ICS 23.160 J 78
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T35049—2018
真空技术 四极质谱检漏方法
Vacuum technology-Leak testing method by quadrupole mass spectrometer
2018-05-14发布
2018-12-01实施
国家市场监督管理总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T35049—2018
目 次
前言引言 1 范围 2 规范性引用文件
术语和定义
一般要求 4.1 环境要求 4.2 设备要求 4.3 示踪气体纯度 4.4 人员资格 4.5 示踪气体选择 4.6 质量数选择 4.7 仪器校准 5 检漏方法 5.1 喷吹法 5.2 真空室法 5.3 四极质谱非真空累积法 5.4 吸枪法 6检漏文件
4.
....+
11
15
1.8 18 18 19 23
6.1 检漏记录 6.2检漏报告附录A（规范性附录） 四种检漏方法适用的检漏记录附录B（规范性附录） 检漏报告 GB/T35049—2018
前言
本标准按照GB/T1.1- 2009给出的规则起草本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、合肥智海光电技术有限公司、安徽皖仪科技股份有限
：
公司、沈阳真空技术研究所
本标准主要起草人：实仁超、孙立臣、闫荣鑫、洪晓鹏、孟冬辉、刘磊、任国华、冯琪、史纪军、黄文平、 陈然、韩琰、喻新发、邵容平、王健、刘兴悦、张立伟王勇、孙立志、王玲玲
I GB/T35049—2018
引言
四极质谱仪具有检测物质种类多、检漏灵敏度高、测试结果稳定等优点而被广泛应用在航天、航空、 电子、核电、真空等领域中的泄漏检测工作。但目前基于四极质谱仪泄漏检测没有统一、规范的漏率定量检测方法和标准。以致真空及其他行业中不同单位所使用的检测方法和计算方法均不相同，使其不能发挥完全发挥定性和定量检测的优点，同时各行业单位间的检测结果不具有可比性，因此四极质谱检漏法在各行业中的应用受到较大的限制，不利于四极质谱仪在各行业间的推广和应用
本标准的制定可以规范四极质谱仪在产品密封性能检测过程中的方法选择、操作流程、操作步骤和结果计算。使得不同行业和领域间基于四极质谱检漏结果具有可比性，进而提高产品密封质量，增加产品的密封可靠性。
Ⅱ GB/T35049—2018
真空技术四极质谱检漏方法
1范围
本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象，系统组
成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级，分
系统级以及系统级产品的密封性能测试。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注目期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的弓用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证 GB/T12604.7无损检测术语泄漏检测 GB/T13966分析仪器术语
3术语和定义
GB/T12604.7和GB/T13966中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
响应时间 response time
Z
从示踪气体施加到漏孔进气端开始，到质谱仪输出指示（扣除本底值）达到最大变化值（扣除本底值后的漏气信号值）的63%时所经历的时间。
注：单位为秒（s）
3.2
清除时间clear-up time 从漏孔进气端停止施加示踪气体开始，到四极质谱仪输出指示值（扣除本底值）下降至施加示踪气
体时的最大漏气信号值（扣除本底值）的37%时所经历的时间 3.3
校准漏孔standard leak 在规定条件（温度、压力）下，对一种规定气体提供已知流量的一种校准用漏孔。
3.4
正压校准漏孔pressureleak 进气端压力高于一个大气压，出气端压力为一个大气压，对某种气体漏率已知的一种校准漏孔。
3.5
本底信号background signal 在没有施加示踪气体时，因存在残留的示踪气体或其他会引起检漏元件响应的因素而使四极质谱
仪产生稳定或波动的输出信号。
1 GB/T35049—2018
3.18
基峰 base peak 又称为主峰，是测定质谱（纯物质质谱或混合物质谱）的图形系数时取作基准的最强峰。
3.19
图形系数 pattern coefficient 质谱图中，各峰的峰高比例关系。 注：利用图形系数可进行图谱检索，
4一般要求
4.13 环境要求
无特殊要求时，环境要求如下： a）检漏工作场地温度为23℃士7℃，相对湿度不大于80%； b）检漏工作场地应清洁，通风良好； c） 检漏工作场地周围不得有附加热源、强电磁场和强振动。
4.2 设备要求
设备要求如下： a）检漏系统的检漏灵敏度应小于或等于被检件漏率要求的十分之一； b） 最小可检分压力应小于或等于1.0×10-8Pa c) 分辨本领应不大于1u； d） 质量数扫描时间应小于或等于1u/s； e) 大工作压力应不低于1.0×10-2Pa; f) 最大检测质量数应不小于50us g） 质量数并行检测通道不小于10个； h）J 用模拟谱方式扫描真空环境中空气的残余气体成分，当残余气体主要为H、HzO、Nz、Oz
CO2时四极质谱仪工作为正常。
4.3示踪气体纯度
所用示踪气体的气体纯度应足以让四极质谱仪检测到其浓度变化，并产生足够明显的输出信号。 4.4人员资格
无损检测人员应符合GB/T9445规定的要求。经培训、考核并有相关资格证书的人员，要求持证上岗。 4.5 5示踪气体选择
应用四极质谱仪检漏可以根据泄漏检测的具体需求选择任意一种或多种气体作为示踪气体。但是在选择示踪气体时应该遵循以下原则：
a）选择的示踪气体应该避开检测环境中成分含量高的气体种类，如空气成分中的氧气、氮气、水
蒸气以及部分含量较高的永久性气体和惰性气体； b）示踪气体应该选择离子碎片峰少，并且基峰与被检环境中含量高的气体基峰避免重合。
4.6质量数选择
四极质谱仪检漏过程中扫描（监测）质量数的选择应该遵循以下原则：
3 GB/T35049—2018
a) 优先选择示踪气体的基峰作为监测质量数： b） 当示踪气体的基峰与被检测环境中的其他气体基峰存在重合时，应该依次选择示踪气体其他
碎片峰中响应值较大且被检环境中含量较少的碎片峰。
4.7仪器校准
按照四极质谱仪和标准漏孔相关使用说明书要求，将仪器设备安装在检测系统上，打开标准漏孔，调节四极质谱仪参数设置使得示踪气体在质谱图上的响应值达到最佳状态。
5检漏方法
5.1 喷吹法 5.1.1应用对象
喷吹法主要用于对真空设备的漏孔定位和定量。
5.1.2 系统组成
喷吹法检漏系统的组成，分别如图1和图2所示。
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3
说明： 1 2 3 4
抽真空系统；真空阀1；真空规；真空阀2 四极质谱仪；被检件；校准阀：校准漏孔：示踪气体喷枪；
5 6
8 9 10 示踪气体。
图1喷吹法直抽检漏系统的组成原理图
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