ICS23.160 J78
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T361762018
真空技术 氢质谱真空检漏方法
Vacuum technology-Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
2018-12-01实施
2018-05-14发布
国家市场监督管理总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T36176—2018
目 次
前言
范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义
1
般要求 4.1 人员资格 4.2 设备要求 4.3 氢气 4.4 环境要求检漏方法 5.1 喷吹法 5.2 氨罩法 5.3 压力-真空检漏法 6检漏文件· 6.1 检漏记录 6.2 检漏报告附录A（规范性附录） 检漏记录附录B（规范性附录） 检漏报告
！
17
11 11
12 13 GB/T36176—2018
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技
术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：王勇、孟冬辉、孙立臣、闫荣鑫、史纪军、黄文平、王国东、胡眉、任国华、孙伟邵容平、陆鸣、张春元、窦仁超、言继春王功发、言文静。彭光东孙刚、孙威景嘉荣、李斌、王玲玲。
Ⅲ GB/T36176—2018
真空技术氨质谱真空检漏方法
1范围
本标准规定了氧质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氢质谱真空检漏方法在应用对象，
系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于各行业中采用氨质谱真空检漏方法的部件，组件，分系统级以及系统级产品。
2规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T3163真空技术术语 GB/T4844纯、高纯氨和超纯氨 GB/T9445 无损检测人员资格鉴定与认证 GB/T12604.7无损检测术语泄漏检测 GB/T13979质谱检漏仪
术语和定义
3
GB/T3163和GB/T12604.7界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
等待时间 waiting time 两次测试的间隔时间。
3.2
检漏灵敏度 leak testing sensitivity Qe min 在具体的工作条件下，检漏系统所能检出的最小漏孔漏率。
3.3
喷吹法 spray probe method 用喷枪喷出已知浓度的氢气束在被检件的表面扫描进行的质谱检漏方法。
3.4
氨罩法 helium hood method 将被检件部分或全部罩住，罩内充人已知浓度的氢气进行的氢质谱检漏方法。
3.5
压力-真空检漏法 pressure-vacuum chamber method 将充人氨气的被检件放人真空室内抽至规定的真空度，在压差作用下，氨气通过漏点进人真空室而
被检漏仪测试的方法。 3.6
吸枪法 sniffing probe method 被检件充人一定压力的氨气，用与氢质谱检漏仪相连的吸枪嗅探被检件表面漏出氨气的方法。 GB/T36176—2018
4 一般要求
4.1 人员资格
检漏人员应经相关的培训、考核后上岗，对于特殊行业，需满足GB/T9445中关于无损检测人员的要求。 4.2 设备要求
设备要求如下： a) 氢质谱检漏仪应满足GB/T13979规定的技术要求； b) 检漏系统的检漏灵敏度应优于被检件充许漏率要求的十分之一。
4.3 3氢气
所用氨气应满足GB/T4844纯氨级的要求。 4.4 环境要求
无特殊要求时，环境要求如下： a) 检漏工作场地温度为16℃～30℃，相对湿度不大于80%； b) 检漏工作场地应清洁，通风良好： 9 检漏工作场地附近应无强磁场干扰，无较大的振动。
5 5检漏方法
5.1 喷吹法 5.1.1 应用对象
喷吹法主要用于对被检件的漏点定位和定量。 5.1.2 系统组成
喷吹法检漏系统的组成原理如图1、图2和图3所示。
2 GB/T36176—2018
V
O
O
说明：
氢质谱检漏仪：被检件；校准阀；
4 一校准漏孔：
1
氢喷枪： 6一 一气瓶
5-
2- 3-
图1 检漏仪作为抽气系统的喷吹法检漏系统
口C
0
LZ
8
说明：
氨喷枪；一气瓶：
氢质谱检仪：
5- 6 7—真空阀： 8—真空泵。
1
2- 被检件： 3- 校准阀：
校准漏孔：
4
图2抽气系统配置真空泵的喷吹法检漏系统 GB/T36176—2018
3
8
区
0
X
上
OOO
O.
?
10
L9
说明： 1 2 3
气瓶：氨喷枪：被检件；校准阀：校准漏孔；主泵：真空阀：检漏阀；
4
6 7 8
9 检漏仪； 10- 辅助泵。
图3抽气系统配置主泵及辅助泵的喷吹法检漏系统
5.1.3 检漏程序 5.1.3.1 检漏准备
检漏准备过程如下： a) 仪器准备。将氨质谱检漏仪、辅助真空系统、阀体、管路、喷枪、校准漏孔等准备好，其中，校准
漏孔需经计量机构校准，并在有效期内：
b) 被检件的预处理。清理被检件的内外表面，确保被检件的内外表面没有油污以及多余物等，
表面干燥： c) 将仪器设备按图1或图2或图3连接，保证连接的部位有较好的密封： d 校准漏孔需连接在被检件上，并且尽可能远离氨质谱检漏仪，对于被检件上不能直接连接校
准漏孔的，可以通过管路系统连接校准漏孔： e) 配好已知浓度的氨气。
5.1.3.2 实施过程
5.1.3.2.1 抽真空
利用氨质谱检漏仪对被检件抽真空。若被检件容积较大，需利用辅助真空系统对被检件进行抽真 GB/T36176—2018
空。若对被检件检漏状态的真空度有要求，则抽至所需的真空度：若没有明确的真空度要求，则充分利用氨质谱检漏仪的真空系统或辅助真空系统抽至其能力范围的真空度即可。当有辅助真空系统时，应先利用辅助真空系统将被检件抽至检漏仪正常工作的真空度，再打开氨质谱检漏仪。
5.1.3.2.2 检漏灵敏度测试
检漏灵敏度的测试过程如下： a） 在校准阀关闭的情形下，读出检漏仪的本底值I。和噪声值I b) 打开校准阀，待氢质谱检漏仪的输出值稳定时，测出检漏仪的反应值I c) 关闭校准阀： d) 检漏灵敏度按式（1)计算。
Qemin= I, -I。 I.
-(1)
Q
式中： Qe min 检漏灵敏度，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s）： I.
检漏仪的噪声或最小可读信号，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s)或其他相对单位；校准漏孔打开后检漏仪的稳定反应值，单位为帕立方米每秒（Pa·m"/s）或其他相对单位：本底值，单位为帕立方米每秒（Pa·m/s）或其他相对单位；校准漏孔的校准值，单位为帕立方米每秒（Pa·m/s）。
I1
Io Qs
5.1.3.2.3反应时间测试
在校准阀打开前，校准漏孔会在校准阀之前的管路中累积，因此，直接测试反应时间较难。根据反应时间等于清除时间的规律，测试清除时间比较方便。清除时间为检漏系统的输出值由I，下降至 I1一I。差值的37%所需的时间，如图4所示。
//(Pa*ma/s)4
清除时间点37%(1-)
1/s
打开校准阀
关闭校准阀
图4反应时间的测试示意图
5.1.3.2.4喷吹 5.1.3.2.4.1 喷吹的过程如下：
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