ICS 77.150.99 H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1068—2015
制备钉靶用钉粉
Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
2015-04-30发布
2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属
行业标准制备钉靶用钉粉 YS/T1068—2015
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中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029) 北京市西城区三里河北街16号（100045）
网址：www.gb168.cn 服务热线：400-168-0010
010-68522006
2015年10月第一版
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书号：155066·2-28953
版权专有 侵权必究 YS/T1068—2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。 本标准起草人：谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋。
一 YS/T1068—2015
制备钉靶用钉粉
1范围
本标准规定了硬盘及集成电路行业钉系溅射靶材用钉粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、 运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单)内容。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钉系溅射靶材用钉粉（以下简称钉粉）。
规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 5162 金属粉末振实密度的测定 GB/T 6524 金属粉末粒度分布的测量 重力沉降光透法 GB/T 23275 粉化学成分分析方法 铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、、钯、、硅量的测定辉光
放电质谱法
HB5220.3 高温合金化学分析方法 第3部分：高频感应燃烧-红外线吸收法测定碳含量 HB 5220.49 高温合金化学分析方法 ：第49部分：脉冲加热-红外、热导法测定氧、氮含量
3要求
3.1j 产品分类
钉粉按纯度分为四个牌号：SMP-Ru-99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.995、SMP-Ru99.99、 SMP-Ru-99.999. 3.2 化学成分
钉粉的化学成分应符合表1的规定。钉粉中钉的含量为100%减去表1中杂质元索实测总和的余
量。SMP-99.999牌号中总杂质元素计算不包括Si元素。
表1 钉粉的化学成分 SMP-99.95
%
产品牌号钉含量不小于
SMP-99.99
SMP-99.999
SMP-99.995
99.999 0.000 05 0.000 05 0.000 05 0.00005
99.95
99.99
99.995
Ag Al Au Co
0.000 4 0.005 0.005 0.003
0.000 2 0.000 5 0.000 3 0.000 3
0.000 4 0.001 0.000 5 0.000 5
金属杂质含量
不大于
1 YS/T1068—2015
表1(续) SMP-99.95 0.005 0.000 4 0.005 0.003
%
产品牌号
SMP-99.99 0.000 5 0.000 4 0.001 0.000 5 0.000 5 0.000 5 0.000 5 0.000 5 0.000 5 0.000 5
SMP-99.995 0.000 3 0.000 2 0.000 5 0.000 3 0.000 3 0.000 3 0.000 3 0.000 2 0.000 3 0.000 2 0.000 3 0.000 1 0.000 1 0.000 3
SMP-99.999 0.00005 0.000 05 0.000 16 0.000 05 0.000 01 0.000 01 0.000 05 0.000 1 0.000 1 0.000 1
Cr Cu Fe Ir K Na Ni Pd Pt Rh Si Th U Zr 杂质总量不大于 c 0 N
0.005 0.003 0.003 0.002 0.005 0.0001 0.0001 0.005 0.05 0.005 0.07 0.007
金属杂质含量不大于
0.001 0.000 1 0.000 1 0.001 0.01 0.003 0.06 0.003
0.008 0.000 01 0.000 01 0,000 1 0.001 0.001 0.05 0.002
0.005 0.001 0.06 0.003
非金属杂质含量
不大于
注：需方对某种特定杂质元素有要求的，由供求双方协商确定，
3.3 粉末粒度
钉粉的粒度分布满足：Dlo在0.5μm~2.0μm，Ds在1.5μm~3.5μm，Dg在2.0μm~5.0μm。 3.4 粉末振实密度
钉粉的振实密度≥3.0g/cm。 3.5 外观质量
钉粉应为灰色粉末，颜色应均匀，无目视可见的夹杂物，
检验方法
4
4.1 钉粉中金属杂质元素含量测量按照GB/T23275的规定进行。K、Na等元素的测试方法参考 GB/T23275的规定进行。 钉粉中的C含量测量按照HB5220.3的规定进行；O、N含量测量按照 HB5220.49的规定进行。 4.2 钉粉的粒度测量按照GB/T6524的规定进行。 2 YS/T1068—2015
4.34 钉粉的振实密度按照GB/T5162的规定进行。 4.44 钉粉的外观质量用目视检查。
5检验规则
5.1 检查和验收 5.1.1钉粉由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。复验结果与本标准和订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决 5.2组批
钉粉应成批提交检验，每批应由同一牌号组成，
5.3# 检验项目
每批产品出厂前应进行化学成分、粉末粒度、粉末振实密度和外观质量的检验。 5.4取样 5.4.1化学成分、粉末粒度和粉末密度的取样应从该批产品中任取三件，交货批不足三件的，全数取样，取样量为总量的1%左右，最少不低于10g，混合后以四分法缩至检验所需重量。 5.4.2产品外观质量逐件检验。 5.5# 检验结果的判定 5.5.1 化学成分、粉末粒度和粉末振动密度有一项不合格，判该批产品不合格 5.5.2 外观质量不合格，则判该件产品不合格
6 标志、包装、运输、贮存和质量证明书
6.1标志
在检验合格的产品上应贴上标签，标签上注明： a） 供方名称、地址； b） 产品名称、牌号、批号； c) 产品净重、毛重； d) 出厂日期。
6.2包装
产品装入密封的瓶中，严密封口。包装每件净重量为5g、10g、20g、50g、100g、500g、1000g 2000g 6.3 运输
产品可以由供需双方协商采用铁路、公路、水运、航空等方式运输。 S1028901 /S
YS/T1068—2015
6.4贮存
产品贮存条件应符合以下要求： a) 无腐蚀性物质； b) 不污染产品，
6.5 质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明： a) 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称； c) 产品牌号； d) 产品批号； e) 产品净重； f) 各项检验结果和检验部门印记； g) 本标准编号； h) 出厂日期。
订货单(或合同)内容
A
本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 产品牌号； c) 产品重量； d) 杂质元素含量等特殊要求； e) 本标准编号； f) 其他。
版权专有 侵权必究
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书号：155066·2-28953
YS/T1068-2015