ICS23.160 J78 备案号：44416-2014
中华人民共和国机械行业标准
JB/T100752013 代替JB/T100751999
冷阴极电离真空计
Cold.cathodeionizationgauge
2014-07-01实施
2013-12-31发布
中华人民共和国工业和信息化部发布 JB/T100752013
目 次
前言 1 范围. 2 规范性引用文件 3术语和定义 4 技术要求.. 4.1工作环境 4.2 外观.. 4.3真空计本底误差 4.4电参数示值误差 4.5 真空计压力示值误差 4.6 真空计稳定性 4.7 使用电气安全性能 4.8 输出信号. 4.9控制性能. 4.10抗运输环境性能. 5试验方法 5.1外观试验 5.2本底误差试验， 5.3 电参数示值误差示值试验 5.4 真空计压力示值误差试验 5.5 真空计稳定性试验 5.6 使用电气安全性能试验， 5.7 输出信号试验 5.8控制性能试验 5.9抗运输环境性能试验 6检验规则 6.1 通则. 6.2 出厂检验. 6.3 型式检验 7标志、包装和贮存 7.1 标志. 7.2 包装. 7.3 贴存图1 真空计本底误差测试电路图图2 阳极对阴极的电位测试电路图图3 真空计压力示值误差试验装置示意图
I1
2
6
6 6
6 6 6 JB/T10075-2013
前言
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准代替JB/T10075—1999《冷阴极电离真空计技术条件》，与JB/T10076—1999相比主要技术变
化如下：
标准的适用范围由“压强不小丁5×10-Pa"改为“压力大于1×107Pa”（见第1章第二段，1999 年版的第一段）；增加了“规范性引用文件”和“术语和定义”（见第2章和第3章）；删除“工作环境”中“大气压强”［1999年版的1.3c】]；修改并增加了对外观的要求（见4.2，1999年版的1.1）；将“本底电流”改为“真空计本底误差”（见4.3，1999年版的1.5）；增加了“电参数示值误差”和“电参数稳定性”（见4.4和4.6.1）； “耐压性能”改为“电气使用安全性能”，增加了对绝缘电阻的要求（见4.7，1999年版的1.4）；修改并增加了对输出信号的要求（见4.8，1999年版的1.8）；增加“控制性能”（见4.9）；修改了抗运输环境性能要求（见4.10，1999年版的1.9）：删除了“机箱尺寸”（1999年版的1.2）；修改了外观检验方法（见5.1，1999年版的2.1）；修改了本底电流试验方法（见5.2，1999年版的2.4）；修改了图1，增加了直流微安表串入回路（见图1，1999年版的图1）；删除了最大允许误差在电源电压变化时的测试要求（1999年版的2.5.1) 修改了试验装置的总不确定度（见5.4.2，1999年版的2.5.3.1）；修改了校准室总容积的要求［见5.4.3.3a），1999年版的2.5.3.2a】]；增加了动态平衡真空系统的要求「见5.4.3.3b）和c】]；增加了电参数示值误差试验、电位随电源电压的变化量和图2（见5.3、5.5.1和图2）：修改了真空计变化量的测量要求（见5.5.2，1999年版的2.6）；增加了控制性能试验（见5.8）：增加了通则（见6.1）：修改了出厂检验内容（见6.2，1999年版的3.1）；修改了型式试验条件（见6.3.2，1999年版的3.2.2）：删除了保修期限内容（1999年版的3.3）。
本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准负责起草单位：沈阳真空技术研究所。 本标准参加起草单位：安徽皖仪科技股份有限公司。 本标准主要起草人：郑殿忠、苏玉萍、王晓莉、黄文平、刘磊。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
ZBY285-1984; JB/T10075—1999。
II JB/T100752013
冷阴极电离真空计
1范围
本标准规定了冷阴极电离真空计的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装和贮存等内容。 本标准适用于测量压力大于1×107Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离规管（以下简称规
