ICS 77.180 H 91
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1031—2015
化学气相沉积炉
Chemicalvapordepositionfurnace
2015-10-01实施
2015-04-30发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1031—2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。
一 YS/T1031—2015
化学气相沉积炉
1范围
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于化学气相沉积，
规范性引用文件
2
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件
GB/T3163—2007真空技术术语 GB5959.1 电热装置的安全第1部分：通用要求 GB 5959.4 电热装置的安全第4部分：对电阻加热装置的特殊要求 GB/T10066.1—2004 电热设备的试验方法第1部分：通用部分 GB/T10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.1—2005 电热装置基本技术条件第1部分：通用部分 GB/T10067.4—2005 电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉 JB/T10550—2006 真空技术真空烧结炉 YS/T778—2011 真空脱脂烧结炉
3术语和定义
GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011界定的术语和定义适用于本文件。
4要求
4.1分类
化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型，按炉型及工作区域尺寸分为13种型号，见表1和表2。 4.2 2型号表示规则 4.2.1 卧式化学气相沉积炉的型号表示
卧式化学气相沉积炉的型号表示由HCVD(其中H表示卧式；CVD表示化学气相沉积)和工作区
域尺寸（宽×高×长)组成，其型号表示见示例。
示例：卧式化学气相沉积炉工作区域尺寸为宽1000mm、高1000mm、长1500mm，其型号表示为HCVD-101015。
1 YS/T1031—2015
4.2.2 立式化学气相沉积炉的型号表示
立式化学气相沉积炉的型号表示由VCVD其中V表示立式；CVD表示化学气相沉积）和工作区域尺寸（直径×高）组成：其型号表示见示例。
示例：立式化学气相沉积炉工作区域尺寸为直径$300mm、高500mm，其型号表示为VCVD-0305。 4.3化学气相沉积炉总体结构
化学气相沉积炉主要由炉体、工艺沉积系统、真空系统、冷凝捕集系统、水冷系统、尾气处理系统及电气控制系统等组成。总体设计要求应符合JB/T10550一2006中第5章的规定。 4.4 卧式化学气相沉积炉
卧式化学气相沉积炉可按需方要求采用前后双开门或单开门结构，由水平方向装料和出料，其总体结构示意图见图1。
6
3
水冷系统工艺气路柜加热电源
wie
O
o
控制柜
说明： 1- 炉体主体： 2 保温加热系统： 3 工艺沉积系统沉积室；
冷凝捕集系统；
一水冷系统；工艺沉积系统进气柜；电气控制系统
1 -
真空系统； 6 尾气处理系统：
5
8
9-
图1 卧式化学气相沉积炉总体结构示意图
2 YS/T1031—2015
4.5立式化学气相沉积炉
立式化学气相沉积炉可按需方需要采用下开门或上开门或上下双开门结构，由竖直方向装料和出料，其总体结构示意图见图2。
5
TTTTTO
说明：
工艺沉积系统进气柜；炉体主体；保温加热系统：工艺沉积系统沉积室；水冷系统；
工作平台；冷凝捕集系统；尾气处理系统；真空系统；电气控制系统。
o
1
8 0 10-
2.
图2 2立式化学气相沉积炉总体结构示意图
3 YS/T1031—2015
4.6 化学气相沉积炉的基本参数
化学气相沉积炉的基本参数见表1和表2。
表 1 卧式化学气相沉积炉的基本参数
承载重量 kg 300 800 1 500 2 500 5000 10 000 20 000
额定炉温
工作区域尺寸宽×高×长/mm 600X600X900 800X800X1 200 1000×1000×1500
额定加热功率
型号 HCVD-060609 HCVD-080812 HCVD-101015 HCVD-121225 1200X1 200X2 500
℃
kw 210 360 480 600 900 1 200 1 800
1 500
1500X1500X3000
HCVD-151530 HCVD-202040 2 000X2 000X4 000 HCVD-252550
2500X2500X5000
表 2 立式化学气相沉积炉的基本参数
额定炉温 ℃
额定加热功率
工作区域尺寸直径×高/mm $300X500 $500X800 $800×1200 $1000X1500 $1200X1800 $1500×2000
承载重量
型号 VCVD-0305 VCVD-0508 VCVD-0812 VCVD-1015 VCVD-1218 VCVD-1520
kg 50 150 500 1 000 2 000 3000
kw 45 90 180 300 420 540
1 500
4.7 一般要求
化学气相沉积炉应符合GB/T10067.1一2005中第5章的规定，其他要求应符合GB5959.1和 GB5959.4的规定。 4.8 主要技术性能 4.8.1 化学气相沉积炉的主要技术性能参数见表3。 4.8.2 需方对主要技术性能参数有特殊要求时，可由供需双方协商确定并在合同中注明。
5 试验方法
5.1 总体结构及其基本参数的检验
化学气相沉积炉总体结构应符合供需双方签定的技术图样，其基本参数的检验方法由供需双方协商确定。 4