ICS 81.040.30 Q 35 备案号：47746—2014
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T 2243—2014
等离子体增强化学气相沉积工艺用
覆膜石英管
Quartz tube covered in a film for PECVD
2015-04-01实施
2014-10-14发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国建材行业标准
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
JC/T 2243—2014
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中国建材工业出版社出版建筑材料工业技术监督研究中心
(原国家建筑材料工业局标准化研究所)发行新华书店北京发行所发行各地新华书店经售
地矿经研院印刷厂印刷版权所有不得翻印
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开本880X1230 1/16印张0.5字数10千字 2015年3月第一版2015年3月第一次印刷
印数1—800定价16.00元
书号：155160·497
* 编号：0996
网址：www.standardenjc.com电话：(010)51164708 地址：北京朝阳区管庄东里建材大院北楼 邮编：100024
本标准如出现印装质量问题，由发行部负责调换。 JC/T2243—2014
前 言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准主要起草单位：上海强华石英有限公司。 本标准参加起草单位：久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司。 本标准主要起草人：张葆青、白凤茹、周文华、黄良吉、陈平。 本标准为首次发布。 JC/T2243—2014
等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
1范围
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、 检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管（以下简称PE石英管）。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
JC/T597—2011半导体用透明石英玻璃管 JC/T598电光源用透明石英玻璃管 JC/T2066—2011太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管
3术语和定义
JC/T597—2011、JC/T598和JC/T2066—2011界定的术语和定义适用于本文件。
4材料
石英管的物理化学性能应符合JC/T597一2011中对应的T级产品要求。 覆膜材料应符合高温胶带相应产品技术要求。
5要求
5.1尺寸及尺寸偏差
未覆膜的石英管的尺寸及尺寸偏差应符合表1的规定。
表1未覆膜的石英管的尺寸及尺寸偏差
外径范围
壁厚范围
长度范围
mm
mm
mm
尺寸
29.8~30.3 椭圆度
2~3 偏壁度 % ≤10
1129.5~1130.5
弯曲度 % ≤1.5
% ≤1.5
偏差
5.2端面垂直度 JC/T2243—2014
未覆膜的石英管端面的垂直度应不大于0.3mm。 5.3外观质量
未覆膜的石英管的外观质量应符合表2的规定。
表2未覆膜的石英管的外观质量
要求 ≤5 ≤10 不允许 ≤3 ≤10 ≤0.5 ≤2 不允许不允许 ≤1. 0 ≤2 不允许不允许不允许不允许不允许
序号
外观缺陷条数总长度/mm
表面划伤：自然光下目测检查：不明显脏物
1
2
条数总长度/mm 直径/mm 个数直径大于0.5mm及破皮气泡
o
气线
气泡
4
云雾
直径/mm 点数直径大于1mm
析晶
6
沟棱色线
? 8 9 崩落 10 晶纹
5.4 应力
未覆膜的石英管在应力仪视场中只允许呈均匀紫红色。 5.5覆膜 5.5.1 覆膜重叠宽度2.0mm~3.0mm，确保PE石英管外壁全覆盖即可。 5.5.2 端口不覆膜长度18mm~22mm。
6 试验方法
6. 1 1尺寸及尺寸偏差
未覆膜的石英管的长度用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺测量，其他规格尺寸及尺寸偏差按JC/T 597—2011中的规定测量。
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