管）配套使用的冷阴极电离真空计（以下简称真空计）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2423.3一2006电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验 GB/T3163真空技术术语 GB/T3369.1过程控制系统用模拟信号第1部分：直流电流信号 GB/T3369.2过程控制系统用模拟信号第1部分：直流电压信号 GB/T6107使用申行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之问的接口 GB/T13384机电产品包装通用技术条件 JB/T9329仪器仪表运输运输贮存基本环境条件及试验方法 QJ2555平衡数字多点系统使用的发送器和接收器电气特性 BSR/TIA574数字终端设备和数据电路终端设备间使用串行二进制数据交换的9位非同步接口C9
position non-sychronous interface between data terminal equipment and data circuit-terminating equipment employing serial binary data interchange)
3术语和定义
GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
真空计vacuumgauge 测量低于一个大气压的气体或蒸汽压力的仪器。 注：通常使用的某些真空计实际止不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力米表达的），而是测量在规定条件
与压力有关的某些其他物理量。
3.2
冷阴极电离真空计coldcathodeionizationgauge 通过冷阴极放电产生离子的一种电离真空计。该真空计中，通常用磁场来延长电子的行程，以增加
离子产生的数月。 4技术要求 4.1工作环境
真空计在下述环境下应能正常工作： JB/T100752013
环境温度：0℃~40℃：相对湿度：10%~75%：一电源电压：（220土22）V、50Hz交流电。
4.2外观 4.2.1真空计的外壳及相关部件表面应处理良好，标志的文字、符号和标记均应清晰。 4.2.2真空计的指示器应无引起测量误差的外观缺陷，如电表机械零位失调、指针弯山、卡针及表面刻度不清、数宇显示有模糊字、缺字、缺划和乱跳等现象。 4.2.3真空计开关、旋钮、指示灯、插头（座）、熔断器、电缆和附件等均应齐全、完好。 4.3真空计本底误差
在工作环境下，真空计本底电流值不应超过测量范围下限放电电流土20%。 4.4电参数示值误差
阳极对阴极的电位值不应超过标称值的土2%。 4.5真空计压力示值误差
在工作环境下，空计示值误差不应超过下述范围：
当压力大于或等于5×10-Pa时：-60%～100%；当压力小寸5×10-Pa时：-70%~200%
4.6真空计稳定性 4.6.1电源电压在（220士22）V范围内变化时，极对期极的电位变化不应超过土2% 4.6.2在工作环境下，电源电压为220V稳定不变时，真空计示值在1h内相对变化量不应超过土20% 4.7使用电气安全性能 4.7.1真空计供电电源端子与机箱外壳之间应能经受频率为50Hz、电压为1kV的正弦交流电压历时 1min的耐压试验，无击穿和飞弧现象。 4.7.2真空计供电电源端子与机箱外壳之间的绝缘电阻，在电源开关闭合情况下不应小于20MS2。 4.8输出信号
当真空计有输出信号时，应满足下列要求： a）真空计模拟直流电流信号范围应符合GB3369.1的规定，真空计模拟直流电压信号范围应符
合GB/T3369.2的规定。 b）真空计的数字通信接口，建议优先采用RS232和RS485接口。采用25针RS232C接口应符合
GB/T6107，采用9针RS232接口应符合BSR/TIA574的规定，采用RS485接口应符合QJ2555 的规定。
4.9控制性能
对于带有控制功能的真空计，需要给出控制方式、控制范围、动作误差和负载能力。动作误差不应超过示值的土20%。 4.10抗运输环境性能
仪器在包装完好的条件下，需按JB/T9329的要求进行。其中：
2 JB/T10075--2013
a）高温试验选用：（55土2）℃； b）低温试验选用：（-40±2）℃： c）湿热试验选用：相对湿度90%（40℃时）； d）跌落选用：自由跌落高度250mm。 试验后，真空计仍应符合4.3～4.7的要求。
5试验方法
5.1外观试验
