定记录格式. 附录B动态比较法真空标准漏孔检定记录格式附录C静态累积法真空标准漏孔检定记录格式附录D 真空标准漏孔检定证书内页格式. 附录E真空标准漏孔检定结果通知书内页格式
II
2
.2 2 ..2 2 ...2 .2 2
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7
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...8 .9 ...10
10 12 JJG（军工）165—2019
前言
本检定规程的编制参考JF（军工）2一2012《国防军工计量校准规范编写规则》及JF （军工）6一2014《国防军工计量技术规范审查规范》。
本检定规程替代JJF（军工）23一2015《（1×10-8～1×10-14）Pam3/s真空标准漏孔校准规范》。本检定规程与JJF（军工）23一2015比较，有下列变化：
1.将适用的漏率范围由（1×10-8~1×10-14）Pam3/s修订为（1×10-4~5×10-13）Pam3/s； 2.检定方法在保留原有动态比较法和静态累积比较法的基础上，扩充了定容法。
1I JJG（军工）165—2019
真空标准漏孔检定规程
1范围
本规程适用于漏率测量范围为（5×10-13~1×104）Pam/s的真空标准漏孔的首次检定后续检定和使用中检查。
引用文件本规程引用了下列文件： JJF1001 通用计量术语及定义 GB/T3163 真空技术术语 GB/T4844 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规程：凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规程 3术语和定义
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JF1001和GB/T3163界定的及以下术语和定义适用于本规程 3.1真空标准漏孔VacuumStandardLeak
在出口压力低于1kPa，入口压力大于出口压力条件下，提供已知恒定漏率的一种标准漏孔。 4概述 4.1原理
真空标准漏孔根据漏气元件漏气原理不同，可以分为渗透型真空标准漏孔和通道型真空标准漏孔两种。渗透型真空标准漏孔是利用某些物质对某种气体有较高的渗透性而制造的，从而对特定气体产生恒定漏率的一种真空标准漏孔。通道型真空标准漏孔是利用具有物理节流的通道，如金属毛细管、玻璃-铂金丝毛细管、金属压扁毛细管、粉末烧结和微孔板等而制造的，能让所有气体成分以微小流量通过，从而产生恒定漏率的一种真空标准漏孔。 4.2构造
真空标准漏孔一般由漏孔元件、 气室、漏孔阀、 充气阅和连接件等组成，结构示意图如图1所示。
1一漏孔阀；2一漏孔元件：3一气室：4—充气阀：5—连接件
图1真空标准漏孔结构示意图
1 JJG（军工）165—2019
4.3用途
真空标准漏孔主要用于气体泄漏检测工作中产生已知恒定漏率的标定。 5计量性能要求 5.1漏率示值误差
真空标准漏孔漏率示值误差见表1 5.2漏率重复性
真空标准漏孔漏率重复性要求见表1。
表1 真空标准漏孔计量性能要求 (5×10-13~1×10-7)
(5×10-6~[×104)
漏率范围
(1x10-7~5×10~6)
检定项目
Pam?/s ±90% 20%
Pam°/s ±60% 10%
Pam°/s ±30%
漏率示值误差漏率重复性
3%
注：漏率为1×10-7Pam/s时，漏率示值误差为±60%，漏率重复性为10%：
漏率为5×10Pam?/s时，漏率示值误差为±30%， 漏率重复性为3% 通用技术要求
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6.1外观及附件
外观及附件要求如下： a）被检真空标准漏孔的气室、漏孔阀和连接件完好，无影响正常工作的机械损伤： b）被检真空标准漏孔的型号、名称、出厂编号、标称值、制造厂等标识齐全： c）被检真空标准漏孔附件齐全，包括使用说明书和上个周期检定证书。
6.2工作正常性
被检真空标准漏孔接入标准装置，在真空状态下，漏孔阀开启和关闭后，标准装置给出的漏率信号具有明显变化。 7计量器具控制 7.1检定条件 7.1.1检定设备
检定设备应经过计量技术机构检定合格，并在有效期内。主要检定设备包括： a）（5×10-13~5×10-9）Pam3/s气体微流量标准装置；
1）漏率范围：（5×10-13~1×10-11）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=18%（k-2）； 2）漏率范围：（1×10-ll~5x10-9）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=14%（k-2）。
b）（4.9x10-105.1×10-5）Pam3/s气体微流量标准装置
1）漏率范围：（4.9×10-10~5.0×10-6）Pam/s，相对扩展不确定度：U=4.4%（k=2)； 2）漏率范围：（5.0×10-6~5.1×10-5）Pam3/s，相对扩展不确定度：U-2.8%（k=2）。
c）（5.1×10-5~10）Pam3/s气体微流量标准装置
2 JJG（军工）165—2019
漏率范围：（5.1x10-5~10）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=2.8%（k-2）。 d）真空漏率标准装置
1）漏率范围：（5×10-11~5×10-10）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=30%（k=2）； 2）漏率范围：（5×10-10~1×10-4）Pam3/s，相对扩展不确定度：U=15%（k=2）。 e）标准漏孔比较法标准装置
漏率范围： （5x10-10~1x104）Pam/s，相对扩展不确定度：U=20%（k=2）。 f温度计
1）温度范围：15℃~30℃： 2）分度值：0.1℃。
g）检定气体
1）检定用氢气应满足GB/T4844“合格品”的要求 2）检定用氮气应满足GB/T8979“合格品”的要求。
7.1.2环境条件
环境条件要求如下： a）环境温度：23℃±3℃，检定过程中温度波动不大于1℃/h； b）相对湿度：不大于80%； c）其他：周围不得有影响测量结果的电、磁场、振动等干扰。
7.2检定项目
真空标准漏孔的检定项目见表2。
表2检定项目
后续检定
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检定项目外观及附件工作正常性漏率示值误差漏率重复性
首次检定
使用中检查
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2 3 4 注；“*”为应检项目。
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7.3检定方法 7.3.1外观及附件
用目视方法检查，外观及附件应符合6.1的要求。 7.3.2工作正常性
用手动方法检查，工作正常性应符合6.2的要求。 7.3.3漏率示值误差 7.3.3.1定容法
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