用目测方法检查外观是否符合4.2的要求。在测试过程中检卡针、数字显示模糊、缺划和乱跳等现象。 5.2本底误差试验
采用图1所示方法进行测试。
B
~220V
说明： B 交流调压器： V—0V~250V交流电压表，准确度不低于1.5级： D 一被测支空让： R- 真空计限流电阻： G 一规管： A一一直流微安表，准确度不低于0.5级。
图1真空计本底误差测试电路图
测试在相对湿度不大于75%（25℃时）的大气条件下进行。测试条件按GB/T2423.3一2006的规定，达到规定湿度两天后进行测试。
测试时，真空计的供电电压为242V，规管处于大气状态。 指针式仪表：按图1但不需接直流微安表A，真空计指示单元指示的电流值即为本底电流。 数显仪表：按图1连接，直流微安表测得电流为本底电流。 根据已知测量范围下限的放电电流值，真空计本底误差按下式计算：
1-10×100%
=
Io
式中：
真空计本底误差，%： Ii——测得本底电流值，单位为安（A）： o——测量范围下限放电电流值，单位为安（A)。 真空计本底误差应符合4.3的要求。 JB/T100752013
5.3 3电参数示值误差示值试验
阳极对阴极的电位示值误差试验采用图2所示线路进行测试。
B ~220V
D
O
说明： B 交流调压器： V- 0V~250V交流电压表，准确度不低于1.5级： D—被测真空计： Vi 一准确度不低于0.5级的直流电压表或数字电压表： R- 真空计限流电阻： G 规管： CB- 表头。
一
图2阳极对阴极的电位测试电路图
阳极对阴极电位的误差按下式计算：
U-Uo×100% Uo
52
式中： 62——阳极对阴极电位的示值误差，%； U一电压表所示的被测真空计阳极对阴极的电位测量值，单位为伏（V)； Uo-一配套规管工作电压的标称值，单位为伏（V）。 电参数示值误差应符合4.4的要求。
5.4真空计压力示值误差试验 5.4.1试验采用动态直接比较法进行，即将被测真空计和标准真空计接在同一测量装置上，该装置所需压力通过动态平衡调节获得。 5.4.2试验装置的测量范围应满足被测真空计待测范围，其装置的总不确定度应不大于15%。 5.4.3装置示意图如图3所示。动态平衡真空系统应满足下述条件。 5.4.3.1校准室的本底压力不大于被校真空计被校压力下限的2% 5.4.3.2 校准室的压力在校准范围内应连续可调，在1min内压力稳定度不大于1% 5.4.3.3 校准室的结构应符合下列要求：
a）总容积应大于规管和与它相连接的管道总容积的20倍。 b）校准室的形状为球形体或是高度与内径之比为1倍～3倍的圆柱体。 c）标准电离真空计和被校电离真空计的安装：对球状校准室应在球赤道位置：对圆柱体校准室，
应安装在1/2高度的同一水平面位置。 d）为获得动平衡压力，所注入校准室的气体最少与校准室内壁碰撞一次后才能进入规管所在位置。 e）校准室上连接被校规管的过度管道的流导值，不应小于被校规管本身支管流导值的10倍。 f）校准室内的有效抽速不应小于所有规管总抽速的50倍。
5.4.3.4测试用的氮气纯度应不低于99.9% 4 JB/T10075--2013
5.4.3.5温度计测温范围-10℃～50℃，允许误差为土1℃。
D
ZF
ZF-
N2
说明：
D- 被测真空计： D- 标准真空计： D2监测真空计： Y- 一真空容器： ZF—微调放气阀：
ZF和ZF 一阀门；
N2- 气源（氨气）： JZ- 真空机组。
图3真空计压力示值误差试验装置示意图
5.4.4测试前，规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。 5.4.5测试按压力上升的形式进行，每一测量点的读数应在测量室压力稳定1min后读取。 5.4.6在整个测量范围内，每个量级均勾分布选取至少3个压力测试点。 5.4.7 真空计每一测试点的压力示值误差，按下式计算：
g=P±=Po×100%
Po
式中： 8——真空计压力示值误差，%； P表 测试点测得的真空计示值，单位为帕（Pa）： Po- 一测试点对应的标准压力值，单位为帕（Pa）。 分别算出各量级的压力示值误差，各点的压力示值误差均应符合本标准4.5的要求。
5.5真空计稳定性试验 5.5.1阳极对阴极的电位值随电源电压（220土22）V的变化量
采用图2线路进行测试，分别测出电源电压在198V、220V和242V时的阳极对阴极电位值为U U2和Us，则阳极对阴极电位值随电源电压的变化量按下式计算：
_U(或U)-U2×100%
S4-
U2